2004-08-30

这14种设备包括电子束曝光机、分步重复投影曝光机、m-rie金属刻蚀设备、rie介质刻蚀设备、imd-cvd设备、lpcvd、大束流离子注入机、磁控溅射系统、氧化扩散系统、ecr-cvd、硅片匀胶显影处理系统

2004-02-12

当时新上任的布什政府冻结了克林顿时代末期批准的出口牌照，致使中芯国际集成电路制造上海有限公司向美国定购的两个电子束系统不能运往中国。

2003-05-06

研究者从1.4纳米宽的纳米管的一端发射了一股电子束，并同时从正极空位发射另一股电子束。当两股电子束在管中相遇之后就相互碰撞而产生出红外线光束。而这种光束的波长正好与目前光纤网络所使用的光脉冲相一致。