来源：江苏省发改委2022-06-17

（mems）精密电子零部件扩产项目（微机电（mems）精密电子零部件专利布局与产业化项目）江苏长龄液压股份有限公司液压回转接头项目扩建项目苏州迈为科技股份有限公司年产40条异质结太阳能电池片设备整线项目纽威数控装备

来源：郑州市人民政府2022-06-13

积极引进国内外发达地区传感器材料和设备龙头企业，着力引进钌系加热电阻浆料、高纯度锡、聚四氟乙烯膜等关键材料企业，鼓励河南省智能传感器创新中心、河南省智能传感器产业研究院、郑州机械研究所等研发机构加快mems（微机电系统

来源：广州市人民政府2022-06-06

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理超级集成硅栅半导体（bcd）工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。...工业控制、医疗器械等领域的新兴需求，重点布局敏感元器件、储能器件、光通信器件、量子器件等新型电子元器件，积极发展光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和微机电系统

来源：广州市人民政府2022-06-06

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理超级集成硅栅半导体（bcd）工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。...工业控制、医疗器械等领域的新兴需求，重点布局敏感元器件、储能器件、光通信器件、量子器件等新型电子元器件，积极发展光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和微机电系统

来源：广州市人民政府2022-06-02

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理超级集成硅栅半导体（bcd）工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。...工业控制、医疗器械等领域的新兴需求，重点布局敏感元器件、储能器件、光通信器件、量子器件等新型电子元器件，积极发展光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和微机电系统

来源：南宁市人民政府2022-05-26

发展重点：智能终端产品领域，重点发展覆盖手机、平板、tws耳机、可穿戴设备、智能音箱、vr/ar等主流智能终端设备；核心关键零部件领域，重点发展光学模组、声学器件、电磁传动、微机电系统（mems）、传感器

来源：南宁市人民政府2022-05-26

发展重点：智能终端产品领域，重点发展覆盖手机、平板、tws耳机、可穿戴设备、智能音箱、vr/ar等主流智能终端设备；核心关键零部件领域，重点发展光学模组、声学器件、电磁传动、微机电系统（mems）、传感器

来源：广州市人民政府2022-05-11

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理bcd工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。封装测试环节。...加快推进用于物理量、化学量、生物量中的半导体、陶瓷、高分子、超导、光纤、纳米等各种新型敏感、复合功能材料的创新研发和产业化，重点发展基于微机电系统（mems）工艺、薄膜工艺技术形成的敏感芯片，支持集成式

来源：重庆经信委2022-05-10

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市经济和信息化委员会2022-05-10

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市经信委2022-05-10

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市经信委2022-05-10

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市经济和信息化委员会2022-05-09

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：北极星电力网2022-05-09

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：北极星储能网2022-05-09

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市经济和信息化委员会2022-05-07

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：北极星环保网2022-05-07

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：深圳市发改委2022-04-26

（2）建设全链条孵化育成体系，完善概念验证中心建设与运营机制，布局一批以企业为主体的中小试转化基地，高标准推进国家第三代半导体技术创新中心建设，开工建设微机电系统（mems）中试、新型显示研发中试、5g

来源：北极星储能网2022-04-14

3.集成电路封装技术小外形封装（sop）、塑料方块平面封装（pqfp）、有引线塑封芯片载体（plcc）等高密度塑封技术；新型封装技术；电荷耦合元件(ccd)/微机电系统（mems）特种器件封装工艺技术等

来源：广东省人民政府2022-04-11

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理bcd工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。封装测试环节。...加快推进用于物理量、化学量、生物量中的半导体、陶瓷、高分子、超导、光纤、纳米等各种新型敏感、复合功能材料的创新研发和产业化，重点发展基于微机电系统（mems）工艺、薄膜工艺技术形成的敏感芯片，支持集成式