来源：PV-Tech2014-11-24

现阶段，solaytec的ald氧化铝比竞争技术，如pecvdalox少消耗4-5。

来源：世纪新能源网2014-11-24

他也说中国的装备制造其实也已经走到了世界前列，不知不觉，因为中国体量最大，吨位决定地位，就是60%制造业都在中国，这个装备不可能自己没有进步，也是现在过来了，过去我们只有层压机、模拟仪、扩散炉，现在pecvd

来源：新浪博客2014-11-21

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（pecvd）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和pecvd等薄膜太阳能电池生产设备。

来源：PV-Tech2014-11-18

梅耶博格与ethlausanne合作开发一种低温(200c)pecvd工艺，为了沉积硅片双面所需的非晶硅层，降低能源成本，使薄膜硅片得以加工，并且在正面接触使用相当少的银。

来源：金融界2014-11-14

4)新能源led业务方面，公司投资7.5亿元新增的60台mocvd将逐步到位，产能将再上一个新台阶。

来源：i投资2014-11-14

(二)气相沉积法化学气相沉积(cvd)是一种能够规模化沉积半导体薄膜的制备技术，目前在工业上应用最为广泛。

来源：北极星电力网2014-11-07

)套产能2000-片/时(硅片尺寸156156mm)17.1.2 全自动印刷烘干烧结系统套产能3800片/时;碎片率0.1%17.1.3 物理气相沉积装备(mocvd) 套单腔产能66片(2英寸片)17.1.4...氧化铟锡(ito)溅射装备套均值15.59/sq(薄膜厚度120nm)17.1.5 化学气相沉积(cvd)硅外延装备套6-8英寸晶圆;适用于不同规格衬底上n 型、p 型硅材料的外延生长17.1.6 介质刻蚀机套满足

来源：北极星环保网2014-11-06

高效换热与相变储能装置、家电节能自动控制、低待机能耗技术、温湿度独立调节系统、动态冰蓄冷、发光二极管(led)用大尺寸开盒即用蓝宝石、高纯金属有机化合物(mo源)、生产型金属有机源化学气相沉积设备(mocvd

来源：pv-tech2014-11-05

最初，其考虑使用schsilicontechnology的甲硅烷化学气相沉积(cvd)，之后其转变为sitec(centrothermgroup)的三氯氢硅cvd概念(西门子法)。

来源：OFweek 工控网2014-10-31

目前的产品主要有：磁控溅射镀膜设备、离子束溅射镀膜设备、化学气相淀积设备(pecvd)、干法刻蚀设备(rie，icp，ibe)、匀胶机、烘胶机、去胶机、非标真空设备等。

来源：OFweek 锂电网2014-10-28

三星已运用cvd法成功获得对角长度为30英寸的单层石墨烯。不过，目前cvd法制备出的石墨烯厚度难以控制，良品率无法保证。...当前石墨烯制备有四种主流方法：微机械剥离法、外延生长法、化学气相沉淀cvd法和氧化石墨还原法。其中cvd法被认为是产业化生产石墨烯薄膜最具潜力的方法。

来源：21世纪宏观研究院分析师2014-10-22

三星已运用cvd法成功获得对角长度为30英寸的单层石墨烯。不过，目前cvd法制备出的石墨烯厚度难以控制，良品率无法保证。...当前石墨烯制备有四种主流方法：微机械剥离法、外延生长法、化学气相沉淀cvd法和氧化石墨还原法。其中cvd法被认为是产业化生产石墨烯薄膜最具潜力的方法。

来源：新世纪LED网2014-10-09

复旦大学长期从事光器件研究的陈良尧教授说：中村修二当年在公司里研究蓝光二极管，自己亲手改造mocvd长膜，对长膜机理了解很深入;别人做出来的gan薄膜质量很差，很多人都放弃了，他做出来的就好，最后一点点地获得成功

来源：Solarzoom2014-09-30

晶体硅太阳能电池背钝化的方法钝化是制造太阳能电池的一个重要工艺，目前商业化的太阳能电池的前表面钝化都采用pecvd沉积si3n4膜钝化或热氧化生长sio2+pecvd沉积si3n4膜，且效果良好，不需要太多的改进

来源：OFweek 光通讯网2014-09-28

、pecvd、rie、镀膜机、自动贴片机及可靠性试验等国际一流的关键光电子研发、生产设备，确保了产品质量。...光接入网用光器件、模块、子系统，包括10gb/s及以下速率接入网用pon系列光器件模块，掌握了光电子器件核心技术，其中波长可调谐激光器项目获得了2013年国家高技术研究发展计划(863计划)立项;公司拥有mocvd

来源：和讯网2014-09-22

我们做了很多创新，我们抓住了里面的龙头就是高端装备国产化，我们有mocvd、lpcvd、pecvd，我们有很多创新做法，目前在全球领域被工人的是第一代的晶硅，单晶和多晶，再加上第一代的多膜技术，这个技术的装备就是右上角我今天给大家汇报的

来源：和讯股票2014-09-03

化学沉积气相法(cvd)提供了一种可控制的石墨烯方法。...二维碳素的核心技术是采用cvd工艺在铜基底上生长石墨烯薄膜的工艺。

来源：华夏时报2014-09-01

江苏中晟已卖出6台ledmocvd设备，而且尚未在半年报中确认收入。沈洁透露道，最近江苏中晟全资子公司上海中晟已经改制为股份公司，它可能有在新三板上市的想法。

来源：北极星电力网2014-08-27

同时它相对于传统电容式分压器 cvd 而言，重量轻、尺寸小，便于集成商和供电公司大幅节省所运营的变电站的空间。这种新一代高压电容分压器是 maxwell 与其精选的客户共同开发的成果。

来源：北极星电力网2014-08-25

1.1.6 高效照明产品及系统发光二极管(led)用大尺寸开盒即用蓝宝石、碳化硅等衬底、高纯金属有机化合物(mo 源)、高纯氨气、新型高效荧光粉等开发及制造技术，生产型金属有机源化学气相沉积设备(mocvd