来源：北极星储能网2019-02-01

、万万亿次高性能计算机、便携式微型计算机、大型模拟仿真系统、工业控制机及控制器制造276.量子、类脑等新机理计算机系统的研究与制造277.超大规模集成电路制造用刻蚀机、pvd、cvd、氧化炉、清洗机、扩散炉

来源：北极星电力网2019-02-01

、万万亿次高性能计算机、便携式微型计算机、大型模拟仿真系统、工业控制机及控制器制造276.量子、类脑等新机理计算机系统的研究与制造277.超大规模集成电路制造用刻蚀机、pvd、cvd、氧化炉、清洗机、扩散炉

来源：新材料在线2019-01-15

主营业务：pecvd;扩散炉;制绒;清洗;刻蚀;自动化等六大类光伏设备及mocvd。募资总额：105486.55万元。

来源：东吴证券2018-12-14

捷佳伟创：产品线广、协同性强的电池设备龙头除丝网印刷外，公司基本涵盖了电池片生产的主要设备，包括 pecvd设备(市占率 50%-60%)、扩散炉(市占率 50%)、制绒设备(市占率70%-80%)、刻蚀设备

来源：pvmagazine2018-11-12

1、实验本文所有的电池片生产工艺均在常规的晶体硅太阳电池生产线上进行：（1）在氢氧化钠、异丙醇、硅酸钠和制绒添加剂构成的碱性溶液中进行制绒，绒面金字塔大小在5μm以内；（2）扩散炉中高温磷扩散形成n型发射结

来源：光伏领跑者创新论坛2018-11-02

工业生产中，制备pn结的专用设备为管式扩散炉。管式扩散炉主要由石英舟、废气室、炉体和气柜等部分构成。工业生产一般使用三氯氧磷液态源作为扩散源。...把p型硅片放入扩散炉的石英容器内，使用小股的氮气携三氯氧磷进入石英容器，在高温和充足氧气的氛围下，三氯氧磷和硅发生反应，三氯氧磷分解得到磷单质，分解得到的磷原子从四周进入硅片，并向硅片的空隙扩散渗透，最终形成了

来源：中国能源报2018-08-22

目前，中国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、组件的生产，相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，到与光伏产业链相关的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、管式pecvd

来源：全景网2018-08-21

目前，捷佳伟创系国内领先的晶体硅太阳能电池生产设备制造商，主营pecvd设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、自动化配套设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要设备的研发、制造和销售，为太阳能光伏电池生产企业提供高转换效率大产能整体解决方案

来源：OFweek太阳能光伏网2018-08-14

公司系国内领先的晶体硅太阳能电池生产设备制造商，主营pecvd设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、自动化配套设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要设备的研发、制造和销售。

来源：摩尔光伏2018-05-28

实验使用tempress4管5恒温区扩散炉进行，实验1为将原扩散工艺的扩散时间缩短4min,实验2为将原扩散工艺的扩散温度降低12℃。

来源：北极星输配电网整理2018-02-24

组织攻关多晶切割机、连续拉晶炉、大产能低压扩散炉、背面钝化设备等主要光伏电池制造设备，提升生产线自动化、智能化水平。

来源：北极星风力发电网2018-02-22

组织攻关多晶切割机、连续拉晶炉、大产能低压扩散炉、背面钝化设备等主要光伏电池制造设备，提升生产线自动化、智能化水平。

来源：河北省发改委2018-02-22

组织攻关多晶切割机、连续拉晶炉、大产能低压扩散炉、背面钝化设备等主要光伏电池制造设备，提升生产线自动化、智能化水平。

来源：河北省可再生能源协会2018-02-13

组织攻关多晶切割机、连续拉晶炉、大产能低压扩散炉、背面钝化设备等主要光伏电池制造设备，提升生产线自动化、智能化水平。

来源：河北省人民政府2018-02-13

组织攻关多晶切割机、连续拉晶炉、大产能低压扩散炉、背面钝化设备等主要光伏电池制造设备，提升生产线自动化、智能化水平。

来源：国家发改委2017-12-25

目前，中国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、组件的生产，相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，到与光伏产业链相关的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、管式pecvd

来源：无锡德鑫太阳能电力有限公司2017-12-06

（二）德鑫电力公司为高新技术企业，原为尚德电力的p4工厂，企业管理层和核心员工较为稳定，生产能力900mw／年，主要设备配置为清洗机20台、扩散炉20台、刻饰机20台、管式pecvd机4台、丝网印刷机20

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-27

晶体硅太阳能电池片主要是用硅半导体材料作为基体制成较大面积的平面pn结，即在规格大约为15 cm15 cm的p型硅片上经扩散炉扩散磷原子，扩散出一层很薄的经过重掺杂的n型层。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-22

另外由于在扩散过程中氧的通入，硅片表面会形成一层二氧化硅，在扩散炉高温的作用下pocl3与o2形成的p2o5，部分p原子进入si取代部分晶格上的si原子形成n型半导体，部分则留在了sio2中形成psg（

来源：摩尔光伏2017-11-14

即c－tex清洗制绒去除硅片表面的机械损伤层，并在其表面进行凹凸面处理，增加光的折射次数;扩散采用进口ct扩散炉，以液态pocl3作为扩散p源，采用背靠背扩散方式，在硅片表面形成pn结，即在晶体内部实现