来源：中华电源网2012-03-09

制作减反射膜的材料有mgf2，sio2，al2o3，sio，si3n4，tio2，ta2o5等。工艺方法可用真空镀膜法、离子镀膜法，溅射法、印刷法、pecvd法或喷涂法等。

来源：中国新能源网2008-10-29

制作减反射膜层 对于高效太阳电池，最常用和最有效的方法是蒸镀zns/mgf2双层减反射膜，其最佳厚度取决于下面氧化层的厚度和电池表面的特征，例如，表面是光滑面还是绒面，减反射工艺也有蒸镀ta2o5, pecvd