来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-09-07

装备方面有连续式间接hf-pecvd、管式直接lf-pecvd。(作者：和海一样的新能源)

来源：北极星太阳能光伏网2012-08-27

多晶硅由于结构的各项同性而使采用碱腐蚀织构化效果不好，日本京瓷(kyocera)公司采用pecvd/sin+表面织构化采用反应性等离子刻蚀技术(rie)。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-27

多晶硅由于结构的各项同性而使采用碱腐蚀织构化效果不好，日本京瓷(kyocera)公司采用pecvd/sin+表面织构化采用反应性等离子刻蚀技术 (rie)。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-21

oeco 电池 h=21.1%oeco结构示意图如图8所示，电池的表面由许多排列整齐的方形沟槽组成，浅发射极n+位于硅片的上表面，在其上有一极薄的氧化隧道层，al电极倾斜蒸镀于沟槽的侧面，然后利用pecvd...前表面化学制绒使用液态源pocl3进行磷扩散制作n+发射极打开背面接触真空蒸镀al作为背电极前表面低温热氧化形成氧化隧道层前表面无需掩膜直接倾斜蒸镀al作为面电极使用导电胶将各个面电极连接起来采用pecvd

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-14

1997年，日本三洋公司推出了一种商业化的高效电池设计和制造方法，电池制作过程大致如下：利用pecvd在表面织构化后的n型 cz-si片的正面沉积很薄的本征-si:h层和p型-si:h层，然后在硅片的背面沉积薄的本征

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-08

细看，才发现，原来3月20日的主要是cvd反补贴：政府对企业生产行为的财务支持;而5月17日的主要是ad反倾销：低于市场合理价位。

来源：北极星太阳能光伏网2012-08-03

现在由centrotherm和roth & rau(现在为meyer burger的分公司)主导的c-si pecvd工具市场在2011年达到了8.8亿美元。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-07-30

目前制备多晶硅薄膜电池多采用化学气相沉积法，包括低压化学气相沉积(lpcvd)和等离子增强化学气相沉积(pecvd)工艺。此外，液相外延法(lppe)和溅射沉积法也可用来制备多晶硅薄膜电池。

来源：中国太阳能光伏网2012-07-24

中电48所在2010年、2011年连续两年成为跻身光伏装备制造业全球十强的中国企 业，其在刻蚀机、去胶机、扩散/氧化炉、合金退火炉、网带炉、pecvd设备、离子注入机等半导体专用设备方面有很深入的研究，

来源：中国政府网2012-07-23

●产业化：实施集成电路、新型平板显示创新发展工程；推进led、微机电系统（mems）、智能传感器、新型电力电子器件以及金属有机源化学气相沉积（mocvd）装备等产业化。

来源：阿里巴巴2012-07-20

中国led业者先前大手笔购置mocvd机台，近期见市况稍稳，产能陆续开出，其中尤以中国最大led业者三安光电最为积极，业者所指中国低功率led磊晶抢市，讲的主要就是三安光电切入台湾封装客户，业界指出，三安在低功率芯片上的性价比逐渐提升

来源：新产业2012-07-20

2011年5月，富士康子公司奇力光电在佛山南海投资led外延芯片，计划3年内引入50台mocvd(led外延片生产设备)，今年将正式投产。

来源：PV-Tech2012-07-18

现在由centrotherm和roth&rau(现在为meyerburger的分公司)主导的c-sipecvd工具市场在2011年达到了8.8亿美元。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-07-16

公司主要产品有：多晶硅生产设备和服务gt 提供操作高效和低成本的 cvd 反应器所需的全套多晶硅生产设备，以及生产高质量多晶硅所需的相关工程服务。我们基于西门子技术的 sdr?...48所太阳电池制造装备具备了整线交钥匙工程的能力，国内市场占有率达到80%以上，扩散炉、刻蚀机、pecvd等装备批量供应国际著名的无锡尚德太阳能电力有限公司等;磁性材料制造装备的国内市场占有率也达70%

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-07-13

我们要强调不同国家之间做贸易的时候要合作，要谈判，但是如果没有这些基本原则遵守的话，美国对太阳能电池双反进行调查了，中国就会对他们贸易壁垒进行调查，中国也会对多晶硅进行ad和cvd方面的调查，所以中国也会对多晶硅进行反倾销的调查

来源：中国网2012-07-05

重点发展半导体和集成电路专用设备、新型显示器件专用设备、oled镀膜、蒸镀、光刻设备、tft-lcd检测设备、金属有机化合物化学气相沉积(mocvd)设备、薄膜太阳能电池生产设备、电子整机装联设备、新型电子元器件设备等专用电子设备产品

来源：工控网2012-07-02

但是，全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式pecvd仍然依赖进口。目前国内光伏电池注流建线方案为国产和进口设备混搭，基本以国产为主。设备投资方面，一条25mw的标准生产线需34006000万元。...但它的自动化程度(自动装卸片)不如进口设备(进口设备如德国centrotherm公司产品，售价是国产设备的三倍左右)，平板型pecvd目前国内已有企业生产，有待进一步验证;第三，国产丝网印刷机(只有手动

来源：国务院网站2012-06-30

加快半导体照明（led、oled）研发，重点是金属有机源化学气相沉积设备（mocvd）、高纯金属有机化合物（mo源）、大尺寸衬底及外延、大功率芯片与器件、led背光及智能化控制等关键设备、核心材料和共性关键技术

来源：OFweek太阳能光伏网2012-06-28

在做出初步反补贴税(cvd)裁决三个月后，据报道，美国商务部(doc)已经提高中国太阳能光伏生产商的反补贴税率，中国太阳能光伏生产商向美国出口太阳能电池将须缴纳更高的反补贴税。

来源：北极星太阳能光伏网2012-06-28

精制sihcl3进入cvd还原炉生成多晶硅，还原尾气进入干法回收系统，分离出h2和hcl，之后再进入精馏系统，分离出sicl4，得到精制sihcl3。