来源：中商情报网2012-02-24

支持模拟工艺、数模混合工艺、微电子机械系统(mems)工艺、射频工艺、功率器件工艺等特色技术开发，推动特色的工艺生产线建设。

来源：中国行业研究网2012-02-23

当前的重点是多维精密加工工艺，精密成型工艺，球面、非球面光学元件精密加工工艺，晶体光学元件磨削工艺，特殊光学薄膜设计与制备工艺，精密光栅刻划复制工艺，特殊焊接、粘接、烧结等特殊连接工艺，专用芯片加工技术，mems

来源：电力发烧友网2012-02-15

近年来，无线通信、集成电路传感器以及微机系统近年来，无线通信、集成电路传感器以及微机系统(mems)等技术的飞速发展，推动了低成本、功耗多能的无线传感器大量生产。

来源：中国证券网2012-02-15

全国有1600多家企事业单位从事传感器的研制、生产和应用，年产量达24亿只，市场规模超过900亿元，其中， 微机电系统(mems)传感器市场规模超过150亿元;通信设备制造业具有较强的国际竞争力。

来源：工业和信息化部2012-02-14

重点支持超高频和微波rfid标签、智能传感器、嵌入式软件的研发，支持位置感知技术、基于mems的传感器等关键设备的研制，推动二维码解码芯片研究。2.推进传输技术突破。...全国有1600多家企事业单位从事传感器的研制、生产和应用，年产量达24亿只，市场规模超过900亿元，其中, 微机电系统(mems)传感器市场规模超过150亿元;通信设备制造业具有较强的国际竞争力。

来源：C114中国通信网2012-02-09

1.微机电系统(mems)微机电系统(microelectromechanical systems，缩写为mems)是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内。

来源：中国仪表展览网2012-02-06

其次充分把握战备性新兴产业的机遇，重点提升以无线自主网络技术、mems等新兴传感器的研发和应用。以物联网为例，物联网已经成为战略性新兴产业，2015年市场规模将达到7500亿元。...其次充分把握战备性新兴产业的机遇，重点提升以无线自主网络技术、mems等新兴传感器的研发和应用。以物联网为例，物联网已经成为战略性新兴产业，2015年市场规模将达到7500亿元。

来源：控制工程网2012-01-10

2012年传感器发展重点传感器技术(1)mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀(drie)工艺或igp工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型传感器...战略目标到2012年，传感器领域应争取实现三大战略目标：---以工业控制、汽车、通讯、环保为重点服务领域，以传感器、弹性元件、光学元件、专用电路为重点对象，发展具有自主知识产权的原创性技术和产品;---以mems

来源：百方网2012-01-04

mems传感器市场随着国际mems传感器市场从高端产品向消费类产品市场转移，中国的mems传感器市场将加速繁荣。mems传感器除了用于工业交通等部门外，新兴应用市场是汽车、通信、办公设备、移动电话等。

来源：电缆网2011-12-16

广泛使用的传感器包括：电阻、电感、电容、半导体、光电、压电、机械和mems等。...发展光纤传感器的挑战因素有：非光子技术竞争(mems，无线等);尽快对产品标准的制定;成本因子。五、全球宏观经济环境与传统的机电和电子传感器相比，光纤传感器有着一系列独特的优点。

来源：百方网2011-12-05

原子荧光联用仪北京瑞利分析仪器有限公司梁敬张锦茂王庆陈璐董芳二2011仪器仪表高压开关sf6气体微水含量传感器及在线监测系统沈阳仪表科学研究院何方袁峰徐洪张清志李振波申安安韩华超张立张卫张春晓二2011仪器仪表基于mems

来源：GLOBEPV2011-11-04

夏普(sharp)与意大利再生能源业者enelgreenpower(egp)、可携式装置mems供应商意法半导体(stmicroelectronics；st)，合资在卡塔尼亚设立工厂3sun，近期开始量产

来源：中国传动网2011-10-24

重点发展千万吨炼油百万吨乙烯或芳烃等重大工程自动化仪器仪表、先进传感器、射频识别系统(rfid)、互感器、避雷器、现场控制系统等精密仪器仪表，智能流量计、智能变送器、执行器、调节阀、分析仪器等智能仪表，以及工业综合型分散控制系统(dcs)、微机电系统(mems

来源：北极星电力信息化网2011-10-10

李维平说，目前公司与国内的北大、南大、东大以及知名科研院所都建立了合作关系，拥有南京市mems(微机电系统)传感工程研究中心，是国内少有的掌握全部关键工艺技术的厂家。

来源：全球电池网2011-10-08

这种太阳能电池采用晶体硅制成，在制造中加入了当今电子器件厂广泛使用的微机电系统（mems）。在同等条件下能产生同样多的电能，新型电池所需硅只有普通太阳能电池的1%。

来源：北极星电力网2011-09-30

据ihsisuppli公司的mems与传感器专题报告，汽车产业恢复生机，全球智能手机和平板电脑对于数字罗盘的需求上升，正在推动硅磁传感器市场加速增长，预计2011年销售额将上升23.7%。

来源：北极星电力软件网2011-09-20

基于mems的微传感技术和无线联网技术为无线传感器网络赋予了广阔的应用前景。这些潜在的应用领域可以归纳为:军事、航空、反恐、防爆、救灾、环境、医疗、保健、家居、工业、商业等领域。...随着微机电系统(micro-electro-mechanismsystem,mems)、片上系统(soc，systemonchip)、无线通信和低功耗嵌入式技术的飞速发展,孕育出无线传感器网络(wirelesssensornetworks

来源：国际电子商情网2011-09-13

美国consensic公司推出革命性新型微机电（mems）智能电容式压力传感器cps120，是全世界唯一一家数字式mems电容式压力传感器的厂商。...同时consensic可以根据客户需求针对不同应用领域的具体要求，开发相应的高性能mems电容式传感器。

来源：中华工控网2011-07-27

baolab公司制造的芯片是在一个传统的硅芯片上蚀刻出一个纳米级的微机电系统(mems)。在这个纳米级微机电系统设备中有一个由弹性元件悬吊着的铝片。

来源：中国科技财富2011-07-25

重点发展高端传感器、mems、智能传感器和传感器网节点、传感器网关;超高频rfid、有源rfid和rfid中间件产业等，重点发展物联网相关终端和设备以及软件和信息服务。