来源：储能科学与技术2022-10-11

zheng等发现对li1.2ni0.15co0.10mn0.55o2进行alf3包覆能够降低高电压下电解液的氧化，抑制颗粒表面sei层的积累，提高表面结构的稳定性以及减少电解液中酸性组分对材料表面的刻蚀和形成刻蚀孔

来源：无锡国家高新技术产业开发区2022-09-29

依托现有基础和优势，有重点、有选择地引进清洗设备、刻蚀设备、封装及检测设备，加快产业化进程，突破关键专用设备和材料，增强产业配套能力。

来源：广东省工信厅2022-09-08

重点支持大面积透明导电氧化物（tco）导电玻璃镀膜设备、多靶位磁控溅射系统、多线切割机、自动分选机等硅片生产设备；多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、全自动大面积等离子增强化学气相沉积装备（pecvd）、干法刻蚀机

来源：广东省工业和信息化厅2022-09-05

重点支持大面积透明导电氧化物（tco）导电玻璃镀膜设备、多靶位磁控溅射系统、多线切割机、自动分选机等硅片生产设备；多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、全自动大面积等离子增强化学气相沉积装备（pecvd）、干法刻蚀机

来源：江苏省人民政府2022-08-26

开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。（三）服务大众健康与安全。

来源：人民日报2022-08-17

走进国家电投黄河公司西宁分公司ibc电池（叉指状背接触太阳电池）车间，一片片边长166毫米、厚度150微米的灰色硅片，经过制绒、刻蚀、镀膜等工序后，成为深蓝色的电池片。

来源：江苏省人民政府2022-07-29

开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。...开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。（三）服务大众健康与安全。

来源：高工储能2022-07-21

另外钒电池石墨极板要被正极液刻蚀，如果用户操作不当，一次充电就能让石墨板完全刻蚀导致电堆报废。成本方面，钒电池目前的初装成本大概是锂离子电池的2倍以上，项目总投资成本集中在3.8-6.0元/wh左右。

来源：重庆市招商局2022-06-10

设备环节，重点引进刻蚀设备、薄膜沉积设备、清洗设备、量测设备等关键前道设备生产项目。...amoled（有源矩阵有机发光二极管）领域，重点引进8.5代等更高世代线oled面板企业，积极引进玻璃基板、pi柔性基板、有机发光材料、掩膜版、显影刻蚀液等关键材料配套企业。

来源：重庆市招商局2022-06-10

设备环节，重点引进刻蚀设备、薄膜沉积设备、清洗设备、量测设备等关键前道设备生产项目。...amoled（有源矩阵有机发光二极管）领域，重点引进8.5代等更高世代线oled面板企业，积极引进玻璃基板、pi柔性基板、有机发光材料、掩膜版、显影刻蚀液等关键材料配套企业。

来源：英格索兰2022-06-06

：对太阳能电池周边的掺杂硅进行刻蚀，以避免pn结正面所收集到的光生电子沿着边缘扩散有磷的区域流到pn结的背面，而造成短路。...可防止杂质污染，防止和其他气体的反应，提高拉晶纯度设备：单晶炉生长条件：必须在真空条件或保护气氛下才能避免氧化组成：总体由炉体、电气部分、热系统、水冷系统、真空 系统和氩气供给装置六部分组成太阳能电池生产 – 刻蚀工艺

来源：南宁市人民政府2022-05-26

发展重点：重点发展为集成电路、平板显示、新能源电池等领域配套的高纯化学试剂、电子特种气体、先进封装材料、锂电池负极材料、光致刻蚀剂、电镀化学品等电子化学品。

来源：南宁市人民政府2022-05-26

发展重点：重点发展为集成电路、平板显示、新能源电池等领域配套的高纯化学试剂、电子特种气体、先进封装材料、锂电池负极材料、光致刻蚀剂、电镀化学品等电子化学品。

来源：滁州市人民政府2022-05-17

大力发展193nm光致蚀刻剂、电子束光致刻蚀剂等满足大尺寸（≥8英寸）集成电路生产线和平板显示行业配套用髙精度刻蚀产品。印刷电路板加工处理用干膜抗蚀剂、液态感光成像阻焊剂等。

来源：工业水处理2022-04-22

1 水质及水量1.1设计水量及水质泰兴某光电建设规模为年产2.1 gw n型单晶双面太阳能电池，废水主要来自生产工序硅片制绒及清洗、扩散制结、湿法刻蚀、离子注入、退火、pecvd制氧化铝和氮化硅膜、丝网印刷

来源：正泰新能源2022-03-14

正泰新能源此次获奖的“super perc 2.0电池”项目，在开发过程中积累了大量实验经验，获得发明专利《一种perc双面电池和光伏组件》1项，实用新型专利《太阳能电池刻蚀装置和制备系统》《一种晶硅电池

来源：北极星环保网2022-02-28

推广基于增材制造的废旧机床关键零件质量控制及性能预测评估技术，积极研发大功率工业级金属3d打印机，支持发展铁基合金镀铁再制造技术和无刻蚀镀铁技术。

来源：北极星环保网2022-02-16

攻坚壮大光学聚酯薄膜、显影液、蚀刻液、靶材、掩膜版、超宽幅偏光片、驱动ic、显示模组、刻蚀机、蒸镀机等关键配套环节，完善产业链上游体系建设。

来源：ABB中国2022-02-09

中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”）致力为全球集成电路和led芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案，其开发的电容耦合等离子体（ccp）刻蚀设备、电感耦合等离子体（icp）刻蚀设备

来源：北极星储能网2022-01-24

重点支持研发生产全自动大面积pecvd（等离子增强化学气相沉积）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机、高温烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备；大面积tco（透明导电氧化物