来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-31

公司自有产品包括半导体前段、后段、太阳能、平板显示fpd、led、mems应用中的各种湿制程设备，例如：硅片湿法清洗、蚀刻，硅芯硅棒湿法化学处理，液晶基板清洗，led基片显影脱膜等。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-27

8、济南力冠电子科技有限公司济南力冠电子科技有限公司是集开发、生产、销售为一体的专业厂家，产品广泛应用于大规模集成电路、电力电子器件、分立器件、光电子器件、mems和太阳能电池、led生产设备, 材料热处理设备

来源：中国光电网2013-12-25

xtellus采取了核心技术组合的策略，兼顾液晶和mems。基于这样的技术，oclaro推出了一系列产品。然而，dougherty表示公司的wss发展没有跟上市场需求。

来源：北极星太阳能光伏网(独家）2013-12-19

6、济南力冠电子科技有限公司济南力冠电子科技有限公司是集开发、生产、销售为一体的专业厂家，产品广泛应用于大规模集成电路、电力电子器件、分立器件、光电子器件、mems和太阳能电池、led生产设备,材料热处理设备...致力于为半导体集成ic电路分立器件、mems、太阳能电池、半导体照明led及磁性材料厂家提供先进的专用设备，工艺涵盖化合物半导体晶体生长（及提纯、合成等）、外延、薄膜淀积（氮化硅、氧化硅、多晶硅等）、氧化扩散

来源：《证券日报》2013-12-13

mems方面，士兰微、歌尔声学有望受益。

来源：前瞻网2013-12-10

在医疗领域方面，新兴微机电系统传感器(mems)发展速度较快，表现抢眼。目前，医疗及生物医疗领域已经成为mems传感器最大的潜在市场。...目前，mems在全球医疗领域的市场份额以每年超过11%的速度增长，预计2015年将超过28亿美元，2012-2015年间的年均复合增长率为12%。

来源：国泰君安证券2013-11-19

唯一的半导体资本平台)、七星电子(半导体设备)、上海新阳(半导体化学品)、长电科技(封测龙头,与中芯国际有紧密合作,直接受益于海思、展讯和锐迪科的崛起),华天科技(tsv先进封装,wlc摄像头)、苏州固鍀(封测,mems

来源：讯石光通讯咨询网2013-11-07

基于mems技术的可变光衰减器(voa)是解决dwdm光纤通信网中信道均衡问题的主要途径之一，随着光纤通信由点到点传输向动态光网络的升级，mems voa的市场需求日益增长，然而，国内的mems voa

来源：国际工业自动化网2013-11-05

mems的优势在于批量化的制造技术，成本低、便于集成、功耗低;但与此同时，mems传感器也存在体积过小目前只能采用准三维技术加工，加工精度相对较低的问题。...近年来随着物联网、智能手机、汽车电子、医疗电子等产业的快速发展，对陀螺仪、加速度传感器、mems麦克风等传感器件的需求不断增加，传感器产业rfid世界网进入快速发展阶段。传感器市场的需求方向是什么?

来源：Mouser公司2013-10-15

近年来，随着无线通信、电源效率、极度微型化(如透过 mems 传感器达到的迷你规格设计)以及嵌入式运算技术的不断演进，发展出越来越多适用于严苛工业环境的无线传感器网络(wsn)。

来源：iccsz2013-10-15

xtellus采取了核心技术组合的策略，兼顾液晶和mems。基于这样的技术，oclaro推出了一系列产品。然而，dougherty表示公司的wss发展没有跟上市场需求。

来源：物联网世界网2013-10-11

据ihs isuppli统计，2012年全球mems市场规模为84.1亿美元，预计2013年市场规模将达到90.9亿美元，同比增长8.1%，未来两年将保持两位数增长，这将支持传感器领域的发展。

来源：CIOAge.com2013-09-24

在一定的阶段里，我国的信息化产业的发展将围绕重创新、抓应用、建环境、促发展、见效益，以制造业信息化行动为主线，大力发展新兴制造业和民营制造业，重点攻克深海载人潜水器、微机电系统(mems)、数据库管理系统及其应用

来源：中国仪表网2013-09-23

整体来看，当前国内传感器产业向微型化、集成化发展的主要瓶颈是我国ic与mems技术产业链能力不足，不论是在技术素质、生产能力还是在生产规模方面与国际先进技术相比差距都比较大。

来源：工信部2013-09-22

13 基于全光纤技术的智能电缆综合监测系统 上海波汇通信科技有限公司 14 基于mems...光纤逆流传感器关健技术研发及其并联在线测控装置产业化 湖北迅迪科技有限公司 11 周界围栏监控专用mems

来源：前瞻网2013-09-04

我国目前有1688家企事业从事传感器的研制、生产和应用，但从事mems研制生产只有50多家，而且规模和应用都较小。

来源：中自网2013-08-30

这种方法可能是机械信号的数字成像技术的一个重大的进步，通过光学手段潜在应用于触控板，个性化签名，生物成像和光学mems，王中林对物理世界网站说到。...它是新一代触屏智能机和机器人程序的福音，它能改善人机交互，生物成像和光学微机电系统(mems)等等。物联网机器人不像人的其他四个感官视觉，听觉，嗅觉和味觉在实验室中，触觉依然很顽固地难以被模仿。

来源：华强电子网2013-08-27

数据传感器采用最新mems传感器技术，可采集温度、压力、流量等参数，并内置无线宽带射频模块。无线宽带射频模块与电力传感器集成，只要有无限宽带网络信号，即可实时上传数据。...感知层大量运用大唐电信的rfid芯片、mems传感器技术;汇聚层利用可高速传输数据的mcwill无线宽带接入系统;应用层更是广泛采用大唐电信自主开发的软件，例如人员定位及巡更系统、集中监控系统、电力管理系统

来源：中国传动网2013-08-27

不过，郁正德也分析说，由于目前mcu与mems的产能都在逐年快速成长，市场竞争相当激烈，导致价格一路下滑，因此未来高整合度mems在价格上的竞争力并不会输给传统单颗的设计，且可减少印刷电路板的占用空间，

来源：工控网(百站)2013-08-19

微型化是建立在微电子机械系统(mems)技术基础上的，已成功应用在硅器件上做成硅压力传感器。