来源：合肥市经济和信息化局2022-01-20

重点支持研发生产全自动大面积pecvd（等离子增强化学气相沉积）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机、高温烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备；大面积 tco（透明导电氧化物

来源：人民网2022-01-10

可再生能源装机规模持续扩大表面制绒、刻蚀清洗、丝网印刷……在陕西西安隆基乐叶电池工厂的车间内，一片片墨蓝色的太阳能电池片正等待出厂。“投产以来，我们的产能不断提升。”隆基乐叶总经理邵爱军说。

来源：苏州晟成光伏2021-12-01

11月30日，晟成光伏首台hjt异质结清洗制绒设备成功交付。该设备是由晟成光伏与新能源客户共同开发制造，具有完全自主知识产权。...至此晟成光伏已具备完全自主的高效以及超高效hjt清洗制绒设备交付能力，深度布局异质结电池领域，全力推进异质结电池设备国产化进程。

来源：东方日升新能源2021-11-03

产品效率和良率还将通过清洗制绒、cvd、tco、丝印、烧结等工序去碳优化进一步提升。

来源：晶科能源2021-11-01

而实际上，如清洗制绒环节对洁净度要求较高，且工艺复杂；非晶体硅沉积所需pecvd设备较多，镀膜速度较低；此外，双面银丝印与烧结用量大于高温银浆，银粉价格只会越来越贵，这都让hjt难以逾越的成本关和良率关

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2021-09-23

据悉，hjt电池技术的优势在于工艺制程短，仅制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、tco制备、电极制备四个步骤，但最大制约在于产线设备须全新投入，此前异质结电池进口设备约为8~10亿元/gw，2022年gw设备投资有望降至

来源：安徽省经信厅2021-07-22

加大自动制绒、自动上下料、自动装框、自动灌胶、el测试仪、iv曲线测试仪等生产设备的推广应用，重点提升太阳能电池及其部件的智能制造水平。

来源：北极星太阳能光伏网2021-07-21

据曹仁贤介绍，目前，我国在硅料生产、硅片加工、电池片生产、组件生产、环保处理、净化工程，以及相关的光伏检测、模拟器等各类生产设备方面，绝大部分已经实现国产化供应，部分产品如湿法清洗设备、制绒设备、扩散炉

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2021-06-25

据了解，晟成光伏电池智能装备包含制绒上下料机、扩散上下料机、刻蚀上下料机、退火/氧化插片机、pevcd上下料机等，硅片智能装备主要是硅片检测分选机。

来源：迈为股份2021-05-28

作为光伏行业的“明日之星”，异质结技术的理论转换效率达27.5%，具备衰减率低、温度系数优、双面率高、弱光响应好等多重优势，组件全生命周期发电增益显著；且仅有清洗制绒、硅基薄膜沉积(pecvd)、透明导电薄膜沉积

来源：北极星太阳能光伏网2021-05-24

捷佳伟创在年报中表示，hjt电池整线设备从制绒到丝网印刷线及自动化设备国产化已量产，正进行产业化推广应用。

来源：光伏前沿2021-05-20

异质结电池实现低成本量产的关键在于设备国产化、提高良率和产能以及降低硅片、低温银浆、tco靶材和清洗制绒化学品等成本。

来源：北极星太阳能光伏网2021-04-29

主要产品包括pecvd及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化（配套）设备、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售

来源：爱康集团2021-04-12

产能建设，持续进行后续1.5gw布线建设3、项目资金项目一：政府代建项目二：企业自筹4、项目建设地点项目一：江苏泰兴项目二：浙江长兴二、项目招标内容及方式1、招标内容高效异质结电池生产设备，其中主设备包含：制绒清洗设备

来源：苏大光伏校友会2021-04-09

项目一期第一条线主要以进口设备为主，采用启威星的清洗制绒设备、美国应用材料的pecvd设备、捷佳伟创的rpd设备、应用材料的丝网印刷设备，对应电池产能220mw；第二条线为国产设备，对应产能260mw，

来源：北极星太阳能光伏网2021-03-29

新购置制绒清洗设备、 pecvd 设备、pvd 设备、丝网印刷线机、划片串焊设备、叠焊机、 层压机等生产及辅助设备885 台/套，项目主导产品为n型高效太阳能电池组件。

来源：集邦新能源网2021-02-02

（3）hjt：hjt的生产工艺只有四步，对应的设备包括清洗制绒设备、非晶硅薄膜沉积设备（pecvd或者cat-cvd）、tco膜沉积（pvd或者cvd）、丝印与烧结设备等，目前对应设备投入约4.5亿/gw

来源：集邦新能源网2021-01-22

perc电池的制作流程主要为：清洗制绒、扩散制结、边缘刻蚀和去磷硅玻璃、背面沉积氧化铝、双面沉积氮化硅、背接触、丝网印刷、烧结和分选。

来源：集邦新能源网2021-01-12

低温银浆、靶材在浆料成本中占比较高清洗制绒环节和非晶硅沉积环节材料成本较低。...目前清洗制绒环节，臭氧+双氧水工艺在大批量生产验证后清洗效果较为稳定，并且在去除氨氮工艺后污水处理与化学品成本大大降低，是现在最佳的清洗工艺，其总体化学品成本已经贴近 p-perc 电池清洗成本，材料成本约

来源：打板战线2021-01-11

捷佳伟创：国内领先的晶体硅太阳能电池生产设备供应商，主要产品是管式pecvd，罐式高温扩散炉，单多晶制绒设备。北方华创：泛半导体领域的刻蚀机，pvd,cvd扩散炉等，广泛应用于光伏，半导体