来源：正泰集团2016-03-07

发言中，南存辉谈及正泰成功研发我国首台薄膜太阳能电池关键高端生产设备（pecvd），打破西方长期垄断；自主开发基于云计算技术、超过1000万点、技术先进的新型轨道交通综合监控云平台；与西班牙grabat

来源：乐清日报2016-03-05

正泰还成功研发了我国首台薄膜太阳能电池关键高端生产设备（pecvd），打破了西方长期垄断；自主开发了基于云计算技术、超过1000万点、技术先进的新型轨道交通综合监控云平台。

来源：福禄克2016-03-04

以mcvd（改良化学气相沉积法）法工艺为例，该生产过程是向高质量的石英管中通反应原料（以氧气为基体带入），石英管外部用氢氧焰加热，这个加热的火焰是沿着石英管往复移动加热的，同时石英管也自身旋转让加热更均匀

来源：碳纪元2016-03-02

笔者：据了解，目前国内大多数的企业采取氧化还原法生产石墨烯，因为cvd法(化学气相沉淀cvd法)制作成本太高，你认为未来哪条技术路线是主流?以下游应用带动整个行业演进，可以分为几个阶段?...虽然cvd法是目前最有可能实现工业化制备高质量、大面积石墨烯的方法，但现阶段成本较高，工艺条件还需进一步完善，因此cvd法目前在国内企业并未普及。另外，高校实验室做实验可能会使用氧化还原法。

来源：国际理财汇2016-02-18

石墨烯产业化过程不是一蹴而就，而是润物细无声般逐步进行的六碳科技cto许子寒深圳六碳科技有限公司一直以来专注于石墨烯薄膜材料的工艺研发和设备研制，尤其是化学气相沉积法(cvd)的工艺研发和设备开发。

来源：电脑报2016-01-27

虽然cvd能满足规模化制备大面积、高质量的石墨烯要求，但问题是，由于其成本较高和工艺复杂等缺点，限制了这种方法在石墨烯制备中的应用。...化学气相沉积法(cvd)应运而生，这种方法是将乙烯或乙炔等气体导入到一个反应腔内，让这些气体在高温下分解，经过冷却后，碳原子就沉积在基底表面形成石墨烯。

来源：OFweek节能环保网2016-01-25

通过改变mocvd外延生长条件，可以改变alingan中al组分、in组分和ga组分的配比，以此来调节led的发光波长。...2、uv-led技术的提出发光二极管(led)一般是先在蓝宝石(al2o3)衬底上利用金属有机物化学气相沉积(mocvd)设备外延生长氮化镓(gan)材料，然后在gan材料上外延生长铝铟镓氮(alingan

来源：新奥研读2016-01-22

石墨烯市场的主要参与者包括，cvd设备公司(美国)，石墨烯nanochem plc的竞争策略。

来源：中国化工报2016-01-14

他分析，前几年在制备方法上做了很多研究，现在氧化还原方法已经比较成熟，cvd制备石墨烯膜也达到一定的规模。...沈万慈还介绍，目前石墨烯的制备方法基本有两类：一类是以氧化还原技术为代表的剥离方法;另一种是气相化学合成，也就是cvd方法。这两类产品不一样，用途也不一样。

来源：烯碳资讯2016-01-13

但是，也有报道称，hfcvd和hwcvd制备的石墨烯有高密度的缺陷。在hfcvd系统基础上改进后，又发展有热丝热化学气相沉积(hftcvd)法。

来源：烯碳资讯2016-01-12

另外一类是通过化学气相沉积(cvd)的方法在衬底上生长大面积的单层石墨烯。大家对这个生物质石墨烯的最大疑问，第一，此生物质石墨烯与其他方法制备的石墨烯的质量有误差异?

来源：北极星输配电网整理2016-01-08

南存辉称，2014年，国内有地方给予每台进口mocvd设备补贴500万元，补贴价格超过了设备售价的70%。...据其称，该公司自主研发的mocvd设备单腔产能比国外进口设备高30%-67%，综合生产成本却低20-30%。

来源：雷锋网2016-01-08

化学气相沉积 (cvd)：这是最常规的材料沉积方法，将衬底材料置于真空反应舱内，在高温下导入的反应前驱体气体在衬底表面分解或反应，沉积出二维材料。

来源：cnbeta网站2016-01-04

化学气相沉积（ｃｖｄ）法ｃｖｄ法是以铜和镍等金属材料作为衬底来生长具有原子级厚度的石墨烯材料。...这种方法获得的石墨烯材料的面积大、导电性高、透光性好和成本低，而且ｃｖｄ法制作石墨烯器件的工艺与硅工艺非常兼容，是纳米半导体器件的主要发展方向。

来源：烯碳资讯2015-12-31

新工艺是一种改进的cvd法，已经在麻省理工学院(以及其他地方)使用来制造石墨烯。新系统使用一个类似的化学气相，但腔室由两个同心管组成，基质是薄铜。

来源：第一电动网2015-12-28

需要采用sio2模板，cvd(化学气相沉积)工艺及设备，氢氟酸以及硝酸。在实验室里这些材料、工艺就成本不低，氢氟酸以及硝酸还有危险性。

来源：第一电动网2015-12-28

本文想就这些问题，介绍一下这方面技术的进展：一、成本问题用sio2模板，然后采用cvd工艺用ch4做碳氮源，长出石墨烯材料，再用氢氟酸腐蚀掉模板，得到三维石墨烯块材料的工艺，确实其成本太高工业化生产难以接受

来源：雷锋网2015-12-24

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积(pvd/cvd)制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems(微机电系统)领域中。...问题之二：成本依然偏高，制备工艺复杂，技术不够成熟目前的全固态锂电池的电解质主要有有机和无机两大体系，成本总体偏高，尤其是无机体系的电池很多采用cvd/pvd等复杂的工艺制备，生产(沉积薄膜)速度慢，成本昂贵

来源：晓峰视点2015-12-24

问题还是：溶胶凝胶对于工业也不是什么便宜货，然后还是用cvd.....反正你成本上就是没竞争力。...(1)成本文章中使用的制备工艺1是典型的模板法：用sio2模板，然后cvd用ch4和nh3做碳氮源，长出材料，再用氢氟酸腐蚀掉模板，得到材料，不仅如此，之后还要用浓硝酸处理，提高氮含量。

来源：中国能源报2015-12-23

正泰光伏组件的转换效率与功率、质量与可靠性等均属业内领先;自主研发的高端装备首台套pecvd、lpcvd，受到党和国家领导人的高度肯定;led核心装备mocvd以领先国际的先进技术水平，打破了欧美企业的垄断