来源：电气自动化技术网2013-07-16

重点发展高端传感器、mems(微机电系统)、智能传感器和传感器网节点、传感器网关;超高频rfid()、有源rfid和rfid中间件产业等，重点发展物联网相关终端和设备以及软件和信息服务。

来源：21ic2013-06-21

adis16229和adis16000主要特性mems无线振动系统：862 mhz至928 mhz传感器节点(adis16229)双轴、18g mems加速度计5.5 khz谐振频率采样速率高达20 ksps

来源：中国电子报2013-06-13

同时，到2020年，传感器及仪表元件领域应争取实现三大战略目标：以工业控制、汽车、通讯、环保为重点服务领域，以传感器、弹性元件、光学元件、专用电路为重点对象，发展具有自主知识产权的原创性技术和产品;以mems...传感器未来技术方展方向1、mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀(drie)工艺或igp工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;2、集成工艺和多变量复合传感器微结构集成制造工艺

来源：电子设计工程 李娜2013-04-28

现在的无线网络已经集成了网络技术、嵌入式技术、微机电系统(mems)及传感器技术并将internet从虚拟世界延伸到物理世界，从而将信息世界与人们生活的真实世界融合在一起，改变了人与自然交互的方式，满足了人们对无处不在的网络的需求

来源：中安网2013-03-21

主要包括中央处理器(cpu)、微控制器(mcu)、存储器、数字信号处理器(dsp)、嵌入式cpu、通信芯片、数字电视芯片、多媒体芯片、信息安全和视频监控芯片、智能卡芯片、汽车电子芯片、工业控制芯片、智能电网芯片、mems

来源：中国教育装备采购网2013-03-11

近年来随着红外传感技术的不断进步，采用微机械系统(mems)技术制作的非致冷热电堆红外探测器以其能耗低，重量轻，体积紧凑、开机预热时间短和成本低等优点而倍受关注。

来源：北极星电力网2013-03-08

包括传感器及节点设备，mems传感器、智能传感器、多功能传感器、化学及生物量传感器等，低功耗、小型化、多功能、高性能、集成化传感节点设备，极端环境传感器节点设备等。...主要包括中央处理器(cpu)、微控制器(mcu)、存储器、数字信号处理器(dsp)、嵌入式cpu、通信芯片、数字电视芯片、多媒体芯片、信息安全和视频监控芯片、智能卡芯片、汽车电子芯片、工业控制芯片、智能电网芯片、mems

来源：OFweek光通讯网2013-01-24

除了研发和生产光电器件产品之外，最近安捷讯又开发了四个新的领域.它们是：基于mems技术的热能传感器、纳米材料产品、用于识别化学成分的拉曼光谱系统以及政府开发项目。其在中国的分点位于深圳。

来源：中国自动化网2013-01-04

使用mems技能的微型仪器仪表被称为芯片上的仪器仪表，mems产物包括汽车加快计，压力、化学、流量传器、微光谱仪等产物，普遍使用于情况科学、航天、生物医疗、汽车工业、军事、工业节制等范畴。

来源：中国仪表网2012-10-22

这是国产mems加速度传感器首次在国际招标中获胜，标志着中国电科mems加速度传感器已达到国际先进产品水平。...mems加速度传感器具备高精度、高分辨率(分辨率优于10g)、低噪声(13所2.5g，国外同类产品约5g)、低功耗、低温漂、抗过载和超小体积(体积是国外同类产品1/4)、重量小于1.2克(国外同类产品约

来源：磐安新闻网2012-10-19

项目土建工程主要包括国家传感器工程研究中心分中心、科技成果孵化中心、传感器芯片生产区、汽车传感器生产区、压力传感器生产区、mems智能变送器生产区、物流区、国际贸易区、检验检测区及其他配套设施等。

来源：北极星电力网2012-10-10

mems 传感器芯片，采用硅工艺制备而成的各类 mems 传感器，包 括硅麦克风、喷墨打印机头、mems 加速度传感器、mems 压力传感器、 mems 流量传感器、mems 陀螺仪、dmd 等产品。

来源：电子信息产业网2012-09-28

随着物联网技术推进，对传感器技术提出了新的要求，产品正在向mems工艺技术;无线数据传输网络技术;新材料、纳米、薄膜(含soi)、陶瓷技术;光纤技术;激光技术;复合传感器技术;多学科交叉的融合技术方向发展

来源：网络2012-07-26

值得特别关注是mems/nems(微电机系统/纳机电系统)测试仪器,以扫描隧道显微镜和原子力显微镜为代表的扫描探针显微镜,以及基于stm/afm的基本原理新发展起来一系列spm,如磁力显微镜、静电力显微镜等这些仪器的新发展

来源：中国政府网2012-07-23

●产业化：实施集成电路、新型平板显示创新发展工程；推进led、微机电系统（mems）、智能传感器、新型电力电子器件以及金属有机源化学气相沉积（mocvd）装备等产业化。

来源：中电新闻网2012-06-08

目前，我国无线射频识别rfid产业市场规模超过100亿元，传感器生产和应用市场规模超过900亿元，仅微机电系统mems传感器市场规模就超过150亿元;通信设备制造业建成全球最大、技术先进的公共通信网和互联网

来源：中国高新技术产业导报2012-03-22

8.特种工艺与精密制造技术多维精密加工工艺，精密成型工艺，焊接、粘接、烧结等特殊连接工艺，微机电系统(mems)技术，精确可控热处理技术，精密锻造技术等。

来源：工信部网站2012-02-24

5、关键电子元器件大力发展基于表面贴装技术(smt)的新型片式元件，积极支持基于微电子机械系统(mems)技术的新型元器件和基于低温共烧陶瓷(ltcc)技术的无源集成元件的研发和产业化。...重点支持微电子器件、光电子器件、mems器件、半导体功率器件、电力电子器件、rfid模块及器件、绿色电池、片式阻容感、机电组件、电声器件、智能传感器、印刷电路板产品的技术升级及设备工艺研发，有效支撑物联网发展

来源：工信部网站2012-02-24

掌握先进高压工艺、mems工艺、锗硅工艺等特色工艺技术。...支持模拟工艺、数模混合工艺、微电子机械系统(mems)工艺、射频工艺、功率器件工艺等特色技术开发，推动特色的工艺生产线建设。

来源：无锡日报2012-02-24

尚沃生物科技首创了自标定呼气分析仪，传感技术的植入引领高端医疗机械产业;众志和达、云海创想的海量数据存储和处理技术，显示了强大的后台数据处理能力;美新、清华大学无锡技术中心等研发的大规模传感器节点自组网、各类mems