来源：北极星太阳能光伏网2012-06-28

从原材料制造到电池制造再到组件制造，中国设备国产化程度较高，但是在几种价值较高的关键设备上虽然实现了国产化但技术水平还与国外有一定差距，无法实现大规模市场应用，如还原炉、pecvd设备、烧结炉和全自动丝印机

来源：PV-Tech2012-06-27

natcore指出，这5家公司以使用等离子增强化学气相沉积(pecvd)来在其产品上沉淀薄膜著称。该公司将使用在纽约rochester研发中心的ar-box来完成测试。

来源：中华工商时报2012-06-26

2011年1月8日，首台代表国际尖端水平的中国造薄膜太阳能电池关键生产设备等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)在正泰成功下线。自此，打破了高端薄膜太阳能电池设备一直被国外厂商垄断的局面。

来源：solarzoom2012-06-11

摘要：本文采用pecvd技术沉积本征非晶硅薄膜，研究少子寿命随本征层厚度、沉积气压、射频功率、氢稀释度以及硅片清洗工艺的变化规律。结果表明：本征层厚度要适中。...2实验实验采用pecvd技术，在单晶制绒硅片上双面沉积本征非晶硅层。所用硅片为5英寸n型cz片，晶向为(100)，电阻率0.5～3cm，厚度约200~220m。

来源：北极星太阳能光伏网2012-06-04

为了达到最佳的钝化和减反射效果,在电池表面通过pecvd低温(400c)沉积折射率不同的双层sinx薄膜。...rise2ewt电池的整个制作流程只采用了激光烧蚀、pecvd、磷扩散等无直接机械接触的加工技术,便于加工面积较大的薄晶片。

来源：PV-Tech2012-06-01

此外，amtech还表示，由子公司tempresssystems推出的管型pecvd产品可以帮助针对太阳能市场的子公司将规模扩大一倍。...本月早些时候中国上海举办的第六届国际太阳能行业和光伏展览会议(6thinternationalsolarindustryandphotovoltaicexhibitionandconference)上，其新型离子注入机和pecvd

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-30

三洋双面hit电池结构图晶硅/非晶硅异质结结构：增加开路电压，提高转换效率光伏技术：hit电池工艺制程1.硅片清洗制绒2.正面用pecvd制备本征非晶硅薄膜和p型非晶硅薄膜3.背面用pecvd制备本征非晶硅薄膜和

来源：中国电子报2012-05-29

近年来，先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、pecvd、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交钥匙系统方案

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-29

另外，许多著名pecvd厂商也在为如何提升自身的竞争力殚精竭虑，例如，著名管式pecvd厂商centrotherm就推出了centaurus技术，平板式pecvd厂商roth&rau也依据平板式镀膜的优势而推出了异质结结构

来源：日经电子2012-05-29

利用以sih4为原料的等离子cvd进行成膜时，等离子产生的高硅烷(hos簇)会进入膜中，引起光劣化。因此，日本产综研将等离子cvd反应器内用网状金属隔开，使等离子区远离基板。

来源：北极星太阳能光伏2012-05-25

在太阳能电池的一般生产工艺中，经过扩散制结，等离子刻蚀去周边和pecvd制减反膜，下一工艺主要是形成良好的电极接触，而这正是通过丝网印刷和烧结两道工艺共同完成的。...7.4丝网印刷设备的维护和保养7.5丝网印刷设备的发展方向全自动丝网印刷机、自动分检机和平板式pecvd等3种设备在近期内需完全依赖进口，但相应国产设备推出的日子已为期不远。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-24

表6.1pecvd的主要性能指标6.3.3pecvd设备的主要特点pecvd设备的主要特点(如表6.2)表6.2pecvd的主要特点表6.3pecvd设备的优点pecvd集成了真空、化学、物理、机械、电气

来源：中电电气2012-05-21

封装试验及讨论不同氮化硅膜厚电池的封装对比选族三组不同氮化硅膜厚、效率17.25%档的单晶s125-d165（对角线165mm）电池制作组件（板型：49=36片串联），在板式pecvd时，调节氮化硅膜后分布为

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-05-18

三、oltsolar晶体硅太阳能电池的pecvd新系统oltsolar展出了一款用于生产晶体硅太阳能电池的pecvd新系统。

来源：ne21.com2012-05-15

太阳能电池就是以tco薄膜为衬底生长的，用等离子体增强化学气相沉积法（pecvd）生长的太阳能电池层也称为有效层。有效层包括两个pin串联的双结结构。...其中pin膜的沉积是利用pecvd技术在非硅衬底上制备晶粒较小的多晶硅薄膜的一种方法。该薄膜是一种p-i-n结构，主要特点是在p层和n层之间有一层较厚的多晶硅的本征层（i层）。

来源：环球企业家网站2012-05-14

一个例子是，保利协鑫今年涉足led产业后，在购买mocvd机环节，具体选择哪家设备商的机器的决策就是由朱共山做出，而不是协鑫光电的专业团队。大家都知道，很多事情必须朱老板点头才能定。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-05-11

美国商务部(doc)宣布，针对我国光伏电池进口的反补贴关税(cvd)调查和反倾销关税(ad)调查两项最终判决将同时做出。两项判决最迟不会晚于2012年7月30日做出。...ad的初步裁决将于5月16日做出，而cvd的初步判决已于3月给出。商务部宣称，我国光伏组件生产商不恰当地接受了政府的补贴。据中国业者委外成本推算台湾业者的接单量在五月之后会继续提升。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-07

使用pecvd法在更低的温度下进行表面氧化，近年来也被使用，具有一定的效果。...在多晶硅太阳电池表面采用pecvd法镀上一层氮化硅减反射膜，由于硅烷分解时产生氢离子，对多晶硅可产生氢钝化的效果。

来源：中国能源报2012-05-04

在生产装备方面，晶体硅电池用的高档设备仍需进口，如高纯多晶硅生产的氢化炉、四氯化硅闭环回收装置、大尺寸(如450kg以上)铸锭炉、多线切割机、pecvd镀膜设备、自动丝网印刷机、全自动电池焊接机等。

来源：电子工程世界2012-05-04

然后采用等离子体化学气相沉积法(pecvd)沉积非晶硅层，以形成叠层太阳电池结构，这是整个制造过程中最关键的工艺步骤。