来源：OFWeek电子工程网2014-03-27

掌握mems核心技术：公司在三年多前开始进行mems传感器技术和产品的研发，目前掌握了mems的核心技术和工艺环节。...公司的mems传感器研发得到了国家科技重大专项的支持，中国大陆已经成为个人消费电子类产品的重要生产基地，大陆移动终端制造商在全球市场的份额不断上升。

来源：全景网2014-03-20

2014年，公司在核电方面将突破mems为核心的智能流体控制系统在重点领域的验证，形成核电暖通三代技术的核心系统集成能力，加强对设备成套、系统集成和系统解决方案的研发突破。

来源：中国工业新闻网2014-02-28

又如超常态制造，它包括巨系统制造极大尺度、超重件和设备;微纳制造微米和纳米量级的零件和系统制造，mems;超常环境制造极高(低)温、极高压、强能场、强能束;超精密精度优于亚微米级、粗超度优于几十纳米的超精密加工

来源：中国电子报 作者：莫大康2014-02-13

最近的tsensors峰会上也指出，无论半导体\mems或是sensor出现爆炸性的增长只会发生在一个足够低的价格点上。

来源：慧聪塑料网2014-02-07

其中包括基于mems技术的传感器、环境监测设备用气体传感器、流量传感器、湿度传感器等。此外，发布的《物联网十二五规划》中，在重点工程内容中也提到发展微型和智能传感器、无线传感器网络等。

来源：日经BP2014-01-21

此次，在电力统一采购服务和mems的基础上，大京又开始在lions品牌公寓中提供太阳能发电全量售电服务。...并且，该公司又从2013年6月起，在提供电力统一采购服务的新建lions品牌公寓中，标准采用管理公寓内能源利用的公寓能源管理系统（mems），并标配智能电表。

来源：工控中国2014-01-15

跟很多其他微型电子机械系统设备(mems)不同的是，这种基于镍合金的微型风车采用空气动力学设计，极其耐用。这种风车可以承受长时间的强风而不会损坏任何材料。

来源：中国电子元器件网2014-01-14

其中包括基于mems技术的传感器、环境监测设备用气体传感器、流量传感器、湿度传感器等。此外，发布的《物联网十二五规划》中，在重点工程内容中也提到发展微型和智能传感器、无线传感器网络等。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-31

公司自有产品包括半导体前段、后段、太阳能、平板显示fpd、led、mems应用中的各种湿制程设备，例如：硅片湿法清洗、蚀刻，硅芯硅棒湿法化学处理，液晶基板清洗，led基片显影脱膜等。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-27

8、济南力冠电子科技有限公司济南力冠电子科技有限公司是集开发、生产、销售为一体的专业厂家，产品广泛应用于大规模集成电路、电力电子器件、分立器件、光电子器件、mems和太阳能电池、led生产设备, 材料热处理设备

来源：中国光电网2013-12-25

xtellus采取了核心技术组合的策略，兼顾液晶和mems。基于这样的技术，oclaro推出了一系列产品。然而，dougherty表示公司的wss发展没有跟上市场需求。

来源：北极星太阳能光伏网(独家）2013-12-19

6、济南力冠电子科技有限公司济南力冠电子科技有限公司是集开发、生产、销售为一体的专业厂家，产品广泛应用于大规模集成电路、电力电子器件、分立器件、光电子器件、mems和太阳能电池、led生产设备,材料热处理设备...致力于为半导体集成ic电路分立器件、mems、太阳能电池、半导体照明led及磁性材料厂家提供先进的专用设备，工艺涵盖化合物半导体晶体生长（及提纯、合成等）、外延、薄膜淀积（氮化硅、氧化硅、多晶硅等）、氧化扩散

来源：《证券日报》2013-12-13

mems方面，士兰微、歌尔声学有望受益。

来源：前瞻网2013-12-10

在医疗领域方面，新兴微机电系统传感器(mems)发展速度较快，表现抢眼。目前，医疗及生物医疗领域已经成为mems传感器最大的潜在市场。...目前，mems在全球医疗领域的市场份额以每年超过11%的速度增长，预计2015年将超过28亿美元，2012-2015年间的年均复合增长率为12%。

来源：国泰君安证券2013-11-19

唯一的半导体资本平台)、七星电子(半导体设备)、上海新阳(半导体化学品)、长电科技(封测龙头,与中芯国际有紧密合作,直接受益于海思、展讯和锐迪科的崛起),华天科技(tsv先进封装,wlc摄像头)、苏州固鍀(封测,mems

来源：讯石光通讯咨询网2013-11-07

基于mems技术的可变光衰减器(voa)是解决dwdm光纤通信网中信道均衡问题的主要途径之一，随着光纤通信由点到点传输向动态光网络的升级，mems voa的市场需求日益增长，然而，国内的mems voa

来源：国际工业自动化网2013-11-05

mems的优势在于批量化的制造技术，成本低、便于集成、功耗低;但与此同时，mems传感器也存在体积过小目前只能采用准三维技术加工，加工精度相对较低的问题。...近年来随着物联网、智能手机、汽车电子、医疗电子等产业的快速发展，对陀螺仪、加速度传感器、mems麦克风等传感器件的需求不断增加，传感器产业rfid世界网进入快速发展阶段。传感器市场的需求方向是什么?

来源：Mouser公司2013-10-15

近年来，随着无线通信、电源效率、极度微型化(如透过 mems 传感器达到的迷你规格设计)以及嵌入式运算技术的不断演进，发展出越来越多适用于严苛工业环境的无线传感器网络(wsn)。

来源：iccsz2013-10-15

xtellus采取了核心技术组合的策略，兼顾液晶和mems。基于这样的技术，oclaro推出了一系列产品。然而，dougherty表示公司的wss发展没有跟上市场需求。

来源：物联网世界网2013-10-11

据ihs isuppli统计，2012年全球mems市场规模为84.1亿美元，预计2013年市场规模将达到90.9亿美元，同比增长8.1%，未来两年将保持两位数增长，这将支持传感器领域的发展。