来源：昆山市人民政府2023-07-14

设计端，重点发展面向云计算和人工智能的高能效计算芯片和新型存储器芯片、微机电系统（mems）传感器芯片、新一代功率集成电路、5g芯片、汽车电子芯片、显示驱动芯片等特色应用芯片。

来源：北极星电池网2023-06-29

河源市高新区新一代信息技术创新中心（二）科技攻关项目（共19项）65 超宽带通信定位控制自研芯片66 先进封装核心材料（增层膜）研发及产业化项目67 铁电存储及系统芯片关键技术与产业化项目68 基于mems

来源：河北省工信厅2023-05-08

发展小型化、低功耗、集成化、高灵敏度的敏感元件，集成多维度信息采集能力的高端传感器，新型mems传感器和智能传感器，加快微型化、智能化的电声器件和图像传感器件研发。发光二极管。

来源：北极星储能网2023-05-08

发展小型化、低功耗、集成化、高灵敏度的敏感元件，集成多维度信息采集能力的高端传感器，新型mems传感器和智能传感器，加快微型化、智能化的电声器件和图像传感器件研发。发光二极管。

来源：北极星电池网2023-05-06

发展环境监测、智能终端、汽车等领域传感器,发展基于mems(微电机系统)工艺的新型红外、气体、压力、流量等智能传感器,提升智能仪器仪表的研发制造水平。二是发展智能芯片产业链。

来源：北极星电池网2023-05-06

围绕环境监测传感器、智能终端传感器和汽车传感器,重点发展基于mems工艺的智能传感器,加快mems研发中试平台建设,着力形成“研发设计-材料设备-芯片制造-系统应用-终端产品”的产业链条,推动智能传感器

来源：深圳市人民政府2023-05-05

重点开展图像视觉、柔性触觉、光纤、电离辐射、微力、微机电系统（mems）等智能化传感和精密测量技术研究，细胞（器）、生物分子（蛋白质及核酸等）传感与精准测量技术研究，微纳米、大尺寸、空间与位置等精密测量技术

来源：河南省工信厅2023-04-03

推动mems研发中试平台建设，构建智能传感器产业关键技术创新与转化平台，发展基于mems的新型智能传感器，提升产业链发展水平，建立健全智能传感器协同发展机制，加快“一谷多园”协调发展，高水平举办2023

来源：江西省公共资源交易网2023-03-31

江西省公共资源交易网发布华润微电子mems传感器产业园（二期）项目废气系统采购项目招标公告，项目预算1180万元。...一、项目基本情况项目编号：jxmd2023-q029项目名称：华润微电子mems传感器产业园（二期）项目废气系统采购项目预算金额：1180万元 交货期限：详见招标文件。

来源：潍坊市人民政府2023-03-30

加快整机与光学显示零组件、超高清显示模组等核心部件的研发和生产制造，发挥龙头企业的引领作用，在mems芯片、micro-led超高清显示芯片、终端设备等核心技术领域率先实现突破。

来源：深圳市工业和信息化局2023-03-24

2.申报主体需在我市深圳智能传感mems芯片中试验证开放平台等我市公共服务平台开展研发活动、已经形成产品并形成相关费用支出。（二）国家资助配套支持项目1.申报主体为实施主体。...《实施细则（征求意见稿）》指出，智能传感器产业专项扶持计划下设五个扶持方向：（一）一次性工程费补贴项目：对在深圳智能传感mems芯片中试验证开放平台等我市公共服务平台开展研发活动所产生的一次性工程费予以支持

来源：南方电网公司2023-03-21

、基于北斗的空间定位技术应用、新材料模型电力井盖等关键技术，（模块1-核心技术）研发融合无线rfid与微功耗mems传感技术；（模块2-核心技术）研究基于多功能mems传感器及无线数据汇聚节点中继装置技术

