来源：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司副总裁 李本成2011-06-15

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：中国科学院上海微系统与信息技术研究所新能源技术中心 孟凡英2011-06-15

目前硅基薄膜太阳能电池，无论单结、双结还是三结电池，制造工艺都是采用等离子体增强的化学气相沉积(pecvd)方法，真空腔的清洗基本是氟化物(sf6或nf3)，排出物是含氟气体。

来源：搜狐IT2011-06-15

hcpv芯片的生产过程如下，首先利用mocvd技术在4英寸锗衬底上外延砷化镓和铟镓磷形成３结电池片的材料，然后在外延片上利用光刻、pecvd、蒸镀等技术，制备减反膜以及主要成份为银的金属电极，再经划片清洗等工艺

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机、管式pecvd

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

扩散炉和pecvd，目前大量应用的国产设备都是管式的，由于可以满足生产工艺的要求，设备性价比也高，所以这些设备的市场认可度也高。...融合了更先进工艺技术的新一代管式扩散炉、高产能管式pecvd、全自动高精度太阳能电池片测试分选设备的推出，将使相关国产太阳能设备的市场份额进一步扩大，电池片生产线的成本优势再一次得到加强。

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

hcpv芯片的生产过程如下，首先利用mocvd技术在4英寸锗衬底上外延砷化镓和铟镓磷形成3结电池片的材料，然后在外延片上利用光刻、pecvd、蒸镀等技术，制备减反膜以及主要成份为银的金属电极，再经划片清洗等工艺

来源：证券市场周刊2011-06-13

上述销售合同包含了420台pecvd设备及90台物理气相沉积炉设备(太阳能光伏组件生产系统新组装完备设备、工具及机械的核心设备)。

来源：龙虎网-南京日报2011-06-07

“我们在半年内成功研制了太阳能电池生产的核心设备：扩散炉及管式pecvd，创造了设备行业的研发速度记录，为华伯公司带来了1.6亿元订单。”华伯公司负责人说。

来源：《光能》2011-04-25

在继组件搬运、电池、硅片上料的机器人面向市场后，有着“全能冠军”之称的机器人irb1600，被应用到了pecvd石墨舟取片/插片系统。irb采用内部走线，减少了线缆磨损，免于维护。

来源：《光能》2011-04-23

在继组件搬运、电池、硅片上料的机器人面向市场后，有着“全能冠军”之称的机器人irb1600，被应用到了pecvd石墨舟取片/插片系统。 irb采用内部走线，减少了线缆磨损，免于维护。

来源：中国电子报2011-04-21

通过技术升级，扩散炉、pecvd设备、清洗机、高温烧结炉等关键工艺装备的各项技术性能指标均达到国内领先、国际一流的水平。 第三，大生产有能力加快装备的研发进度。...接下来，我们即将批量生产自动上下料扩散炉、自动上下料4管pecvd、自动上下料丝网印刷机与烧结炉、自动上下料分选仪等。 第二，我们建立了光伏装备总装流水线。

来源：ABB2011-03-24

本次重点展出的abb机器人自动工作站－管式pecvd石墨舟取片/插片系统的取片及插片速度最高可达3000次/每小时，被广泛应用于太阳能管式pecvd工艺流程石墨舟的取片/插片，适用于125/156寸、单晶

来源：国际新能源网2011-03-18

2010 年7 月13 日，天威薄膜决定对一期项目进行升级改造，包括：新购瑞士欧瑞康4台化学气相沉积设备(pecvd)，同时另购臵4台(进口)尾气处理设备。

来源：新华网2011-03-11

今年1月，由正泰集团自主研发的中国首台具国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)成功下线，打破了同类设备一直被国外厂商垄断的局面。

来源：互联网2011-03-04

kai设备是一个全自动化的pecvd(等离子体增强化学气相沉积)系统，作为行业内1.4 m2太阳能组件大规模生产的核心设备。

来源：宏源证券2011-03-03

solarfrontier近日开始量产,作为世界上最大的cigs薄膜电池项目,将大幅提升该技术的市场份额;而正泰集团投资的张江理想能源1月下线了国内首台薄膜电池关键生产设备——pecvd,预计年内可以实现薄膜电池生产设备的全套国产化

来源：索比太阳能2011-03-01

在这种坚守之下，今年1月，首台“中国造”代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)在正泰下属企业成功下线，打破了高端薄膜太阳能电池设备一直被国外厂商垄断的局面

来源：西门子工业自动化与驱动技术集团2011-02-25

太阳能生产线设备解决方案主要包括pecvd控制方案、层压机控制方案、湿台清洗设备控制方案、单晶硅/多晶硅炉控制方案。目前全球最大的太阳能市场是欧洲。

来源：索比太阳能2011-02-21

在本次展览中，abb机器人自动工作站——管式pecvd石墨舟取片/插片系统将隆重登场。...该工作站配备有abb“全能冠军”之称的机器人irb 1600，每小时最高可达3000次的取片及插片，被广泛应用于太阳能管式pecvd工艺流程石墨舟的取片/插片，适用于125/156寸、单晶/多晶太阳能硅片

来源：国家电网报2011-02-17

关键的生产设备pecvd完全被国外企业垄断。目前，生产设备制造成本占薄膜太阳能电池发电成本的七成左右，这导致光伏上网价格比传统电价高出一大截，其产业化瓶颈十分突出。...“中国造”的pecvd性能领先于国外同类产品，价格大幅低于后者，国内薄膜太阳能电池产业化进程有望提速。 薄膜太阳能电池产业化有望加速 创造这一突破的是上海理想能源设备公司。