来源：中国政府网2012-07-23

●产业化：实施集成电路、新型平板显示创新发展工程；推进led、微机电系统（mems）、智能传感器、新型电力电子器件以及金属有机源化学气相沉积（mocvd）装备等产业化。

来源：阿里巴巴2012-07-20

中国led业者先前大手笔购置mocvd机台，近期见市况稍稳，产能陆续开出，其中尤以中国最大led业者三安光电最为积极，业者所指中国低功率led磊晶抢市，讲的主要就是三安光电切入台湾封装客户，业界指出，三安在低功率芯片上的性价比逐渐提升

来源：新产业2012-07-20

2011年5月，富士康子公司奇力光电在佛山南海投资led外延芯片，计划3年内引入50台mocvd(led外延片生产设备)，今年将正式投产。

来源：PV-Tech2012-07-18

现在由centrotherm和roth&rau(现在为meyerburger的分公司)主导的c-sipecvd工具市场在2011年达到了8.8亿美元。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-07-16

公司主要产品有：多晶硅生产设备和服务gt 提供操作高效和低成本的 cvd 反应器所需的全套多晶硅生产设备，以及生产高质量多晶硅所需的相关工程服务。我们基于西门子技术的 sdr?...48所太阳电池制造装备具备了整线交钥匙工程的能力，国内市场占有率达到80%以上，扩散炉、刻蚀机、pecvd等装备批量供应国际著名的无锡尚德太阳能电力有限公司等;磁性材料制造装备的国内市场占有率也达70%

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-07-13

我们要强调不同国家之间做贸易的时候要合作，要谈判，但是如果没有这些基本原则遵守的话，美国对太阳能电池双反进行调查了，中国就会对他们贸易壁垒进行调查，中国也会对多晶硅进行ad和cvd方面的调查，所以中国也会对多晶硅进行反倾销的调查

来源：中国网2012-07-05

重点发展半导体和集成电路专用设备、新型显示器件专用设备、oled镀膜、蒸镀、光刻设备、tft-lcd检测设备、金属有机化合物化学气相沉积(mocvd)设备、薄膜太阳能电池生产设备、电子整机装联设备、新型电子元器件设备等专用电子设备产品

来源：工控网2012-07-02

但是，全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式pecvd仍然依赖进口。目前国内光伏电池注流建线方案为国产和进口设备混搭，基本以国产为主。设备投资方面，一条25mw的标准生产线需34006000万元。...但它的自动化程度(自动装卸片)不如进口设备(进口设备如德国centrotherm公司产品，售价是国产设备的三倍左右)，平板型pecvd目前国内已有企业生产，有待进一步验证;第三，国产丝网印刷机(只有手动

来源：国务院网站2012-06-30

加快半导体照明（led、oled）研发，重点是金属有机源化学气相沉积设备（mocvd）、高纯金属有机化合物（mo源）、大尺寸衬底及外延、大功率芯片与器件、led背光及智能化控制等关键设备、核心材料和共性关键技术

来源：OFweek太阳能光伏网2012-06-28

在做出初步反补贴税(cvd)裁决三个月后，据报道，美国商务部(doc)已经提高中国太阳能光伏生产商的反补贴税率，中国太阳能光伏生产商向美国出口太阳能电池将须缴纳更高的反补贴税。

来源：北极星太阳能光伏网2012-06-28

精制sihcl3进入cvd还原炉生成多晶硅，还原尾气进入干法回收系统，分离出h2和hcl，之后再进入精馏系统，分离出sicl4，得到精制sihcl3。

来源：北极星太阳能光伏网2012-06-28

从原材料制造到电池制造再到组件制造，中国设备国产化程度较高，但是在几种价值较高的关键设备上虽然实现了国产化但技术水平还与国外有一定差距，无法实现大规模市场应用，如还原炉、pecvd设备、烧结炉和全自动丝印机

来源：PV-Tech2012-06-27

natcore指出，这5家公司以使用等离子增强化学气相沉积(pecvd)来在其产品上沉淀薄膜著称。该公司将使用在纽约rochester研发中心的ar-box来完成测试。

来源：中华工商时报2012-06-26

2011年1月8日，首台代表国际尖端水平的中国造薄膜太阳能电池关键生产设备等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)在正泰成功下线。自此，打破了高端薄膜太阳能电池设备一直被国外厂商垄断的局面。

来源：solarzoom2012-06-11

摘要：本文采用pecvd技术沉积本征非晶硅薄膜，研究少子寿命随本征层厚度、沉积气压、射频功率、氢稀释度以及硅片清洗工艺的变化规律。结果表明：本征层厚度要适中。...2实验实验采用pecvd技术，在单晶制绒硅片上双面沉积本征非晶硅层。所用硅片为5英寸n型cz片，晶向为(100)，电阻率0.5～3cm，厚度约200~220m。

来源：北极星太阳能光伏网2012-06-04

为了达到最佳的钝化和减反射效果,在电池表面通过pecvd低温(400c)沉积折射率不同的双层sinx薄膜。...rise2ewt电池的整个制作流程只采用了激光烧蚀、pecvd、磷扩散等无直接机械接触的加工技术,便于加工面积较大的薄晶片。

来源：PV-Tech2012-06-01

此外，amtech还表示，由子公司tempresssystems推出的管型pecvd产品可以帮助针对太阳能市场的子公司将规模扩大一倍。...本月早些时候中国上海举办的第六届国际太阳能行业和光伏展览会议(6thinternationalsolarindustryandphotovoltaicexhibitionandconference)上，其新型离子注入机和pecvd

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-30

三洋双面hit电池结构图晶硅/非晶硅异质结结构：增加开路电压，提高转换效率光伏技术：hit电池工艺制程1.硅片清洗制绒2.正面用pecvd制备本征非晶硅薄膜和p型非晶硅薄膜3.背面用pecvd制备本征非晶硅薄膜和

来源：中国电子报2012-05-29

近年来，先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、pecvd、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交钥匙系统方案

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-29

另外，许多著名pecvd厂商也在为如何提升自身的竞争力殚精竭虑，例如，著名管式pecvd厂商centrotherm就推出了centaurus技术，平板式pecvd厂商roth&rau也依据平板式镀膜的优势而推出了异质结结构