来源：cnbeta网站2016-01-04

化学气相沉积（ｃｖｄ）法ｃｖｄ法是以铜和镍等金属材料作为衬底来生长具有原子级厚度的石墨烯材料。...这种方法获得的石墨烯材料的面积大、导电性高、透光性好和成本低，而且ｃｖｄ法制作石墨烯器件的工艺与硅工艺非常兼容，是纳米半导体器件的主要发展方向。

来源：烯碳资讯2015-12-31

新工艺是一种改进的cvd法，已经在麻省理工学院(以及其他地方)使用来制造石墨烯。新系统使用一个类似的化学气相，但腔室由两个同心管组成，基质是薄铜。

来源：第一电动网2015-12-28

需要采用sio2模板，cvd(化学气相沉积)工艺及设备，氢氟酸以及硝酸。在实验室里这些材料、工艺就成本不低，氢氟酸以及硝酸还有危险性。

来源：第一电动网2015-12-28

本文想就这些问题，介绍一下这方面技术的进展：一、成本问题用sio2模板，然后采用cvd工艺用ch4做碳氮源，长出石墨烯材料，再用氢氟酸腐蚀掉模板，得到三维石墨烯块材料的工艺，确实其成本太高工业化生产难以接受

来源：雷锋网2015-12-24

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积(pvd/cvd)制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems(微机电系统)领域中。...问题之二：成本依然偏高，制备工艺复杂，技术不够成熟目前的全固态锂电池的电解质主要有有机和无机两大体系，成本总体偏高，尤其是无机体系的电池很多采用cvd/pvd等复杂的工艺制备，生产(沉积薄膜)速度慢，成本昂贵

来源：晓峰视点2015-12-24

问题还是：溶胶凝胶对于工业也不是什么便宜货，然后还是用cvd.....反正你成本上就是没竞争力。...(1)成本文章中使用的制备工艺1是典型的模板法：用sio2模板，然后cvd用ch4和nh3做碳氮源，长出材料，再用氢氟酸腐蚀掉模板，得到材料，不仅如此，之后还要用浓硝酸处理，提高氮含量。

来源：中国能源报2015-12-23

正泰光伏组件的转换效率与功率、质量与可靠性等均属业内领先;自主研发的高端装备首台套pecvd、lpcvd，受到党和国家领导人的高度肯定;led核心装备mocvd以领先国际的先进技术水平，打破了欧美企业的垄断

来源：爱卡汽车2015-12-23

这一合作的成果就是以天然气为原料，利用化学气相沉积法(cvd)制造石墨烯，这是一种真正环保的低成本、单层石墨烯大规模量产工艺及技术。...溶剂剥离法和化学气相沉积法(cvd)比较复杂，其原理太过专业(我才不会承认是我没看明白)，这里就不跟大家细说了。这两种方法的共同的缺点是成本较高。

来源：能源情报2015-12-23

以多孔mgo为模板，fan等利用cvd的方法合成出多孔石墨烯。...fan等利用cvd法将石墨烯和碳纳米管成功合成了dimitmkakis等所模拟的三维结构并用于超级电容器中。

来源：烯碳资讯2015-12-11

橡树岭国家实验室将这种普通的物质，通过cvd法，巧妙的调整了结构，在原子水平上创建了特别光滑的白石墨烯。...重要的是,白石墨烯的制备是使用标准大气压cvd方法，stehle和她的同事们认为，这将使得白石墨烯的规模化生产可以控制在一个很合理的成本上。

来源：北极星太阳能光伏网（独家)2015-12-03

如果将硅薄膜电池产线的核心设备pecvd换成cigs薄膜沉积系统，补齐其他工艺设备，若量产化技术达到硅薄膜电池产业化成熟度，其组件成本将会大大低于晶硅电池，如果销售价格与与晶硅电池相同，其产线的利润将会十分丰厚

来源：化工7072015-12-02

在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产plasma的cvd制程。...在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产plasma的cvd制程。

来源：中文业界资讯站2015-11-26

通过使用化学气相沉积(cvd)的方法，铂，镍或钛的碳化物在高温环境中暴露在乙烯或苯当中，来产生单层(一层一个原子厚)石墨烯。

来源：人民邮电报2015-11-26

作为我国光纤光缆市场的领军企业，长飞公司坚持走多工艺路线，目前其已掌握了三种预制棒制备工艺，特别是用pcvd工艺做出的预制棒，已能生产出世界同工艺下最大尺寸预制棒，足以对外进行技术输出。

来源：中国科技网2015-11-25

石墨烯的制备通常要经过化学气相沉积(cvd)过程，在特殊表面膜的衬底上生成气体反应物。研究团队利用锂离子电池负极上常用的商业化铜箔生成高质量石墨烯，超光滑的铜箔表面为石墨烯的生成提供了优秀的反应床。

来源：电池中国网2015-11-25

加快高效电池用平板式pecvd、离子注入机、刻蚀机、原子层沉积镀膜设备(ald)等关键工艺设备研发。

来源：北极星太阳能光伏网2015-11-24

加快高效电池用平板式pecvd、离子注入机、刻蚀机、原子层沉积镀膜设备（ald）等关键工艺设备研发领域均有入围。

来源：中国科学报2015-11-23

当前，国际上制备石墨烯薄膜多采用昂贵的cvd(化学气相沉积)方法，牛利团队发现，这种方法很难控制薄膜的厚度，特别是难以进行复杂的图案化设计。

来源：能见派2015-11-12

就在国内很多媒体炒作石墨烯电池概念之际，三星、ibm等国际企业已经在石墨烯cvd制备、大面积薄膜生产，以及半导体方面完成了专利布局，积累了雄厚的技术经验，在下一代半导体技术革新，以及发展柔性电子器件方向上走在了中国的前面

来源：无锡先导自动化设备股份有限公司2015-11-09

现场展出的太阳能电池片高速串焊机、管式pecvd自动上下料机凭借领先的性能优势、可靠的技术稳定性，吸引了国内外客户的关注。