来源：solarF2012-04-13

cvd还原反应(将高纯度tcs还原为高纯度多晶硅)是改良西门子法多晶硅生产工艺中能耗最高和最关键的一个环节，cvd工艺的改良是多晶硅生产成本下降的一项重要驱动力。...另一方面，改良西门子法在二次创新(提高cvd产能、优化cvd单位功耗、改进stc氢化工艺等)后，无论是还原电耗还是综合电耗都有显著降低，考虑到目前改良西门子法的单位建设成本已经很低(保利协鑫约30美元/

来源：PV-Tech2012-04-10

参加这一项目的机构包括：洛桑联邦理工学院(epfl)捷克科学院物理研究所(fyziklnstavavr,v.v.i)斯洛文尼亚卢布尔雅那大学(univerzavljubljani)英国公司cvdtechnologies

来源：PV-Tech2012-04-10

参加这一项目的机构包括：洛桑联邦理工学院(epfl)捷克科学院物理研究所(fyziklnstavavr,v.v.i)斯洛文尼亚卢布尔雅那大学(univerzavljubljani)英国公司cvdtechnologies

来源：光伏制造2012-04-09

二pecvd技术的分类用来制备sinx膜的方法有很多种，包括：化学气相沉积法（cvd法）、等离子增强化学气相沉积（pecvd法）、低压化学气相沉积法（lpcvd法）。在目前产业上常用的是pecvd法。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-31

薄膜是要进行cvd沉积的，目前从工艺效率和环保的角度来说，最佳的原料气体应该是硅烷气。...主要硅提纯工艺分别介绍1 改良西门子法闭环式三氯氢硅氢还原法改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢(或外购氯化氢)，氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行cvd

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-27

国内外多晶硅生产的主要工艺技术1、改良西门子法闭环式三氯氢硅氢还原法改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢，氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行cvd

来源：仪表网2012-03-27

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-19

si500d等离子沉积系统是icp-pecvd设备，用于在基片上沉积 siox, sioxny或 siny薄膜。沉积薄膜的厚度、折射率、应力可以简单的、连续的调节。...sentech icp-pecvd设备的安装，由德国原厂技术支持工程师和东方集成工程师共同完成，由sentech和东方集成共同承担售后保修，具有标志性的历史意义。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-15

我们研制的led外延片核心设备mocvd，目前已交付台湾用户试用，今年将实现批量化生产，彻底打破该设备受美国和德国企业绝对垄断的行业竞争格局。

来源：九江新闻网2012-03-15

超日公司于2010年在深交所上市，超日电池片生产工艺以及太阳能电池组件上已取得了多项技术突破，尤其是清洗工艺中的表面织构化技术、扩散工艺中的均匀发射极制备技术、等离子体边缘刻蚀最优化技术处于国内领先水平;pecvd

来源：solarzoom2012-03-14

中科院半导体所许颖等也用rf-pecvd在p型衬底上制备出了n型nc-si发射极。除pecvd法以外，中科院研究生院的张群芳等还用hwcvd法制备c-si发射极。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-12

这个组合将应用化学蒸汽分解(cvd)流程在ornl开发的金属箔片上培养薄层高质量硅。ampulse将设计一个全规模生产线，支持长卷金属箔片的使用，以确保此项技术的成本效益。

来源：中华电源网2012-03-09

工艺方法可用真空镀膜法、离子镀膜法，溅射法、印刷法、pecvd法或喷涂法等。(9)烧结：将电池芯片烧结于镍或铜的底板上。(10)测试分档：按规定参数规范，测试分类。

来源：百度百科2012-02-28

七星集团主要产品包括：半导体工艺制造设备(微扩散系统、干法刻蚀系统、pecvd、质量流量控制器)、太阳能电池设备、tft-lcd设备、电真空设备、单晶炉、二次电池设备;各类高可靠、高稳定、高精密电阻器、

来源：PV-Tech2012-02-28

此外，今年金坛市还将支持华盛天龙mocvd研发成功后的产业化工作，并支持龙头企业建设一批企业研究院和实验室，重点是华盛天龙硅材料加工设备国家地方联合工程研究中心、江苏省(亿晶)光伏工程研究院的建设。

来源：中国LED网2012-02-27

该项目将投资50亿元形成拥有90台mocvd设备的外延和配套芯片生产线的产业规模，实现led外延和芯片整体生产能力比十一五末扩大10倍、ld产品产销量翻两番，形成年产led和ld外延片400万片、芯片800

来源：中国LED网2012-02-27

该机构表示，2010年，三星led、lgit和隆达电子(lextar)等主要 led厂商快速扩充 mocvd 产能，但却发现高估了市场需求;为应对供应过剩问题，他们开始在 2011年后期调整产能利用率，

来源：北极星太阳能光伏网2012-02-27

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（pecvd）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能光伏电池片生产线设备和pecvd等薄膜太阳能光伏电池生产设备

来源：中商情报网2012-02-24

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积(pecvd)、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和pecvd等薄膜光伏电池生产设备。

来源：工信部网站2012-02-24

重点发展等离子体增强化学气相沉积(pecvd)、激光切割、刻蚀、丝网印刷以及封装检测等设备，鼓励开发晶硅和薄膜太阳能电池成套设备生产线。...全面提升装备技术水平，突破平板式pecvd、全自动丝网印刷机、高效切割机等设备瓶颈。支持控制器、逆变器等配套部件和石墨、坩锅、电子浆料、tco玻璃等配套材料的研发及产业化。