来源：东莞市人民政府2024-01-09

加快推进市级重大专项政策实施，出台支持前沿领域科技创新和技术攻关的专项行动方案，推进“芯、屏、核”等关键零部件的核心技术攻关，加强mems传感器技术研发，突破智能移动终端基础元器件、关键材料、先进工艺技术瓶颈

来源：山西省工业和信息化厅2023-12-14

鼓励发展小型化、低功耗、集成化、高灵敏度的敏感元件，集成多维度信息采集能力的高端传感器、新型mems传感器、智能传感器，突破微型化、智能化的电声器件和图像传感器件。先进计算及系统。

来源：重庆市政府2023-12-01

车规级芯片重点发展系统级芯片（soc）、现场可编程门阵列（fpga）等主机芯片，微控制单元（mcu）控制芯片、绝缘栅双极晶体管（igbt）、金属氧化物半导体场效应晶体管（mosfet）等功率类芯片和微机电系统（mems

来源：重庆市经济和信息化委员会2023-11-29

加快推进12英寸车规级高端特色工艺晶圆制造生产线、8英寸mems（微电子机械系统）传感器芯片、碳化硅晶圆制造生产线等项目建设，持续壮大晶圆制造产能。...加大微电机复合材料、高精密电阻合金带材等基础材料研发投入力度，填补工业控制、医疗器械等领域mems芯片产品空白。打造中西部地区领先的ai及机器人智创高地。

来源：重庆市经济和信息化委员会2023-11-29

填补关键芯片产品空白，聚焦工业控制、消费电子、医疗器械等市场需求，引进并购一批国内外知名mems芯片设计和制造的龙头企业，建立国际领先的mems芯片生产线和封装线，以idm模式打造mems芯片全产业链，

来源：国家电网报2023-11-27

海北供电公司从今年年初开始研发这一新型避雷器，通过开展防炸裂材料、内置微机电（mems）温度监测等关键技术研究，逐步完善了设备的性能和稳定性，填补了省内相关领域的技术空白。...同时，该避雷器上内置的mems温度监测和泄漏电流传感元件等装置，能及时监测雷击异常发生后的泄漏电流、雷击次数等数据，并自动统计上传至云端，再发送至运维人员手机，辅助运维人员掌握避雷器运行工况并及时采取应对措施

来源：南方电网公司2023-11-07

项目13：绝缘气体设备微型智能气压传感器及数字仪表关键技术研究研究mems气压温度集成传感器芯片设计技术；研究mems气压温度集成传感器制备封装技术；研究mems气压温度集成传感器测试校准技术；研究高精度

来源：SGB2023-11-07

中国是全球最大的半导体设备市场，随着需求不断上升而推动的高代工资本支出、工艺的开发、存储芯片的开发、环保生产驱动的光伏需求、led、mems、功率器件和先进封装的需求不断增长，未来10年，中国极有可能成为全球半导体芯片制造的中心

来源：电网头条2023-11-01

国网智研院 国网智研院认真贯彻落实公司第四季度工作会议精神，全力推进技术攻关，着力加强基础研究，高质量实施mems传感器“1025专项”任务攻关，深入推进可控换相换流阀（clcc）推广应用，积极支撑公司

来源：江西省工业和信息化厅2023-10-27

聚焦微机电系统（mems）、互补金属氧化物半导体（cmos）集成等工艺的新型智能传感器研发，逐步达到高精度、高可靠、低功耗、低成本的生产标准，前瞻性布局声学传感器、光学传感器、嗅觉传感器、触觉传感器等多模态感知传感器

来源：市场监管总局2023-10-13

积极推动智能传感器、微机电系统（mems）传感器等关键计量测试技术联合攻关，服务物联网、车联网、工业互联网建设。（十二）支撑碳达峰碳中和目标实现。强化长三角碳达峰碳中和计量体系的协调配合。

来源：北京国际风能大会暨展览会CWP2023-09-27

上海拜安传感技术有限公司展位号：w1-a20上海拜安传感技术有限公司自主研发的光纤微机电芯片（mems）传感器具有宽温、宽频、高精度、抗电磁干扰和长期精准测量等优点。

来源：湖北省人民政府2023-09-22

推进微机电系统（mems）公共技术服务平台、化合物半导体创新中心等服务平台建设，提升国家光电子信息产品质量监督检验中心、湖北省光电测试技术服务中心等平台服务功能。...聚焦新一代通信、高端装备、生物科技、智能科技等前沿领域，加强6g、量子通信、超高速光传输、化合物半导体、微机电系统（mems）、三维异质异构集成、忆阻器、量子点oled、激光跨尺度极端制造、三维多轴装备集成

来源：纳芯微2023-09-14

纳芯微涉足汽车应用的第一颗芯片是2016年发布的汽车压力传感器信号调理芯片，其广泛应用于空调压力、机油压力、刹车压力等领域，并于2018年实现了批量装车；2019年发布首款mems压力传感器。...例如，纳芯微的磁电流传感器可广泛应用于obc/dcdc，主驱电机等领域，提供高可靠性，高性能的电流采样；nspasx系列mems压力传感器可用于汽车座椅中的气囊气压检测，提高乘客的座椅舒适度，以及真空助力刹车系统中真空泵的真空度检测

来源：重庆市经信委2023-09-13

车规级芯片重点发展系统级芯片（soc）、现场可编程门阵列（fpga）等主机芯片、微控制单元（mcu）控制芯片、绝缘栅双极晶体管（igbt）、金属氧化物半导体场效应晶体管（mosfet）等功率类芯片、微机电系统（mems

来源：天津经济技术开发区管理委员会2023-08-22

园区聚焦智能装备产业，现有入驻企业32家，代表企业包括：拥有世界领先的高精度mems传感器公司华芯，专注飞控系统的一飞智控，并联机器人龙头企业辰星自动化，水下无人装备企业瀚海蓝帆、探海股份，自动化集成企业奥托美森

来源：河南省发改委2023-08-07

加快智能传感器mems（微机电系统）中试平台建设。

来源：深圳市工业和信息化局2023-08-01

聚焦现有12英寸特色工艺晶圆制造产线、6/8英寸sic和gan等化合物制造产线以及mems传感器、射频滤波器、光通信器件等制造产线，发展先进工艺技术，解决制造工艺难题，扩大产能规模。３.集成电路封测。

来源：北极星储能网2023-07-31

聚焦现有12英寸特色工艺晶圆制造产线、6/8英寸sic和gan等化合物制造产线以及mems传感器、射频滤波器、光通信器件等制造产线，发展先进工艺技术，解决制造工艺难题，扩大产能规模。3.集成电路封测。

来源：辽宁省人民政府2023-07-31

瞄准机器人、集成电路、生物医药、先进医疗装备等重点领域发展方向，开展标准微小力值、大规模芯片测试机、微机电系统（mems）传感器、光纤传感器、介入高电压等关键量值传递溯源技术研究，加快绝对法振动测量装置