来源：嘉兴市人民政府2022-08-01

重点发展智能芯片制造与封测、关键电子材料制造等产业，以低功耗、小型化、高灵敏度为目标，积极发展新型敏感元件、微纳器件、微电子联接器件、微机电系统（mems）、压力传感器等高端电子元器件。

来源：嘉兴市人民政府2022-08-01

重点发展智能芯片制造与封测、关键电子材料制造等产业，以低功耗、小型化、高灵敏度为目标，积极发展新型敏感元件、微纳器件、微电子联接器件、微机电系统（mems）、压力传感器等高端电子元器件。

来源：江苏省人民政府2022-07-29

开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。...开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。（三）服务大众健康与安全。

来源：重庆市人民政府2022-07-26

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市人民政府2022-07-26

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：北极星碳管家网2022-07-19

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市人民政府2022-07-18

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：北极星环保网2022-07-18

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：郑州市人民政府2022-06-13

积极引进国内外发达地区传感器材料和设备龙头企业，着力引进钌系加热电阻浆料、高纯度锡、聚四氟乙烯膜等关键材料企业，鼓励河南省智能传感器创新中心、河南省智能传感器产业研究院、郑州机械研究所等研发机构加快mems（微机电系统

来源：广州市人民政府2022-06-06

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理超级集成硅栅半导体（bcd）工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。...工业控制、医疗器械等领域的新兴需求，重点布局敏感元器件、储能器件、光通信器件、量子器件等新型电子元器件，积极发展光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和微机电系统

来源：广州市人民政府2022-06-06

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理超级集成硅栅半导体（bcd）工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。...工业控制、医疗器械等领域的新兴需求，重点布局敏感元器件、储能器件、光通信器件、量子器件等新型电子元器件，积极发展光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和微机电系统

来源：广州市人民政府2022-06-02

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理超级集成硅栅半导体（bcd）工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。...工业控制、医疗器械等领域的新兴需求，重点布局敏感元器件、储能器件、光通信器件、量子器件等新型电子元器件，积极发展光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和微机电系统

来源：南宁市人民政府2022-05-26

发展重点：智能终端产品领域，重点发展覆盖手机、平板、tws耳机、可穿戴设备、智能音箱、vr/ar等主流智能终端设备；核心关键零部件领域，重点发展光学模组、声学器件、电磁传动、微机电系统（mems）、传感器

来源：南宁市人民政府2022-05-26

发展重点：智能终端产品领域，重点发展覆盖手机、平板、tws耳机、可穿戴设备、智能音箱、vr/ar等主流智能终端设备；核心关键零部件领域，重点发展光学模组、声学器件、电磁传动、微机电系统（mems）、传感器

来源：广州市人民政府2022-05-11

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理bcd工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。封装测试环节。...加快推进用于物理量、化学量、生物量中的半导体、陶瓷、高分子、超导、光纤、纳米等各种新型敏感、复合功能材料的创新研发和产业化，重点发展基于微机电系统（mems）工艺、薄膜工艺技术形成的敏感芯片，支持集成式

来源：重庆经信委2022-05-10

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市经济和信息化委员会2022-05-10

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市经信委2022-05-10

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市经信委2022-05-10

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市经济和信息化委员会2022-05-09

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力