来源:北极星太阳能光伏网(独家)2013-12-27
pecvd法按沉积腔室等离子源与样品的关系上可以分成两种类型:直接法:样品直接接触等离子体,样品或样品的支撑体就是电极的一部分。间接法:或称离域法。
来源:PV-Tech2012-11-19
gtat先进系统开发部门的执行董事长vikram singh称,hyperion独特的离子源和设计可以应用于许多晶体材料的薄片剥离,包括硅、碳化硅、蓝宝石、锗和其他材料,这不但可以降低成本,还可以提高材料性能
2006-10-10
离子源专家戴习毛得知父亲病重后,因为忙于长寿命离子源的研制,没能抽空回家看望父亲。他原本想离子源研制成功后,让父亲分享成功的喜悦。可正当离子源技术攻关处于最紧张的时刻,父亲却在老家病故了。