来源：深圳市人民政府2023-05-05

重点开展图像视觉、柔性触觉、光纤、电离辐射、微力、微机电系统（mems）等智能化传感和精密测量技术研究，细胞（器）、生物分子（蛋白质及核酸等）传感与精准测量技术研究，微纳米、大尺寸、空间与位置等精密测量技术

来源：河南省工信厅2023-04-03

推动mems研发中试平台建设，构建智能传感器产业关键技术创新与转化平台，发展基于mems的新型智能传感器，提升产业链发展水平，建立健全智能传感器协同发展机制，加快“一谷多园”协调发展，高水平举办2023

来源：江西省公共资源交易网2023-03-31

江西省公共资源交易网发布华润微电子mems传感器产业园（二期）项目废气系统采购项目招标公告，项目预算1180万元。...一、项目基本情况项目编号：jxmd2023-q029项目名称：华润微电子mems传感器产业园（二期）项目废气系统采购项目预算金额：1180万元 交货期限：详见招标文件。

来源：潍坊市人民政府2023-03-30

加快整机与光学显示零组件、超高清显示模组等核心部件的研发和生产制造，发挥龙头企业的引领作用，在mems芯片、micro-led超高清显示芯片、终端设备等核心技术领域率先实现突破。

来源：深圳市工业和信息化局2023-03-24

2.申报主体需在我市深圳智能传感mems芯片中试验证开放平台等我市公共服务平台开展研发活动、已经形成产品并形成相关费用支出。（二）国家资助配套支持项目1.申报主体为实施主体。...《实施细则（征求意见稿）》指出，智能传感器产业专项扶持计划下设五个扶持方向：（一）一次性工程费补贴项目：对在深圳智能传感mems芯片中试验证开放平台等我市公共服务平台开展研发活动所产生的一次性工程费予以支持

来源：南方电网公司2023-03-21

、基于北斗的空间定位技术应用、新材料模型电力井盖等关键技术，（模块1-核心技术）研发融合无线rfid与微功耗mems传感技术；（模块2-核心技术）研究基于多功能mems传感器及无线数据汇聚节点中继装置技术

来源：郑州市人民政府2023-02-28

重点抓好超短超强激光实验装置、智能传感器mems中试平台大科学装置等项目建设。...加快引进超聚变产业链上下游配套企业，形成计算终端集聚效应，高规格举办世界传感器大会，持续打造中国（郑州）智能传感谷，加快引进一批集成电路、新型显示重大项目，着力推动超聚变研发中心及全球总部基地、中国（郑州）智能传感谷启动区、mems

来源：郑州市人民政府2023-02-27

重点抓好超短超强激光实验装置、智能传感器mems中试平台大科学装置等项目建设。...加快引进超聚变产业链上下游配套企业，形成计算终端集聚效应，高规格举办世界传感器大会，持续打造中国（郑州）智能传感谷，加快引进一批集成电路、新型显示重大项目，着力推动超聚变研发中心及全球总部基地、中国（郑州）智能传感谷启动区、mems

来源：北极星电池网2023-02-27

重点抓好超短超强激光实验装置、智能传感器mems中试平台大科学装置等项目建设。...加快引进超聚变产业链上下游配套企业，形成计算终端集聚效应，高规格举办世界传感器大会，持续打造中国（郑州）智能传感谷，加快引进一批集成电路、新型显示重大项目，着力推动超聚变研发中心及全球总部基地、中国（郑州）智能传感谷启动区、mems

来源：安徽省人民政府2023-02-23

硅基压力传感器生产线项目驭耀年产100万套汽车减震器及总成项目年产200万平方米bipv用超薄隔热复合纤维新材料项目20万吨/年锂电池梯级再利用(一期)项目凯世激光精密智能制造装备项目经开区车用mems...亿平方米锂离子电池隔膜项目德莱锦物联网智能终端设备制造项目彩虹液晶面板基板生产线改造项目液化空气b9大宗气站二期项目启集智能穿戴设备生产项目易伯森医药分包装生产基地合肥领航微系统集成有限公司压电pzt-mems

来源：北极星电池网2023-02-23

江西科达利新能源汽车动力电池精密结构件项目（经开区）54.江西省万隆实业有限公司二期扩建项目（进贤县）55.安义现代智慧针纺产业园项目（安义县）56.南昌梅岭云端景区索道项目（湾里管理局）57.华润微mems

