来源：中国自动化网2013-01-04

使用mems技能的微型仪器仪表被称为芯片上的仪器仪表，mems产物包括汽车加快计，压力、化学、流量传器、微光谱仪等产物，普遍使用于情况科学、航天、生物医疗、汽车工业、军事、工业节制等范畴。

来源：中国仪表网2012-10-22

这是国产mems加速度传感器首次在国际招标中获胜，标志着中国电科mems加速度传感器已达到国际先进产品水平。...mems加速度传感器具备高精度、高分辨率(分辨率优于10g)、低噪声(13所2.5g，国外同类产品约5g)、低功耗、低温漂、抗过载和超小体积(体积是国外同类产品1/4)、重量小于1.2克(国外同类产品约

来源：磐安新闻网2012-10-19

项目土建工程主要包括国家传感器工程研究中心分中心、科技成果孵化中心、传感器芯片生产区、汽车传感器生产区、压力传感器生产区、mems智能变送器生产区、物流区、国际贸易区、检验检测区及其他配套设施等。

来源：北极星电力网2012-10-10

mems 传感器芯片，采用硅工艺制备而成的各类 mems 传感器，包 括硅麦克风、喷墨打印机头、mems 加速度传感器、mems 压力传感器、 mems 流量传感器、mems 陀螺仪、dmd 等产品。

来源：电子信息产业网2012-09-28

随着物联网技术推进，对传感器技术提出了新的要求，产品正在向mems工艺技术;无线数据传输网络技术;新材料、纳米、薄膜(含soi)、陶瓷技术;光纤技术;激光技术;复合传感器技术;多学科交叉的融合技术方向发展

来源：网络2012-07-26

值得特别关注是mems/nems(微电机系统/纳机电系统)测试仪器,以扫描隧道显微镜和原子力显微镜为代表的扫描探针显微镜,以及基于stm/afm的基本原理新发展起来一系列spm,如磁力显微镜、静电力显微镜等这些仪器的新发展

来源：中国政府网2012-07-23

●产业化：实施集成电路、新型平板显示创新发展工程；推进led、微机电系统（mems）、智能传感器、新型电力电子器件以及金属有机源化学气相沉积（mocvd）装备等产业化。

来源：中电新闻网2012-06-08

目前，我国无线射频识别rfid产业市场规模超过100亿元，传感器生产和应用市场规模超过900亿元，仅微机电系统mems传感器市场规模就超过150亿元;通信设备制造业建成全球最大、技术先进的公共通信网和互联网

来源：中国高新技术产业导报2012-03-22

8.特种工艺与精密制造技术多维精密加工工艺，精密成型工艺，焊接、粘接、烧结等特殊连接工艺，微机电系统(mems)技术，精确可控热处理技术，精密锻造技术等。

来源：工信部网站2012-02-24

5、关键电子元器件大力发展基于表面贴装技术(smt)的新型片式元件，积极支持基于微电子机械系统(mems)技术的新型元器件和基于低温共烧陶瓷(ltcc)技术的无源集成元件的研发和产业化。...重点支持微电子器件、光电子器件、mems器件、半导体功率器件、电力电子器件、rfid模块及器件、绿色电池、片式阻容感、机电组件、电声器件、智能传感器、印刷电路板产品的技术升级及设备工艺研发，有效支撑物联网发展

来源：工信部网站2012-02-24

掌握先进高压工艺、mems工艺、锗硅工艺等特色工艺技术。...支持模拟工艺、数模混合工艺、微电子机械系统(mems)工艺、射频工艺、功率器件工艺等特色技术开发，推动特色的工艺生产线建设。

来源：无锡日报2012-02-24

尚沃生物科技首创了自标定呼气分析仪，传感技术的植入引领高端医疗机械产业;众志和达、云海创想的海量数据存储和处理技术，显示了强大的后台数据处理能力;美新、清华大学无锡技术中心等研发的大规模传感器节点自组网、各类mems

来源：中商情报网2012-02-24

支持模拟工艺、数模混合工艺、微电子机械系统(mems)工艺、射频工艺、功率器件工艺等特色技术开发，推动特色的工艺生产线建设。

来源：中国行业研究网2012-02-23

当前的重点是多维精密加工工艺，精密成型工艺，球面、非球面光学元件精密加工工艺，晶体光学元件磨削工艺，特殊光学薄膜设计与制备工艺，精密光栅刻划复制工艺，特殊焊接、粘接、烧结等特殊连接工艺，专用芯片加工技术，mems

来源：电力发烧友网2012-02-15

近年来，无线通信、集成电路传感器以及微机系统近年来，无线通信、集成电路传感器以及微机系统(mems)等技术的飞速发展，推动了低成本、功耗多能的无线传感器大量生产。

来源：中国证券网2012-02-15

全国有1600多家企事业单位从事传感器的研制、生产和应用，年产量达24亿只，市场规模超过900亿元，其中， 微机电系统(mems)传感器市场规模超过150亿元;通信设备制造业具有较强的国际竞争力。

来源：工业和信息化部2012-02-14

重点支持超高频和微波rfid标签、智能传感器、嵌入式软件的研发，支持位置感知技术、基于mems的传感器等关键设备的研制，推动二维码解码芯片研究。2.推进传输技术突破。...全国有1600多家企事业单位从事传感器的研制、生产和应用，年产量达24亿只，市场规模超过900亿元，其中, 微机电系统(mems)传感器市场规模超过150亿元;通信设备制造业具有较强的国际竞争力。

来源：C114中国通信网2012-02-09

1.微机电系统(mems)微机电系统(microelectromechanical systems，缩写为mems)是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内。

来源：中国仪表展览网2012-02-06

其次充分把握战备性新兴产业的机遇，重点提升以无线自主网络技术、mems等新兴传感器的研发和应用。以物联网为例，物联网已经成为战略性新兴产业，2015年市场规模将达到7500亿元。...其次充分把握战备性新兴产业的机遇，重点提升以无线自主网络技术、mems等新兴传感器的研发和应用。以物联网为例，物联网已经成为战略性新兴产业，2015年市场规模将达到7500亿元。

来源：控制工程网2012-01-10

2012年传感器发展重点传感器技术(1)mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀(drie)工艺或igp工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型传感器...战略目标到2012年，传感器领域应争取实现三大战略目标：---以工业控制、汽车、通讯、环保为重点服务领域，以传感器、弹性元件、光学元件、专用电路为重点对象，发展具有自主知识产权的原创性技术和产品;---以mems