来源：郑州市人民政府2023-02-28

重点抓好超短超强激光实验装置、智能传感器mems中试平台大科学装置等项目建设。...加快引进超聚变产业链上下游配套企业，形成计算终端集聚效应，高规格举办世界传感器大会，持续打造中国（郑州）智能传感谷，加快引进一批集成电路、新型显示重大项目，着力推动超聚变研发中心及全球总部基地、中国（郑州）智能传感谷启动区、mems

来源：郑州市人民政府2023-02-27

重点抓好超短超强激光实验装置、智能传感器mems中试平台大科学装置等项目建设。...加快引进超聚变产业链上下游配套企业，形成计算终端集聚效应，高规格举办世界传感器大会，持续打造中国（郑州）智能传感谷，加快引进一批集成电路、新型显示重大项目，着力推动超聚变研发中心及全球总部基地、中国（郑州）智能传感谷启动区、mems

来源：北极星电池网2023-02-27

重点抓好超短超强激光实验装置、智能传感器mems中试平台大科学装置等项目建设。...加快引进超聚变产业链上下游配套企业，形成计算终端集聚效应，高规格举办世界传感器大会，持续打造中国（郑州）智能传感谷，加快引进一批集成电路、新型显示重大项目，着力推动超聚变研发中心及全球总部基地、中国（郑州）智能传感谷启动区、mems

来源：安徽省人民政府2023-02-23

硅基压力传感器生产线项目驭耀年产100万套汽车减震器及总成项目年产200万平方米bipv用超薄隔热复合纤维新材料项目20万吨/年锂电池梯级再利用(一期)项目凯世激光精密智能制造装备项目经开区车用mems...亿平方米锂离子电池隔膜项目德莱锦物联网智能终端设备制造项目彩虹液晶面板基板生产线改造项目液化空气b9大宗气站二期项目启集智能穿戴设备生产项目易伯森医药分包装生产基地合肥领航微系统集成有限公司压电pzt-mems

来源：北极星电池网2023-02-23

江西科达利新能源汽车动力电池精密结构件项目（经开区）54.江西省万隆实业有限公司二期扩建项目（进贤县）55.安义现代智慧针纺产业园项目（安义县）56.南昌梅岭云端景区索道项目（湾里管理局）57.华润微mems

来源：安徽省人民政府2023-02-22

硅基压力传感器生产线项目驭耀年产100万套汽车减震器及总成项目年产200万平方米bipv用超薄隔热复合纤维新材料项目20万吨/年锂电池梯级再利用(一期)项目凯世激光精密智能制造装备项目经开区车用mems...亿平方米锂离子电池隔膜项目德莱锦物联网智能终端设备制造项目彩虹液晶面板基板生产线改造项目液化空气b9大宗气站二期项目启集智能穿戴设备生产项目易伯森医药分包装生产基地合肥领航微系统集成有限公司压电pzt-mems

来源：安徽省政府2023-02-22

硅基压力传感器生产线项目驭耀年产100万套汽车减震器及总成项目年产200万平方米bipv用超薄隔热复合纤维新材料项目20万吨/年锂电池梯级再利用(一期)项目凯世激光精密智能制造装备项目经开区车用mems...亿平方米锂离子电池隔膜项目德莱锦物联网智能终端设备制造项目彩虹液晶面板基板生产线改造项目液化空气b9大宗气站二期项目启集智能穿戴设备生产项目易伯森医药分包装生产基地合肥领航微系统集成有限公司压电pzt-mems

来源：北极星电池网2023-02-20

硅基压力传感器生产线项目驭耀年产100万套汽车减震器及总成项目年产200万平方米bipv用超薄隔热复合纤维新材料项目20万吨/年锂电池梯级再利用(一期)项目凯世激光精密智能制造装备项目经开区车用mems...亿平方米锂离子电池隔膜项目德莱锦物联网智能终端设备制造项目彩虹液晶面板基板生产线改造项目液化空气b9大宗气站二期项目启集智能穿戴设备生产项目易伯森医药分包装生产基地合肥领航微系统集成有限公司压电pzt-mems