来源：传动网2011-05-24

mems的发展，把传感器的微型化、智能化、多功能化和可靠性水平提高到了新的高度。...微型化是建立在微电子机械系统(mems)技术基础上的，目前已成功应用在硅器件上形成硅压力传感器(如上述ejx变送器)。

来源：EEWORLD2011-04-20

ps63020：高效率单电感器、升降压转换器，支持4a开关ti lmv339：四路通用低电压比较器bosch sensortec bma150：数字三轴重力感应芯片invensense mpu-3050：三轴mems

来源：益登科技2011-04-12

wispry利用公司在rf-mems技术上的核心专长，打造了革命性的rf-mems系统单芯片，目前产品已出货给多家一线手机制造商。...益登科技董事长曾禹旖表示：“wispry卓越的rf cmos mems技术能有效解决关键的前端性能问题，符合现今移动网络的广大需求。

来源：中国数控信息网2011-04-01

其次充分把握战备性新兴产业的机遇，重点提升以无线自主网络技术、mems等新兴传感器的研发和应用。以物联网为例，物联网已经成为战略性新兴产业，2015年市场规模将达到7500亿元。

来源：中国电子报2011-02-17

设备研发要与工艺紧密结合 “十二五”我国应重点发展具有电子信息技术制高点的极大规模集成电路制造关键设备(包括芯片制造设备和封装设备)，积极发展太阳能光伏装备、led制造设备和lcd制造设备，有选择地发展与物联网紧密相关的mems

来源：中国化工仪器网2010-12-28

flashdsc的心脏是基于mems(micro-electro-mechanicalsystems微机电系统)技术的芯片传感器，可以实现超快速的升温和降温实验。

来源：电子元件技术网2010-11-29

对于敏感元器件和传感器的发展，温学礼表示，目前，我国开发新一代的高、精、尖传感器已具备条件，如光纤、红外、超声波、生物、智能及模糊控制传感器，采用mems技术制作的微传感器等。

来源：易展仪表展览网2010-11-24

其次充分把握战备性新兴产业的机遇，重点提升以无线自主网络技术、mems等新兴传感器的研发和应用。以物联网为例，物联网已经成为战略性新兴产业，2015年市场规模将达到7500亿元。

来源：中华工控网2010-11-09

其次充分把握战备性新兴产业的机遇，重点提升以无线自主网络技术、mems等新兴传感器的研发和应用。以物联网为例，物联网已经成为战略性新兴产业，2015年市场规模将达到7500亿元。

来源：大唐电信2010-11-05

·数据传感器 采用最新mems传感器技术，可采集温度、压力、流量等参数，并内置无线宽带射频模块。无线宽带射频模块与电力传感器集成，只要有无限宽带网络信号，即可实时上传数据。...感知层大量运用大唐电信的rfid芯片、mems传感器技术；汇聚层利用可高速传输数据的mcwill无线宽带接入系统；应用层更是广泛采用大唐电信自主开发的软件，例如人员定位及巡更系统、集中监控系统、电力管理系统

来源：电子产品世界2010-10-28

到2020年，传感器及仪表元件领域应争取实现三大战略目标： ---以mems工艺为基础，以集成化、智能化和网络化技术为依托，加强制造工艺和新型传感器和仪表元器件的开发，使主导产品达到和接近国外同类产品的先进水平...传感器技术 (1)mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀(drie)工艺或igp工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型传感器：如用微硅电容传感器

来源：中国传动网2010-10-14

2020年，传感器及仪表元件领域应争取实现三大战略目标： 以工业控制、汽车、通讯、环保为重点服务领域，以传感器、弹性元件、光学元件、专用电路为重点对象，发展具有自主知识产权的原创性技术和产品; 以mems...发展重点 传感器技术 (1)mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀(drie)工艺或igp工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型传感器：如用微硅电容传感器

来源：中华工控网2010-09-26

mems的发展，把传感器的微型化、智能化、多功能化和可靠性水平提高到了新的高度。...微型化是建立在微电子机械系统(mems)技术基础上的，目前已成功应用在硅器件上形成硅压力传感器(如上述ejx变送器)。

来源：中国仪器仪表学会2010-09-03

野战气象仪长春气象仪器研究所 25dal1528/dal1528r数字水准仪北京博飞仪器股份有限公司 26xyg-1502/3型数字流程x射线检测系统丹东奥龙射线仪器有限公司 27基于mems

2010-07-13

据相关数据统计显示，半导体传感器市场份额会继续增加，估计2008年达到43%，而以mems为基础的智能化传感器和具有总线能力的传感器将会成为市场的主流。...此外，像mems（micro-electro-mechanical systems，微机电系统）等新技术的广泛应用，在提高产品性能的同时，也会带动传感器产品价格的下降。

来源：中国传动网2010-06-17

mems解决方案支持绝对压力测试及相对压力测试和泄漏测试。　　　　...multitest的mems解决方案在标准测试分选机上配备了一个压力测试腔体，并与压力发生器结合在一起使用。

来源：国际新能源网2010-06-12

这种太阳能电池采用晶体硅制成，在制造中加入了当今电子器件厂广泛使用的微机电系统（mems）。　　　　在同等条件下能产生同样多的电能，新型电池所需硅只有普通太阳能电池的1%。

来源：仪器仪表行业协会2009-10-12

mems产品在国外发达国家已产业化，年增长率高达10%-20%，预计2001年mems产品将形成高于80亿美元的潜在市场。...应用mems技术的微型仪器仪表被称为芯片上的仪器仪表，mems产品包括汽车加速计，压力、化学、流量传器、微光谱仪等产品，广泛应用于环境科学、航天、生物医疗、汽车工业、军事、工业控制等领域。 　　

来源：电子产品世界2009-09-28

从按产品分类划分的市场来看，相比pcb、存储器、稳压器等产品的低迷不振，mems、mlcc、钽电容、连接器以及各种数据接口等产品市场则十分稳定。

来源：中国电子元件行业协会2009-09-28

他介绍说，经过12年的发展，公司基于mems技术的压力传感器和陀螺加速度微系统组合的主打产品，现在出口到45个国家和地区。 　　...一批基于mems(微机电系统)技术的新型传感器正在进入市场。传感器设计技术、材料控制技术、生产技术、可靠性技术和测试技术不断发展成熟，量产能力逐步提高。