来源：《中国电子报》2007-03-07

孙勇介绍说，100nm大角度离子注入机属于自主创新。...该设备的技术创新：首次实现国产8英寸离子注入机设备的制造；首次实现国产离子注入机进入大生产线测试和生产，并获得成功；实现了离子注入机全自动控制功能，并与大生产线管理系统进行连接；实现了单圆片传输与注入监控技术