来源：中华工控网2010-09-26

mems的发展，把传感器的微型化、智能化、多功能化和可靠性水平提高到了新的高度。...微型化是建立在微电子机械系统(mems)技术基础上的，目前已成功应用在硅器件上形成硅压力传感器(如上述ejx变送器)。

来源：中国仪器仪表学会2010-09-03

野战气象仪长春气象仪器研究所 25dal1528/dal1528r数字水准仪北京博飞仪器股份有限公司 26xyg-1502/3型数字流程x射线检测系统丹东奥龙射线仪器有限公司 27基于mems

2010-07-13

据相关数据统计显示，半导体传感器市场份额会继续增加，估计2008年达到43%，而以mems为基础的智能化传感器和具有总线能力的传感器将会成为市场的主流。...此外，像mems（micro-electro-mechanical systems，微机电系统）等新技术的广泛应用，在提高产品性能的同时，也会带动传感器产品价格的下降。

来源：中国传动网2010-06-17

mems解决方案支持绝对压力测试及相对压力测试和泄漏测试。　　　　...multitest的mems解决方案在标准测试分选机上配备了一个压力测试腔体，并与压力发生器结合在一起使用。

来源：国际新能源网2010-06-12

这种太阳能电池采用晶体硅制成，在制造中加入了当今电子器件厂广泛使用的微机电系统（mems）。　　　　在同等条件下能产生同样多的电能，新型电池所需硅只有普通太阳能电池的1%。

来源：仪器仪表行业协会2009-10-12

mems产品在国外发达国家已产业化，年增长率高达10%-20%，预计2001年mems产品将形成高于80亿美元的潜在市场。...应用mems技术的微型仪器仪表被称为芯片上的仪器仪表，mems产品包括汽车加速计，压力、化学、流量传器、微光谱仪等产品，广泛应用于环境科学、航天、生物医疗、汽车工业、军事、工业控制等领域。 　　

来源：电子产品世界2009-09-28

从按产品分类划分的市场来看，相比pcb、存储器、稳压器等产品的低迷不振，mems、mlcc、钽电容、连接器以及各种数据接口等产品市场则十分稳定。

来源：中国电子元件行业协会2009-09-28

他介绍说，经过12年的发展，公司基于mems技术的压力传感器和陀螺加速度微系统组合的主打产品，现在出口到45个国家和地区。 　　...一批基于mems(微机电系统)技术的新型传感器正在进入市场。传感器设计技术、材料控制技术、生产技术、可靠性技术和测试技术不断发展成熟，量产能力逐步提高。

来源：中国电子元件行业协会敏协分会2009-09-27

mems传感器市场 　　随着国际mems传感器市场从高端产品向消费类产品市场转移，中国的mems传感器市场将加速繁荣。...mems及汽车传感器市场加速发展 　　由于传感器的种类很多，这里主要介绍mems传感器和汽车传感器的市场情况。 　　

来源：互联网2009-09-27

值得特别关注是mems/nems(微电机系统/纳机电系统)测试仪器,以扫描隧道显微镜和原子力显微镜为代表的扫描探针显微镜,以及基于stm/afm的基本原理新发展起来一系列spm,如磁力显微镜、静电力显微镜等这些仪器的新发展

2006-11-20

在重要传感器件方面，自主开发了mems（微机电系统）振动传感器、mems声响传感器、mems红外传感器、光纤传感器、声阵列传感器，形成了以mems传感器为主、复合多信息探测的小型化传感器系列。

2006-11-09

来自日本奈良先端科学技术大学院大学、清华大学、上海交大、西安交大等高校的教授也分别从多传感器融合技术、知识与信息处理技术、mems(微机电系统)、视觉传感技术及光电波传感技术、多传感器网络在汽车安全中的应用等角度介绍了他们的最新研究成果

2006-11-02

目前，沈阳仪器仪表工艺研究所扩散硅压力传感器的敏感膜片全部由精密化学腐蚀、大片静电封接、硅-硅键合等mems工艺完成。

2006-09-14

例如：当前我国正在重点开发的mems(微电子与微机械的结合)、momes(mems与微光学的结合)、智能传感器(mems与cpu、信息控制技术的结合)、生物化学传感器(mems与生物技术、电化学的结合)

2006-09-07

　　欧姆龙在2006年9月1月召开的“mems技术在生命科学领域的应用”交流会上，常务董事、技术本部长今仲行一介绍了压力传感器与流量传感器等mems技术在医疗领域的应用事例。 　　...该公司认为医疗领域的家庭用途今后将会越来越广泛，现已将mems定位于其核心技术之一

2006-09-07

应用mems技术的微型仪器被称为芯片上的仪器，mems产品包括生物芯片，汽车加速计，压力、化学、流量计，微光谱仪等产品，广泛应用于生命科学、环境科学、航天、生物医疗、汽车工业、军事、工业控制等领域。

2006-08-30

作为维持触媒温度的加热器集成技术，采用mems技術研制出隔热性很高的微加热器。...该传感器在热电转换式mems元件上形成了以陶瓷支撑材料的铂触媒图案。与过去的传感器相比，更能发挥铂触媒的性能，因而具有良好的灵敏度和耐用性。

2006-08-28

多学科、多种高新技术的交叉融合，推动了新一代传感器的诞生与发展：例如：当前我国正在重点开发的mems（微电子与微机械的结合）、momes（mems与微光学的结合）、智能传感器（mems与cpu、信息控制技术的结合

2006-08-25

该传感器在热电转换式mems元件上形成了以陶瓷支撑材料的铂触媒图案。与过去的传感器相比，更能发挥铂触媒的性能，因而具有良好的灵敏度和耐用性。 　　...作为维持触媒温度的加热器集成技术，采用mems技術研制出隔热性很高的微加热器。将热电图、微加热器、触媒3个组成要素集成到了尺寸约为1×2mm2的薄膜上，制成了尺寸为4×4mm2的传感器芯片。 　　

2006-08-21

传感器 　(1) mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀（drie）工艺或igp工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型传感器：如用微硅电容传感器