2006-04-04

他表示，“同时，我们将不断帮助客户完善和开发产品应用方案，使他们最大程度的同我们分享mems技术带来的效益。” 青鸟元芯的同行，主攻加速度传感器的美新半导体亦认为传感器应用市场将会有所变化。

2005-11-30

自动在线泥沙测量仪 中国科学院水利部水土保持研究所 1675 2005ed851003 超利巴流量测量装置gdwzl-50clb 西安中航流量技术研究所 1694 2005ed851023 mems

2005-06-24

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2004-09-22

目前，mems技术已经被广泛地应用于全球各类传感器的开发工作中。例如，压力传感器和角速度传感器等产品今后都将会利用mems新技术来开发新型的产品。 　　

2004-09-21

应用mems技术制造的微型仪器仪表被称为芯片上的仪器仪表或芯片上的实验室，具有体积小、重量轻、性能稳定，按ic加工工艺批量生产，成本低，性能一致性好，功耗低等优点。

2003-11-05

系统级芯片(soc)技术、神经网络芯片、砷化镓(gａaｓ)、锗硅gｅsｉ 技术、纳电子技术(基于量子效应的单电子器件和量子集成电路)、真空微电子技术、微电子机械系统(mems)技术和生物芯片等，正在成为人们研究的热点

2006-12-13

我国开发新一代的高、精、尖传感器已具备条件，如光纤、红外、超声波、生物、智能及模糊控制传感器，采用mems技术制作微传感器等，这些新产品逐步实现了cad设计、全部实现可靠性设计，质量分析及质量信息管理均采用计算机化

2007-04-13

icinsights表示：“约有80%的固态传感器和致动器有用微电机系统(mems)技术，以完成变换器功能。”