来源：集邦新能源网2021-02-02

在perc中用来沉积sinx薄膜与钝化alox薄膜，在topcon中用来钝化氧化硅薄膜与沉积本征多晶硅薄膜，在hjt中用来沉积非晶硅薄膜，因为沉积的薄膜不同，设备的构成、镀膜速度、投入等存在巨大差别。...（3）hjt：hjt的生产工艺只有四步，对应的设备包括清洗制绒设备、非晶硅薄膜沉积设备（pecvd或者cat-cvd）、tco膜沉积（pvd或者cvd）、丝印与烧结设备等，目前对应设备投入约4.5亿/gw

来源：晋能科技2021-01-29

hjt研发总监王继磊表示，本次高效异质结电池是对界面态处理、非晶硅生长、tco沉积、金属化等技术进行全面升级并结合多项自主研发技术整合的最新成果，是整个异质结团队包括研发、设备、生产长期磨合所形成的高效配合的结晶

来源：集邦新能源网2021-01-12

低温银浆、靶材在浆料成本中占比较高清洗制绒环节和非晶硅沉积环节材料成本较低。...非晶硅沉积环节，射频化学气相沉积（pecvd 工艺的一种）的材料成本约 0.03~0.04 元/片。

来源：贝哲斯咨询 Market Monitor2021-01-11

hit生产线核心设备有望近期实现国产化：hit的4大工艺步骤“制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、tco制备、电极制备”，对应的设备分别为清洗制绒设备、cvd设备（pecvd为主、hwcvd较少）、pvd/rpd

来源：平安证券2021-01-07

（2）生长非晶硅薄膜生长非晶硅薄膜是hjt关键工艺。...异质结电池上表面自上而下一般为p层（掺硼非晶硅薄层）、i层（本征非晶硅薄层），下表面为i层（本征非晶硅薄层）、n层（掺磷非晶硅薄层）。pecvd是hjt生产的核心设备。

来源：集邦新能源网2020-12-22

制绒清洗环节，捷佳伟创已开发出用于 hjt 的制绒清洗设备；非晶硅沉积环节设备国产化程度相对较低，但理想能源、苏州迈为、讯立光电、精曜科技、钧石等国产厂商通过自主研发已实现这一环节设备的成功开发，正稳步推进薄膜沉积设备的国产化

来源：安信证券2020-10-13

hit设备投资较高，非晶硅镀膜占主要价值。hit的制作工艺相较于传统电池技术大大 简化，只有制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、tco薄膜沉积、金属化四个步骤。...其中核心环节在于非晶硅薄膜沉积，价值占比高达50%。群雄逐鹿hit产业化，2020年或为产业元年目前多家企业参与异质结电池布局，规划总产能已超过30gw。

来源：pv-magazine2020-09-27

bloombergnef团队注意到，这些设备供应商在hjt电池的两侧部署了化学气相沉积（cvd）来沉积非晶硅（asi）。

来源：广发证券2020-09-14

等复投工艺则要求硅料的尺寸更小，内部加料器要求硅料尺寸小于 60mm， 外部加料器要求尺寸小于 30mm，硅料品质要求提升；（2）高效电池技术大多采用 n 型路线，与传统 p 型电池相比，n 型电池非晶硅与晶

来源：安信证券2020-09-11

hjt 技术由于采用非晶硅 结构导致转换效率较高且无 lid 和 pid，采用 n 型衬底可制双面，因此具备很大发展潜力， 是行业内公认的下一代电池技术。

来源：微锂电2020-09-11

然而，强脉冲光（ipl）受到敏感非晶硅异质结结构的温度约束。根据研究人员的说法，该技术更实际的应用是在晶圆的两面都应用了耐温度的多硅基隧道氧化物钝化触点。

来源：摩尔光伏2020-09-08

航天光伏技术总监沈禛珏表示：“milkywayplus+异质结新产品电池相较于其他电池由于其独特的双面对称结构及非晶硅层优秀的钝化效果，具备着转换效率高、双面率高、几乎无光致衰减、温度特性良好、可使用薄硅片

来源：东吴研究所2020-08-26

整线价值量测算：根据hit生产线流程清洗制绒、非晶硅沉积、tco导电膜沉积、丝网印刷4个步骤投资占比分别为15%、50%、20%和15%，且线1生产效率为线2的一半，测算得线1整线价值量合计约1.2亿元

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-08-24

gw异质结量产设备，专为最低运营成本而设计异质结工艺制程较短，共分为制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、tco制备、电极制备四个步骤，主要生产设备有清洗制绒机、pecvd、rpd/pvd以及丝网印刷机。

来源：纯科学2020-08-24

7.非晶硅太阳能电池技术可能的降成本潜力太阳能除了目前的晶硅太阳能技术外，还在同步发展其他很多太阳能技术。

来源：老成之见2020-08-17

hjt电池中的本征非晶硅薄膜（i-a-si:h）有效降低了晶硅/非晶硅异质结表面的复合速率，同时补偿了本征非晶硅层自身存在的悬挂键缺陷，在硅片表面获得了令人满意的钝化效果，显著提升了电池的开路电压和转换效率

来源：贝哲斯咨询2020-07-30

总的来说，hit电池指晶体硅异质结太阳电池，是采用hit结构的硅太阳能电池，所谓hit结构就是在晶体硅片上沉积一层非掺杂（本征）氢化非晶硅薄膜和一层与晶体硅掺杂种类相反的掺杂氢化非晶硅薄膜，采取该工艺措施后

来源：元一能源2020-07-24

该系统是南昌大学“新材料技术”世界一流学科建设项目之一，集成应用了南昌大学光伏研究院在非晶硅／晶体硅异质结（hac）高效双面进光太阳电池和锂离子电池高容量硅－碳负极材料技术研发与产业化应用成果，后续还将采用光伏研究院研制的低成本高效制氢剂与配套连续供氢系统

来源：中新经纬2020-07-23

另一方面，相对原有的非晶硅面板生产线，若要改造为ltps生产线，不仅无需复杂的过程和大量资金投入，更不会受到生产线世代数的限制。

来源：贺利氏可再生能源2020-07-10

或离位）掺杂形成多晶硅，由于lpcvd沉积过程会带来绕镀问题，使电池性能退化，因此可选择离位掺杂，即lpcvd形成本征多晶后再进行扩散或离子注入掺杂，形成重掺杂的多晶硅；另一种是使用pecvd沉积掺杂非晶硅或微晶硅层