来源：中国电子报2011-02-17

在极大规模集成电路制造关键设备方面，我认为还应重点发展能够带动其他产业技术升级的关键设备以及先进封装的关键设备;在太阳能光伏设备方面，应重点发展现在还制约整线配套能力的全自动丝网印刷系统、平板式pecvd

来源：中国电子报2011-01-11

未来硅基薄膜电池将呈现以下发展趋势： 多室pecvd向单室pecvd转变。 pecvd设备的投资占据总投资生产线的30%以上。目前硅基薄膜电池的制备主要包括多室和单室的pecvd技术。

来源：电力网新闻中心2011-01-11

新设备带来转机 1月8日，首台代表着国际尖端技术水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备（ｐｅｃｖｄ）在上海张江理想能源设备公司正式下线，该设备的研制成功打破了薄膜太阳能电池设备市场一直被国外厂商垄断的局面

来源：新华网2011-01-10

一年多里，该公司相继完成了pecvd首台机的研发、中试、下线，并申请了10多项核心技术专利。...不过，薄膜太阳能电池生产设备复杂昂贵，尤其是关键设备pecvd，更是高达上千万美元，长期以来一直被欧洲、美国和日本的企业垄断。

来源：国信证券2010-12-30

2010年7月13日，天威薄膜决定对一期项目进行升级改造，包括：新购瑞士欧瑞康4台化学气相沉积设备(pecvd)，同时另购臵4台(进口)尾气处理设备。

来源：中国能源信息网2010-12-28

将pecvd装置、tco和激光划片装置等的生产量均提高了50％以上，因而大幅削减了必要的装置数量和设置面积（图9）。...图9改进制造装置欧瑞康太阳能将通过改良pecvd装置、透明导电膜（tco）成膜装置、激光切割装置，来实现€0.5/w的制造成本。

来源：招商证券2010-12-17

我们预计明年公司扩散炉和pecvd产值4-5亿(占国内市场25%份额)，按30%净利润率计算，可贡献1.2-1.5亿净利润，约0.2元eps。

来源：中国能源信息网2010-11-10

多晶硅浇铸炉、线切割机、pecvd等设备几乎完全依赖进口。这些设备的单价都在人民币千万元以上，购买者负担沉重。其次，设备与工艺研究脱节。...多晶硅浇铸炉、线切割机、pecvd等设备几乎完全依赖进口。这些设备的单价都在人民币千万元以上，购买者负担沉重。其次，设备与工艺研究脱节。

来源：赛迪网-中国电子报2010-10-26

、快速烧结炉)和进口设备并存，但份额在逐步增大，3种(全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式pecvd)则依赖进口。...我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的9种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，2种(管式pecvd

来源：北极星电力网新闻中心2010-10-15

、快速烧结炉和进口设备并存但份额在逐步增大，全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式pecvd则基本依赖进口。...中国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量出口，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，管式pecvd

来源：中国新能源网2010-10-13

在各类光伏设备中，pecvd是最昂贵的，而appliedmaterials是pecvd霸主，市场占有率接近90%.2010年7月底，appliedmaterials重组了连续出现营业赤字的能源及环境解决方案部门

来源：新浪房产2010-09-09

据介绍，新的thinfab结合了多项改进，这些改进都是根据欧瑞康太阳能公司的技术路线图而开发的，包括：10%的稳定模块效率；更薄的电池结构，能量衰减更少，燃气消耗量更低；具有更高性能的新一代pecvd、

来源：互联网2010-01-22

全自动丝网印刷机、自动分检机、平板式 pecvd等三种设备近期内尚需完全依赖进口。 　　　　

2010-01-22

对晶硅太阳能电池来说，所涉及的生产工艺包括：晶圆分拣和测试、清洗、蚀刻、扩散到pecvd（等离子体增强化学气相沉积设备）、丝网印刷和烧结。

来源：中国电子报2009-03-19

此外，全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式pecvd则完全依赖进口。组件生产用的层压机、太阳能模拟器等在行业获得广泛应用。...多晶铸锭炉等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式化学气相淀积设备pecvd

来源：中国新能源网2008-10-29

制作减反射膜层 对于高效太阳电池，最常用和最有效的方法是蒸镀zns/mgf2双层减反射膜，其最佳厚度取决于下面氧化层的厚度和电池表面的特征，例如，表面是光滑面还是绒面，减反射工艺也有蒸镀ta2o5, pecvd

2006-09-05

第四，国产pecvd的工艺结果已接近世界先进水平，这是这种设备的优势。但它的自动化程度不如进口设备，而该设备推广的瓶颈主要是产量与进口平板连续式设备差距很大。 　　...特别是2003年七星华创以及2004年中国电子科技集团公司第48研究所研制成功的电池片制造用最关键设备之一——热壁式生产型pecvd设备，使我国设备业已基本具备太阳能电池制造设备整线供给能力。 　　

2005-01-28

在平板显示器件(fpd)方面，tft-lcd的生产中采用了大面积制版、大面积光学曝光、多室磁控溅射、多室pecvd等诸多半导体设备；led的生产设备则包括mocvd、lpe在内的全套半导体设备；此外，pdp

2004-12-22

其次，增加一套世界先进的全自动太阳电池生产线，包括大型pecvd设备、扩散炉和丝网印刷机等，产量可达每小时1400片，年产多晶硅电池片50兆瓦。

2003-04-09

基于长期与iii-v族及硅晶圆产业伙伴的密切配合，并积极投入oled制程设备之研发，主要产品包括电浆辅助化学气相沉积设备（pecvd）：p100c／p200c；电子枪蒸镀设备（e-beam）：e850／