来源：湖北省人民政府2023-09-22

推进微机电系统（mems）公共技术服务平台、化合物半导体创新中心等服务平台建设，提升国家光电子信息产品质量监督检验中心、湖北省光电测试技术服务中心等平台服务功能。...聚焦新一代通信、高端装备、生物科技、智能科技等前沿领域，加强6g、量子通信、超高速光传输、化合物半导体、微机电系统（mems）、三维异质异构集成、忆阻器、量子点oled、激光跨尺度极端制造、三维多轴装备集成

来源：纳芯微2023-09-14

纳芯微涉足汽车应用的第一颗芯片是2016年发布的汽车压力传感器信号调理芯片，其广泛应用于空调压力、机油压力、刹车压力等领域，并于2018年实现了批量装车；2019年发布首款mems压力传感器。...例如，纳芯微的磁电流传感器可广泛应用于obc/dcdc，主驱电机等领域，提供高可靠性，高性能的电流采样；nspasx系列mems压力传感器可用于汽车座椅中的气囊气压检测，提高乘客的座椅舒适度，以及真空助力刹车系统中真空泵的真空度检测

来源：重庆市经信委2023-09-13

车规级芯片重点发展系统级芯片（soc）、现场可编程门阵列（fpga）等主机芯片、微控制单元（mcu）控制芯片、绝缘栅双极晶体管（igbt）、金属氧化物半导体场效应晶体管（mosfet）等功率类芯片、微机电系统（mems

来源：天津经济技术开发区管理委员会2023-08-22

园区聚焦智能装备产业，现有入驻企业32家，代表企业包括：拥有世界领先的高精度mems传感器公司华芯，专注飞控系统的一飞智控，并联机器人龙头企业辰星自动化，水下无人装备企业瀚海蓝帆、探海股份，自动化集成企业奥托美森

来源：河南省发改委2023-08-07

加快智能传感器mems（微机电系统）中试平台建设。

来源：深圳市工业和信息化局2023-08-01

聚焦现有12英寸特色工艺晶圆制造产线、6/8英寸sic和gan等化合物制造产线以及mems传感器、射频滤波器、光通信器件等制造产线，发展先进工艺技术，解决制造工艺难题，扩大产能规模。３.集成电路封测。

来源：北极星储能网2023-07-31

聚焦现有12英寸特色工艺晶圆制造产线、6/8英寸sic和gan等化合物制造产线以及mems传感器、射频滤波器、光通信器件等制造产线，发展先进工艺技术，解决制造工艺难题，扩大产能规模。3.集成电路封测。

来源：辽宁省人民政府2023-07-31

瞄准机器人、集成电路、生物医药、先进医疗装备等重点领域发展方向，开展标准微小力值、大规模芯片测试机、微机电系统（mems）传感器、光纤传感器、介入高电压等关键量值传递溯源技术研究，加快绝对法振动测量装置

来源：昆山市人民政府2023-07-14

设计端，重点发展面向云计算和人工智能的高能效计算芯片和新型存储器芯片、微机电系统（mems）传感器芯片、新一代功率集成电路、5g芯片、汽车电子芯片、显示驱动芯片等特色应用芯片。

来源：北极星电池网2023-06-29

河源市高新区新一代信息技术创新中心（二）科技攻关项目（共19项）65 超宽带通信定位控制自研芯片66 先进封装核心材料（增层膜）研发及产业化项目67 铁电存储及系统芯片关键技术与产业化项目68 基于mems

来源：河北省工信厅2023-05-08

发展小型化、低功耗、集成化、高灵敏度的敏感元件，集成多维度信息采集能力的高端传感器，新型mems传感器和智能传感器，加快微型化、智能化的电声器件和图像传感器件研发。发光二极管。

来源：北极星储能网2023-05-08

发展小型化、低功耗、集成化、高灵敏度的敏感元件，集成多维度信息采集能力的高端传感器，新型mems传感器和智能传感器，加快微型化、智能化的电声器件和图像传感器件研发。发光二极管。

来源：北极星电池网2023-05-06

发展环境监测、智能终端、汽车等领域传感器,发展基于mems(微电机系统)工艺的新型红外、气体、压力、流量等智能传感器,提升智能仪器仪表的研发制造水平。二是发展智能芯片产业链。

来源：北极星电池网2023-05-06

围绕环境监测传感器、智能终端传感器和汽车传感器,重点发展基于mems工艺的智能传感器,加快mems研发中试平台建设,着力形成“研发设计-材料设备-芯片制造-系统应用-终端产品”的产业链条,推动智能传感器

来源：深圳市人民政府2023-05-05

重点开展图像视觉、柔性触觉、光纤、电离辐射、微力、微机电系统（mems）等智能化传感和精密测量技术研究，细胞（器）、生物分子（蛋白质及核酸等）传感与精准测量技术研究，微纳米、大尺寸、空间与位置等精密测量技术

来源：河南省工信厅2023-04-03

推动mems研发中试平台建设，构建智能传感器产业关键技术创新与转化平台，发展基于mems的新型智能传感器，提升产业链发展水平，建立健全智能传感器协同发展机制，加快“一谷多园”协调发展，高水平举办2023

来源：江西省公共资源交易网2023-03-31

江西省公共资源交易网发布华润微电子mems传感器产业园（二期）项目废气系统采购项目招标公告，项目预算1180万元。...一、项目基本情况项目编号：jxmd2023-q029项目名称：华润微电子mems传感器产业园（二期）项目废气系统采购项目预算金额：1180万元 交货期限：详见招标文件。

来源：潍坊市人民政府2023-03-30

加快整机与光学显示零组件、超高清显示模组等核心部件的研发和生产制造，发挥龙头企业的引领作用，在mems芯片、micro-led超高清显示芯片、终端设备等核心技术领域率先实现突破。

来源：深圳市工业和信息化局2023-03-24

2.申报主体需在我市深圳智能传感mems芯片中试验证开放平台等我市公共服务平台开展研发活动、已经形成产品并形成相关费用支出。（二）国家资助配套支持项目1.申报主体为实施主体。...《实施细则（征求意见稿）》指出，智能传感器产业专项扶持计划下设五个扶持方向：（一）一次性工程费补贴项目：对在深圳智能传感mems芯片中试验证开放平台等我市公共服务平台开展研发活动所产生的一次性工程费予以支持

来源：南方电网公司2023-03-21

、基于北斗的空间定位技术应用、新材料模型电力井盖等关键技术，（模块1-核心技术）研发融合无线rfid与微功耗mems传感技术；（模块2-核心技术）研究基于多功能mems传感器及无线数据汇聚节点中继装置技术