来源：安徽省人民政府2023-02-22

硅基压力传感器生产线项目驭耀年产100万套汽车减震器及总成项目年产200万平方米bipv用超薄隔热复合纤维新材料项目20万吨/年锂电池梯级再利用(一期)项目凯世激光精密智能制造装备项目经开区车用mems...亿平方米锂离子电池隔膜项目德莱锦物联网智能终端设备制造项目彩虹液晶面板基板生产线改造项目液化空气b9大宗气站二期项目启集智能穿戴设备生产项目易伯森医药分包装生产基地合肥领航微系统集成有限公司压电pzt-mems

来源：安徽省政府2023-02-22

硅基压力传感器生产线项目驭耀年产100万套汽车减震器及总成项目年产200万平方米bipv用超薄隔热复合纤维新材料项目20万吨/年锂电池梯级再利用(一期)项目凯世激光精密智能制造装备项目经开区车用mems...亿平方米锂离子电池隔膜项目德莱锦物联网智能终端设备制造项目彩虹液晶面板基板生产线改造项目液化空气b9大宗气站二期项目启集智能穿戴设备生产项目易伯森医药分包装生产基地合肥领航微系统集成有限公司压电pzt-mems

来源：北极星电池网2023-02-20

硅基压力传感器生产线项目驭耀年产100万套汽车减震器及总成项目年产200万平方米bipv用超薄隔热复合纤维新材料项目20万吨/年锂电池梯级再利用(一期)项目凯世激光精密智能制造装备项目经开区车用mems...亿平方米锂离子电池隔膜项目德莱锦物联网智能终端设备制造项目彩虹液晶面板基板生产线改造项目液化空气b9大宗气站二期项目启集智能穿戴设备生产项目易伯森医药分包装生产基地合肥领航微系统集成有限公司压电pzt-mems

来源：北极星碳管家网2023-02-20

硅基压力传感器生产线项目驭耀年产100万套汽车减震器及总成项目年产200万平方米bipv用超薄隔热复合纤维新材料项目20万吨/年锂电池梯级再利用(一期)项目凯世激光精密智能制造装备项目经开区车用mems...亿平方米锂离子电池隔膜项目德莱锦物联网智能终端设备制造项目彩虹液晶面板基板生产线改造项目液化空气b9大宗气站二期项目启集智能穿戴设备生产项目易伯森医药分包装生产基地合肥领航微系统集成有限公司压电pzt-mems

来源：北极星环保网2023-02-20

硅基压力传感器生产线项目驭耀年产100万套汽车减震器及总成项目年产200万平方米bipv用超薄隔热复合纤维新材料项目20万吨/年锂电池梯级再利用(一期)项目凯世激光精密智能制造装备项目经开区车用mems...亿平方米锂离子电池隔膜项目德莱锦物联网智能终端设备制造项目彩虹液晶面板基板生产线改造项目液化空气b9大宗气站二期项目启集智能穿戴设备生产项目易伯森医药分包装生产基地合肥领航微系统集成有限公司压电pzt-mems

来源：重庆市人民政府2023-02-16

提速推进重大工业项目建设，围绕先进制造业集群建设方向滚动推进引领性项目、补链强链项目、技术改造项目实施，推进12英寸晶圆、化合物半导体等项目签约，推动信质新能源汽车电机定转子总成、奥松半导体8英寸mems

来源：北极星电池网2023-02-15

开展以 mems 技术和器件为重点、以传感领域知识图谱为基础的智能传感器关键技术攻关，突破智能传感器设计、制造、封装、测试等关键核心技术，加快关键材料及元器件、制造装备及工艺、核心算法产品研制，搭建mems

来源：河南省发展改革委2023-02-14

推动mems研发中试平台等重点项目建设，提升产业链发展水平。建立智能传感器协同发展机制，推动“一谷多园”协调发展。高水平办好2023世界传感器大会，用好大会成果，推动重点项目落地。

来源：北极星电池网2023-02-10

依托新乡智能传感器产业基地，积极对接引进西安电子科技大学等机构，加快建设mems传感器及芯片研发制造基地。实施黄河文化保护传承弘扬工程。...支持红旗区智慧岛、金融岛、科技岛三岛同建；与高校院所组建双创“战略联盟”，共建3d打印产业园、mems中试基地、光电信息产业园，开展科研、中试、监测、实训及人才培养；引进转化国外先进光电技术，打造中英转移交流中心