来源：北极星环保网2022-03-21

面向消费电子、数据中心、自动驾驶等领域，提高中高频射频前端芯片、激光雷达、毫米波雷达、驱动芯片、高性能滤波器、微机电系统等特色工艺芯片供给能力。积极发展化合物半导体。...化合物半导体、封装测试等方向，坚持区域集聚，以应用为牵引，以骨干企业为依托，以重大项目为抓手，持续扩大功率半导体领域优势地位，推进硅基光电子技术产业化，加快发展化合物半导体材料及芯片、模拟和数模混合芯片、微机电系统

来源：安徽省发改委2022-02-24

项目五河县新希望六和生猪屠宰及绿色食品深加工基地项目五河县富明承插型盘扣式脚手架项目怀远县宝钢新建智能化铝制两片罐生产基地项目禹会区新型智造双创产业园项目固镇县长三角产业转移示范园项目怀远县绿色建材产业建设项目安建工建材产业园项目禹会区正嘉高低压成套设备生产线项目固镇县电子信息产业园项目五河县荣旺纺织项目五河县茂禄纺织项目怀远县雁湖面粉厂技改搬迁项目五河县宏新食品项目五河县正鹰水泥编织袋项目怀远县鸿云年产200万套汽车后视镜、尾灯及总成项目五河县锋伟水泥编织袋项目禹会区微机电双创产业园项目怀远县振立年产

来源：北极星储能网2022-02-23

发展mosfet（金属氧化物半导体场效应晶体管）、igbt（大功率绝缘栅双极型晶体管）、高端传感器、mems（微机电系统）、大功率led（发光二极管）器件、半导体激光器等产品。

来源：安徽省发改委2022-02-23

项目五河县新希望六和生猪屠宰及绿色食品深加工基地项目五河县富明承插型盘扣式脚手架项目怀远县宝钢新建智能化铝制两片罐生产基地项目禹会区新型智造双创产业园项目固镇县长三角产业转移示范园项目怀远县绿色建材产业建设项目安建工建材产业园项目禹会区正嘉高低压成套设备生产线项目固镇县电子信息产业园项目五河县荣旺纺织项目五河县茂禄纺织项目怀远县雁湖面粉厂技改搬迁项目五河县宏新食品项目五河县正鹰水泥编织袋项目怀远县鸿云年产200万套汽车后视镜、尾灯及总成项目五河县锋伟水泥编织袋项目禹会区微机电双创产业园项目怀远县振立年产

来源：北极星环保网2022-02-23

项目五河县新希望六和生猪屠宰及绿色食品深加工基地项目五河县富明承插型盘扣式脚手架项目怀远县宝钢新建智能化铝制两片罐生产基地项目禹会区新型智造双创产业园项目固镇县长三角产业转移示范园项目怀远县绿色建材产业建设项目安建工建材产业园项目禹会区正嘉高低压成套设备生产线项目固镇县电子信息产业园项目五河县荣旺纺织项目五河县茂禄纺织项目怀远县雁湖面粉厂技改搬迁项目五河县宏新食品项目五河县正鹰水泥编织袋项目怀远县鸿云年产200万套汽车后视镜、尾灯及总成项目五河县锋伟水泥编织袋项目禹会区微机电双创产业园项目怀远县振立年产

来源：北极星储能网2022-02-17

巩固提升气体、热释电红外、气象等传感器竞争优势，积极发展基于微机电系统的新型智能传感器，丰富智能传感器、射频卡、嵌入式芯片、传感网络设备等物联网产品体系，做优车联网、医疗物联网、家居物联网产业，协同发展云服务与边缘计算服务

来源：河南省人民政府2022-02-17

巩固提升气体、热释电红外、气象等传感器竞争优势，积极发展基于微机电系统的新型智能传感器，丰富智能传感器、射频卡、嵌入式芯片、传感网络设备等物联网产品体系，做优车联网、医疗物联网、家居物联网产业，协同发展云服务与边缘计算服务

来源：北极星太阳能光伏网2022-02-10

对集成电路、化合物半导体、微机电系统（mems）、功率器件产业链企业（含材料、装备、工具软件、设计、制造、封装、测试、配套服务等环节）上一年度购置关键研发设备及工具的，省级按其实际购置金额的20%给予奖补

来源：中国政府网2022-01-30

开展智能传感器、微机电系统（mems）传感器等关键参数计量测试技术研究，提升物联网感知装备质量水平，打造全频域、全时段、全要素的计量支撑能力。（十四）支撑碳达峰碳中和目标实现。

来源：北极星碳管家网2022-01-30

开展智能传感器、微机电系统（mems）传感器等关键参数计量测试技术研究，提升物联网感知装备质量水平，打造全频域、全时段、全要素的计量支撑能力。（十四）支撑碳达峰碳中和目标实现。

来源：河南人民政府2022-01-27

巩固气体、红外等传感器优势，重点发展基于mems（微机电系统）工艺的智能传感器，加快mems研发中试平台建设，补齐以特色半导体工艺为代表的技术短板，提升世界传感器大会影响力，建设郑州·中国智能传感谷以及开封

来源：北极星碳管家网2022-01-27

巩固气体、红外等传感器优势，重点发展基于mems（微机电系统）工艺的智能传感器，加快mems研发中试平台建设，补齐以特色半导体工艺为代表的技术短板，提升世界传感器大会影响力，建设郑州·中国智能传感谷以及开封

来源：北极星环保网2022-01-27

巩固气体、红外等传感器优势，重点发展基于mems（微机电系统）工艺的智能传感器，加快mems研发中试平台建设，补齐以特色半导体工艺为代表的技术短板，提升世界传感器大会影响力，建设郑州·中国智能传感谷以及开封

来源：河南人民政府2022-01-25

支持龙头企业突破核心关键技术，提升微机电系统（mems）工艺芯片等核心芯片的自主研发、设计、制造能力，引领产业创新发展。其他电子元器件。

来源：北极星环保网2022-01-13

全力推进浙江宇视科技有限公司安防产品产业化基地，大华安防视频监控产品生产基地，海康威视微机电系统（mems）传感芯片研发及产业化高性能数字安防产品生产等项目。（3）人工智能。

来源：国家电网报2022-01-11

系统级封装（sip）、微机电系统（mems）、纳机电系统（nems）等技术和工艺的突破和应用，将助力电力专用的微型化感知器件开发，推进电力设备的智能化。

来源：北极星环保网2021-12-21

推进智能汽车关键技术产业化发展，重点发展环境感知传感器、车载芯片、中央处理器、车载操作系统、车辆电子控制、激光/毫米波雷达、微机电、自适应巡航、智能动力分配系统、智能紧急制动辅助系统、智能牵引控制系统、

来源：上海经信委2021-12-21

二是发展新型传感器，重点发展应用于智能工厂、消费电子、高端装备所需的高精度、高可靠性传感器；攻关微机电系统（mems）等先进传感器技术，推动科研院所成果转化应用。

来源：陕西省人民政府2021-12-15

上游重点扶持和培育各类智能传感器设计、制造和封装产业化，加强智能传感器核心芯片，特别是基于微机电系统（mems）工艺的芯片，以及芯片配套的算法和驱动程序等技术的自主研发，推动新型传感器科技成果转化。

来源：北极星氢能网2021-12-15

上游重点扶持和培育各类智能传感器设计、制造和封装产业化，加强智能传感器核心芯片，特别是基于微机电系统（mems）工艺的芯片，以及芯片配套的算法和驱动程序等技术的自主研发，推动新型传感器科技成果转化。