来源：广州市人民政府2022-06-06

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理超级集成硅栅半导体（bcd）工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。...工业控制、医疗器械等领域的新兴需求，重点布局敏感元器件、储能器件、光通信器件、量子器件等新型电子元器件，积极发展光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和微机电系统

来源：广州市人民政府2022-06-06

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理超级集成硅栅半导体（bcd）工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。...工业控制、医疗器械等领域的新兴需求，重点布局敏感元器件、储能器件、光通信器件、量子器件等新型电子元器件，积极发展光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和微机电系统

来源：广州市人民政府2022-06-02

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理超级集成硅栅半导体（bcd）工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。...工业控制、医疗器械等领域的新兴需求，重点布局敏感元器件、储能器件、光通信器件、量子器件等新型电子元器件，积极发展光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和微机电系统

来源：南宁市人民政府2022-05-26

发展重点：智能终端产品领域，重点发展覆盖手机、平板、tws耳机、可穿戴设备、智能音箱、vr/ar等主流智能终端设备；核心关键零部件领域，重点发展光学模组、声学器件、电磁传动、微机电系统（mems）、传感器

来源：南宁市人民政府2022-05-26

发展重点：智能终端产品领域，重点发展覆盖手机、平板、tws耳机、可穿戴设备、智能音箱、vr/ar等主流智能终端设备；核心关键零部件领域，重点发展光学模组、声学器件、电磁传动、微机电系统（mems）、传感器

来源：广州市人民政府2022-05-11

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理bcd工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。封装测试环节。...加快推进用于物理量、化学量、生物量中的半导体、陶瓷、高分子、超导、光纤、纳米等各种新型敏感、复合功能材料的创新研发和产业化，重点发展基于微机电系统（mems）工艺、薄膜工艺技术形成的敏感芯片，支持集成式

来源：重庆经信委2022-05-10

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市经济和信息化委员会2022-05-10

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市经信委2022-05-10

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市经信委2022-05-10

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市经济和信息化委员会2022-05-09

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：北极星电力网2022-05-09

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：北极星储能网2022-05-09

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市经济和信息化委员会2022-05-07

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：北极星环保网2022-05-07

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：深圳市发改委2022-04-26

（2）建设全链条孵化育成体系，完善概念验证中心建设与运营机制，布局一批以企业为主体的中小试转化基地，高标准推进国家第三代半导体技术创新中心建设，开工建设微机电系统（mems）中试、新型显示研发中试、5g

来源：北极星储能网2022-04-14

3.集成电路封装技术小外形封装（sop）、塑料方块平面封装（pqfp）、有引线塑封芯片载体（plcc）等高密度塑封技术；新型封装技术；电荷耦合元件(ccd)/微机电系统（mems）特种器件封装工艺技术等

来源：广东省人民政府2022-04-11

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理bcd工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。封装测试环节。...加快推进用于物理量、化学量、生物量中的半导体、陶瓷、高分子、超导、光纤、纳米等各种新型敏感、复合功能材料的创新研发和产业化，重点发展基于微机电系统（mems）工艺、薄膜工艺技术形成的敏感芯片，支持集成式

来源：北极星环保网2022-03-24

天文学创新中心项目9.承德木兰围场文化旅游产业园项目10.承德隆化中药材加工仓储物流及交易中心项目11.承德隆化风电光伏水电解制取绿氢项目12.承德高纯 oled 发光材料和光阻材料生产项目13.承德 mems（微机电系统

来源：重庆市人民政府2022-03-21

面向消费电子、数据中心、自动驾驶等领域，提高中高频射频前端芯片、激光雷达、毫米波雷达、驱动芯片、高性能滤波器、微机电系统等特色工艺芯片供给能力。积极发展化合物半导体。...化合物半导体、封装测试等方向，坚持区域集聚，以应用为牵引，以骨干企业为依托，以重大项目为抓手，持续扩大功率半导体领域优势地位，推进硅基光电子技术产业化，加快发展化合物半导体材料及芯片、模拟和数模混合芯片、微机电系统