来源：合肥市经济和信息化局2022-01-20

重点支持研发生产全自动大面积pecvd（等离子增强化学气相沉积）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机、高温烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备；大面积 tco（透明导电氧化物

来源：北极星固废网2022-01-17

推广基于增材制造的废旧机床关键零件质量控制及性能预测评估技术，积极研发大功率工业级金属3d打印机，支持发展铁基合金镀铁再制造技术和无刻蚀镀铁技术。

来源：人民网2022-01-10

可再生能源装机规模持续扩大表面制绒、刻蚀清洗、丝网印刷……在陕西西安隆基乐叶电池工厂的车间内，一片片墨蓝色的太阳能电池片正等待出厂。“投产以来，我们的产能不断提升。”隆基乐叶总经理邵爱军说。

来源：上海经信委2021-12-21

一是集成电路装备，瞄准光刻、刻蚀、湿法、沉积、离子注入、量测检测等工艺环节，推进先进光刻机、高端刻蚀机、晶圆清洗设备、离子注入设备、气相沉积设备、量测检测设备、先进封装设备等核心产品研发，在关键制程实现产业化突破

来源：北极星储能网2021-11-10

增强集成电路材料和装备本地配套及服务能力，支持大尺寸硅片、光刻胶、高纯化学试剂、电子气体、化合物半导体材料、溅射靶材以及沉积设备、刻蚀设备、半导体检测设备等研发和产业化。

来源：北极星环保网2021-10-29

积极引进金属有机化合 物化学气相沉积设备（mocvd）、刻蚀机、光刻机、等离子体增 强化学气相沉积设备（pecvd）、固晶机、光谱分析仪等核心设备 研发生产项目。

来源：上海市人民政府2021-09-30

面向经济主战场，刻蚀机、光刻机等战略产品取得重大突破，发布人工智能云端训练和推理芯片，特定领域性能及能效比达到世界领先水平。

来源：相章分享VOCs治理技术2021-09-24

然后对栅电极及引线、有源层孤岛、源漏电极及引线、接触过孔、像素电极，经光刻胶涂敷、光刻胶曝光、显影等光刻工艺并经湿法刻蚀、干法刻蚀后，剥离掉多余的光刻胶，经热处理把半导体特性作均一化处理后即做成阵列玻璃基板

来源：相章分享VOCs治理技术2021-08-09

优化光刻、刻蚀等环节的洁净室设计，形成封闭式操作环境，更多地采取自动化设备实现高效操作，提高原材料的使用效率，最大程度减少vocs的挥发，提高废气的收集效率。...这些有机污染物主要来源于清洗、刻蚀、沉积、镀膜、光刻、显影等频繁使用有机溶剂的工序。半导体生产制造过程中产生的vocs污染物成分复杂，主要有各类烷烃、烯炔烃类、芳族化合物以及酮、醚类等。

来源：北极星太阳能光伏网2021-08-05

精益求精 成效显著经过客户测试，首批产出的柔性钙钛矿薄膜基板，运用优化的超短激光脉冲工艺，有选择性地除掉吸收层，划掉背电极层，且不损坏基底，在pen-ito上做了高效刻蚀，精度超高，极大地降低了钙钛矿薄膜电池死区宽度

来源：北极星风力发电网2021-07-23

加快研制具有国际一流水平的刻蚀机、清洗机、离子注入机、量测设备等高端产品。开展核心装备关键零部件研发。提升12英寸硅片、先进光刻胶研发和产业化能力。...一批关键核心技术实现突破，集成电路先进工艺实现量产，7纳米和5纳米刻蚀机进入国际先进生产线，桌面cpu、千万门级fpga等关键产品达到国际主流水平，12英寸大硅片实现批量供应。

来源：上海市人民政府2021-07-22

加快研制具有国际一流水平的刻蚀机、清洗机、离子注入机、量测设备等高端产品。开展核心装备关键零部件研发。提升12英寸硅片、先进光刻胶研发和产业化能力。...一批关键核心技术实现突破，集成电路先进工艺实现量产，7纳米和5纳米刻蚀机进入国际先进生产线，桌面cpu、千万门级fpga等关键产品达到国际主流水平，12英寸大硅片实现批量供应。

来源：北极星氢能网2021-07-21

加快研制具有国际一流水平的刻蚀机、清洗机、离子注入机、量测设备等高端产品。开展核心装备关键零部件研发。提升12英寸硅片、先进光刻胶研发和产业化能力。...一批关键核心技术实现突破，集成电路先进工艺实现量产，7纳米和5纳米刻蚀机进入国际先进生产线，桌面cpu、千万门级fpga等关键产品达到国际主流水平，12英寸大硅片实现批量供应。

来源：北极星氢能网2021-07-16

基础材料攻关行动，布局高端石墨烯、陶铝等前沿新材料，攻关刻蚀液、探测器新型晶体等关键战略材料。...装备材料，加强装备材料创新发展，突破光刻设备、刻蚀设备、薄膜设备、离子注入设备、湿法设备、检测设备等集成电路前道核心工艺设备；提升12英寸硅片、高端掩膜板、光刻胶、湿化学品、电子特气等基础材料产能和技术水平

来源：北极星电力网2021-07-08

增强集成电路材料和装备本地配套及服务能力，支持大尺寸硅片、光刻胶、高纯化学试剂、电子气体、化合物半导体材料、溅射靶材以及沉积设备、刻蚀设备、半导体检测设备等研发和产业化。

来源：北极星太阳能光伏网（整理）2021-07-08

增强集成电路材料和装备本地配套及服务能力，支持大尺寸硅片、光刻胶、高纯化学试剂、电子气体、化合物半导体材料、溅射靶材以及沉积设备、刻蚀设备、半导体检测设备等研发和产业化。

来源：北极星氢能网2021-07-08

增强集成电路材料和装备本地配套及服务能力，支持大尺寸硅片、光刻胶、高纯化学试剂、电子气体、化合物半导体材料、溅射靶材以及沉积设备、刻蚀设备、半导体检测设备等研发和产业化。

来源：福建省人民政府2021-07-08

增强集成电路材料和装备本地配套及服务能力，支持大尺寸硅片、光刻胶、高纯化学试剂、电子气体、化合物半导体材料、溅射靶材以及沉积设备、刻蚀设备、半导体检测设备等研发和产业化。

来源：北极星输配电网2021-07-07

增强集成电路材料和装备本地配套及服务能力，支持大尺寸硅片、光刻胶、高纯化学试剂、电子气体、化合物半导体材料、溅射靶材以及沉积设备、刻蚀设备、半导体检测设备等研发和产业化。

来源：北极星环保网2021-07-07

增强集成电路材料和装备本地配套及服务能力，支持大尺寸硅片、光刻胶、高纯化学试剂、电子气体、化合物半导体材料、溅射靶材以及沉积设备、刻蚀设备、半导体检测设备等研发和产业化。