来源：工控网2012-10-11

十年中，我国的led产业，尤其是高亮度led产业在经历了从引进第一台四元系algainp/gaasmocvd设备和第一台ganmocvd设备，研发出第一片高亮红、黄光外延材料和第一片高亮蓝、绿光外延材料

来源：北极星电力网2012-10-10

led 生产设备，主要包括 mocvd 设备、刻蚀机、离子注入机等及相关 检测设备。...高世代 tft-lcd 制造装备，主要包括光阻涂布设备、 显影设备、湿式蚀刻设备、光阻剥离设备、溅镀设备、cvd、pvd 等。高清晰超薄等离子显示器(pdp)面板。

来源：北极星电力网2012-10-10

1.1.6 高效照明产品及系统发光二极管(led)用大尺寸开盒即用蓝宝石、碳化硅等衬底、 高纯金属有机化合物(mo 源)、高纯氨气、新型高效荧光粉等开发及制造技术，生产型金属有机源化学气相沉积设备(mocvd

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-10-09

今年三安在高倍聚光光伏芯片上的产能是30mw～50mw(一台mocvd 在做)，明年将达到200mw，2015 年前将投资80 亿元于高倍聚光光伏，产能要达到1gw。平效率达到36~40%正态分布。

来源：挖贝网2012-10-08

早在上市之 初，曾被誉为中国光伏设备第一品牌的天龙光电，在外界看来有着众多着眼于未来的储备项目，比如多晶炉、mocvd，比如蓝宝石炉等。

来源：股市动态吧2012-09-29

早在上市之初，曾被誉为中国光伏设备第一品牌的天龙光电，在外界看来有着众多着眼于未来的储备项目，比如多晶炉、mocvd，比如蓝宝石炉等。

来源：中国半导体行业协会2012-09-28

中国今年mocvd的需求将占全球的68%，但是中国的led芯片制造商仍需要将主要精力放在改进技术上，因此，台湾、日本和韩国的制造商将继续保持竞争优势。...2011年，亚洲地区mocvd(led外延片生产必需的设备)的需求占全球的80%，2012年占比将上升至90%。这主要是因为台湾，日本，韩国和中国是全球主要的led芯片生产中心。

来源：《新产业》2012-09-27

记者多方了解到，旭瑞光电自4月停止mocvd设备(led外延片生产设备)的生产后，生产环节只剩下led外延片的切割和测试，led外延片也是从台湾地区运来的。

来源：新华网2012-09-26

公司毛利远高于行业平均水平，主要有两方面原因:一是凭借超强的研发能力，自行研制了重要生产设备，如单晶炉、多线切割机、pecvd等，大幅降低折旧费用;二是公司产业链完整，在晶体硅电池方面成功实现了拉晶-切片

来源：高工LED2012-09-24

目前公司有三分之一的mocvd是用于生产白光用芯片，今年下半年还有扩产计划。而早在今年2月，士兰明芯订购了6台mocvd设备。...士兰明芯总经理江忠永透露，这6台mocvd主要为量产白光用芯片做准备。目前设备已全部到货，正在调试安装。

来源：中国能源报 于孟林 姚仲秋2012-09-12

据介绍，截至目前，2000多万元一台的全球顶尖led专业生产设备mocvd(金属有机化合物化学气相淀积)，该公司就有32台。华磊光电公司已经申请了专利16项，其中发明专利14项。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-09-07

装备方面有连续式间接hf-pecvd、管式直接lf-pecvd。(作者：和海一样的新能源)

来源：北极星太阳能光伏网2012-08-27

多晶硅由于结构的各项同性而使采用碱腐蚀织构化效果不好，日本京瓷(kyocera)公司采用pecvd/sin+表面织构化采用反应性等离子刻蚀技术(rie)。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-27

多晶硅由于结构的各项同性而使采用碱腐蚀织构化效果不好，日本京瓷(kyocera)公司采用pecvd/sin+表面织构化采用反应性等离子刻蚀技术 (rie)。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-21

oeco 电池 h=21.1%oeco结构示意图如图8所示，电池的表面由许多排列整齐的方形沟槽组成，浅发射极n+位于硅片的上表面，在其上有一极薄的氧化隧道层，al电极倾斜蒸镀于沟槽的侧面，然后利用pecvd...前表面化学制绒使用液态源pocl3进行磷扩散制作n+发射极打开背面接触真空蒸镀al作为背电极前表面低温热氧化形成氧化隧道层前表面无需掩膜直接倾斜蒸镀al作为面电极使用导电胶将各个面电极连接起来采用pecvd

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-14

1997年，日本三洋公司推出了一种商业化的高效电池设计和制造方法，电池制作过程大致如下：利用pecvd在表面织构化后的n型 cz-si片的正面沉积很薄的本征-si:h层和p型-si:h层，然后在硅片的背面沉积薄的本征

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-08

细看，才发现，原来3月20日的主要是cvd反补贴：政府对企业生产行为的财务支持;而5月17日的主要是ad反倾销：低于市场合理价位。

来源：北极星太阳能光伏网2012-08-03

现在由centrotherm和roth & rau(现在为meyer burger的分公司)主导的c-si pecvd工具市场在2011年达到了8.8亿美元。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-07-30

目前制备多晶硅薄膜电池多采用化学气相沉积法，包括低压化学气相沉积(lpcvd)和等离子增强化学气相沉积(pecvd)工艺。此外，液相外延法(lppe)和溅射沉积法也可用来制备多晶硅薄膜电池。

来源：中国太阳能光伏网2012-07-24

中电48所在2010年、2011年连续两年成为跻身光伏装备制造业全球十强的中国企 业，其在刻蚀机、去胶机、扩散/氧化炉、合金退火炉、网带炉、pecvd设备、离子注入机等半导体专用设备方面有很深入的研究，