来源：湖南省人民政府2022-10-17

开展智能传感器、微机电系统（mems）传感器等关键参数计量测试技术研究。针对智能、在线、网络计量收费广泛应用趋势，开展在线、网络计量计费系统价格监测计量技术研究与应用。18．服务健康产业发展。

来源：山东省政府2022-10-11

开展集成电路、微机电系统（mems）传感器、北斗导航系统等关键参数计量测试技术研究，加快计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。

来源：无锡国家高新技术产业开发区2022-09-29

为了保持高新区集成电路制造业在全国的领先地位，在晶圆制造环节，要重点支持有特色的模拟工艺、数模混合工艺、微机电系统（mems）工艺、射频工艺、新型功率器件工艺的开发应用，推动全区集成电路特色工艺生产线的建设与扩产

来源：河南省人民政府2022-09-29

充分发挥我省在先进计算、智能传感器、集成电路、新型显示和智能终端、信息安全等领域特色优势，重点研发声光学元器件及模组、新型光学显示器件、光通信芯片、信息安全芯片、微机电系统传感器等核心部件，大力发展用于元宇宙的操作系统

来源：河南省人民政府2022-09-28

充分发挥我省在先进计算、智能传感器、集成电路、新型显示和智能终端、信息安全等领域特色优势，重点研发声光学元器件及模组、新型光学显示器件、光通信芯片、信息安全芯片、微机电系统传感器等核心部件，大力发展用于元宇宙的操作系统

来源：鹤壁市人民政府2022-09-23

以智能传感器为方向，抓住纳入全省“一谷六园”布局契机，发展基于微机电系统（mems）的新型智能传感器，丰富智能传感器、射频卡、嵌入式芯片、传感网络设备等物联网产品体系，打造智能传感器设计、制造和封装产业链

来源：南方电网报2022-09-21

近年来，随着新型敏感材料和微机电(mems)工艺快速发展，涌现出了磁阻、压电、光电、磁光等先进传感技术和元器件，其具备微纳体积、高精度、高信噪比、宽频带、超低功耗等优势，为新一代电力微型智能传感器发展提供了新的技术路径

来源：广东省工信厅2022-09-08

实现集成多维度信息采集能力的高端传感器开发，重点发展新型微机电系统（mems）传感器和智能传感器，突破微型化、智能化的电声器件和图像传感器件。

来源：江苏省人民政府2022-08-26

开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。（三）服务大众健康与安全。

来源：嘉兴市人民政府2022-08-01

重点发展智能芯片制造与封测、关键电子材料制造等产业，以低功耗、小型化、高灵敏度为目标，积极发展新型敏感元件、微纳器件、微电子联接器件、微机电系统（mems）、压力传感器等高端电子元器件。

来源：嘉兴市人民政府2022-08-01

重点发展智能芯片制造与封测、关键电子材料制造等产业，以低功耗、小型化、高灵敏度为目标，积极发展新型敏感元件、微纳器件、微电子联接器件、微机电系统（mems）、压力传感器等高端电子元器件。

来源：江苏省人民政府2022-07-29

开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。...开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。（三）服务大众健康与安全。

来源：重庆市人民政府2022-07-26

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市人民政府2022-07-26

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：北极星碳管家网2022-07-19

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市人民政府2022-07-18

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：北极星环保网2022-07-18

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：江苏省发展和改革委员会2022-06-17

（mems）精密电子零部件扩产项目（微机电（mems）精密电子零部件专利布局与产业化项目）江苏长龄液压股份有限公司液压回转接头项目扩建项目苏州迈为科技股份有限公司年产40条异质结太阳能电池片设备整线项目纽威数控装备

来源：江苏省发改委2022-06-17

（mems）精密电子零部件扩产项目（微机电（mems）精密电子零部件专利布局与产业化项目）江苏长龄液压股份有限公司液压回转接头项目扩建项目苏州迈为科技股份有限公司年产40条异质结太阳能电池片设备整线项目纽威数控装备

来源：郑州市人民政府2022-06-13

积极引进国内外发达地区传感器材料和设备龙头企业，着力引进钌系加热电阻浆料、高纯度锡、聚四氟乙烯膜等关键材料企业，鼓励河南省智能传感器创新中心、河南省智能传感器产业研究院、郑州机械研究所等研发机构加快mems（微机电系统