来源：北极星储能网2021-11-10

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：工信部2021-09-30

支持多源、海量数据接入的智能感知技术攻关，推动低功耗、高安全、高速率的新型短距离通信技术发展，加强高可靠、广覆盖的北斗定位和高精度室内定位技术研发，突破mems传感器和物联网芯片的设计与制造，研发轻量级

来源：北极星环保网2021-08-04

专栏2 新一代信息技术产业发展重点 半导体：igbt（绝缘栅双极型晶体管）、mosfet（金属—氧化物半导体场效应晶体管）等功率器件，图像传感器、温度传感器、压力传感器等mems传感器，中高频射频前端芯片

来源：北极星电力网2021-07-08

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：北极星太阳能光伏网（整理）2021-07-08

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：北极星氢能网2021-07-08

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：福建省人民政府2021-07-08

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：北极星输配电网2021-07-07

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：北极星环保网2021-07-07

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：北极星电力网2021-03-11

重点发展:功率器件，微机电系统(mems)传感器，模拟/数模混合芯片，存储芯片，人工智能芯片，硅基光电芯片等半导体;有源矩阵有机发光二极管(amoled)、微型发光二极管(microled)等面板及下游

来源：工信部2021-02-01

鼓励建设专用电子元器件生产线，为mems传感器、滤波器、光通信模块驱动芯片等提供流片服务。建设创新创业孵化平台。...重点发展小型化、低功耗、集成化、高灵敏度的敏感元件，温度、气体、位移、速度、光电、生化等类别的高端传感器，新型mems传感器和智能传感器，微型化、智能化的电声器件。功能材料类元件。

来源：环球网2020-07-06

我们选择了在地埋管道中缠绕分布式光纤传感器和埋入mems传感器，并引入无线供电和传输等技术，通过对传统地下管道的低成本适度改造，实现了整个地下管网全面覆盖的温、压、流和泄漏等故障以及水质的感知，可大大降低管网风险

来源：北极星储能网2020-03-24

传感器设计，光芯片设计，人工智能芯片设计（2）晶圆制造：4吋、5吋、6吋、8吋、12吋晶圆制造，硅基半导体晶圆制造和化合物半导体晶圆制造，成熟工艺晶圆制造（28nm以上技术节点）和先进工艺晶圆制造（28nm...新用地项目扶持资金的审批和拨付流程3.关于新用地项目“七通一平”的落实标准附件1淄博高新区产业鼓励发展指导目录一类项目一、智能制造1、电子信息产业（1）芯片设计：集成电路设计，分立器件设计，功率器件及模块设计，mems

来源：与非网2020-03-06

在 mems 传感器应用前景良好和国产化进程提速背景下，未来我国 mems 传感器市场前景广阔。...图片来源：omdia·mems 传感器2019 年中国 mems 传感器市场规模达到 597.8 亿元，同比增长 18.3%。

来源：中国电气传动网2020-01-16

在中国，资本更加关注自主研发的核心技术、垂直的企业，以mems传感器厂商为主。...主要体现在这十大方面：1、mems传感器2019年，物联网、智能汽车、工业4.0等新产业风靡全球，而中国传感器市场依旧规模小、没有大品牌，以进口为主的尴尬境况。

来源：太阳能发电网2019-07-16

mems传感器是物联网的关键技术之一。

来源：北极星输配电网2018-11-05

重点发展微机电系统（mems）传感器、视觉传感器、智能仪器仪表等智能传感装备和数字化非接触精密测量、在线无损检测系统装备、激光跟踪测量仪器、可视化柔性装配装备以及远程运维及健康检测系统等检测设备，提升生产制造装备在线检测和装备产品全生命周期智能检测能力

来源：北极星储能网2018-10-31

重点发展微机电系统（mems）传感器、视觉传感器、智能仪器仪表等智能传感装备和数字化非接触精密测量、在线无损检测系统装备、激光跟踪测量仪器、可视化柔性装配装备以及远程运维及健康检测系统等检测设备，提升生产制造装备在线检测和装备产品全生命周期智能检测能力

来源：北极星电力网2018-10-30

重点发展微机电系统（mems）传感器、视觉传感器、智能仪器仪表等智能传感装备和数字化非接触精密测量、在线无损检测系统装备、激光跟踪测量仪器、可视化柔性装配装备以及远程运维及健康检测系统等检测设备，提升生产制造装备在线检测和装备产品全生命周期智能检测能力

来源：北极星风力发电网2018-04-17

电子器件：航空飞机仪器仪表、高性能mems传感器、高性能压力传感器、工业物联网用集成式智能压力传感器等基础元器件的设计及制备技术、微电子智能组装及系统集成技术。(四)节能环保1.