来源：中国电子报2014-07-17

通过引进、消化吸收国外先进封装技术，以及多年的技术沉淀与持续研发，目前，长电科技的封测技术已经进入世界先进水平行列，拥有wlcsp、bumping、sip、flipchip、mems、mis等高端集成电路封测技术与规模生产能力

来源：中国铝业网2014-07-14

第三，以mems工艺为基础，以集成化、智能化和网络化技术为依托，加强制造工艺和新型传感器和仪表元器件的开发，使主导产品达到和接近国外同类产品的先进水平。...国内有1688家企事业从事传感器的研制、生产和应用，其中从事mems研制生产的有50多家，但规模和应用领域都较小。由于没有规模化应用，国内传感器产品普遍存在技术水平低和价格高的矛盾。

来源：中国铝业网2014-07-11

第三，以mems工艺为基础，以集成化、智能化和网络化技术为依托，加强制造工艺和新型传感器和仪表元器件的开发，使主导产品达到和接近国外同类产品的先进水平。...国内有1688家企事业从事传感器的研制、生产和应用，其中从事mems研制生产的有50多家，但规模和应用领域都较小。由于没有规模化应用，国内传感器产品普遍存在技术水平低和价格高的矛盾。

来源：中关村在线2014-07-10

icchina2014传感器/mems展区，将成为传感器产品与技术交流展示平台，展望未来发展宏伟蓝图的窗口。呈现中国mems和传感器产业现状，助推我国传感器领域未来发展。

来源：C1142014-06-30

第二，物联网将用到mems、imagery等不同的感测器，执行测量温度、侦测环境等功能，因此上述感测器相关技术，也是半导体公司要脱颖而出所必须掌握的技术。

来源：工信部网站2014-06-25

大力发展模拟及数模混合电路、微机电系统(mems)、高压电路、射频电路等特色专用工艺生产线。增强芯片制造综合能力，以工艺能力提升带动设计水平提升，以生产线建设带动关键装备和材料配套发展。

来源：维库电子市场网2014-06-09

idt 也拓展了其产品系列，包括了频率控制产品，如来自 foxelectronics的xpresso振荡器，以及正在迅速替代石英振荡器的创新的 mems 振荡器产品线。

来源：中国电力电子产业网2014-05-21

其中包括基于mems技术的传感器、环境监测设备用气体传感器、流量传感器、湿度传感器等。

来源：CCTIME飞象网2014-05-07

2.传感器类项目(5)mems多功能运动传感器研发重点支持同时具有陀螺仪和加速度计综合功能的mems传感器的研发，微陀螺仪量程在250/s，偏置误差0.5/s，微加速度传感器量程在5g，零点误差50mg

来源：OFweek智能电网2014-05-07

其中包括基于mems技术的传感器、环境监测设备用气体传感器、流量传感器、湿度传感器等。

来源：中国人民共和国工业和信息化部2014-05-06

2.传感器类项目(5)mems多功能运动传感器研发重点支持同时具有陀螺仪和加速度计综合功能的mems传感器的研发，微陀螺仪量程在250/s，偏置误差0.5/s，微加速度传感器量程在5g，零点误差50mg

来源：北极星电力网2014-04-08

微系统传感器制造项目(年产mems微系统传感器1亿个)山东深川电气科技有限公司变频器项目(年产变频器20万台)山东迈格电子科技有限公司高性能磁合金电子材料及器件项目(年产高性能磁合金材料3000吨、磁性电子器件...年产高效煤炭洗选加工成套装备150台(套))山东凯欧电机科技有限公司交流伺服电机项目(年产交流伺服电机30万台)淄博元星电子有限公司智能电量传感器生产项目(总建筑面积3万平方米)山东齐芯微系统科技有限公司mems

来源：OFWeek电子工程网2014-03-27

掌握mems核心技术：公司在三年多前开始进行mems传感器技术和产品的研发，目前掌握了mems的核心技术和工艺环节。...公司的mems传感器研发得到了国家科技重大专项的支持，中国大陆已经成为个人消费电子类产品的重要生产基地，大陆移动终端制造商在全球市场的份额不断上升。

来源：全景网2014-03-20

2014年，公司在核电方面将突破mems为核心的智能流体控制系统在重点领域的验证，形成核电暖通三代技术的核心系统集成能力，加强对设备成套、系统集成和系统解决方案的研发突破。

来源：中国工业新闻网2014-02-28

又如超常态制造，它包括巨系统制造极大尺度、超重件和设备;微纳制造微米和纳米量级的零件和系统制造，mems;超常环境制造极高(低)温、极高压、强能场、强能束;超精密精度优于亚微米级、粗超度优于几十纳米的超精密加工

来源：中国电子报 作者：莫大康2014-02-13

最近的tsensors峰会上也指出，无论半导体\mems或是sensor出现爆炸性的增长只会发生在一个足够低的价格点上。

来源：慧聪塑料网2014-02-07

其中包括基于mems技术的传感器、环境监测设备用气体传感器、流量传感器、湿度传感器等。此外，发布的《物联网十二五规划》中，在重点工程内容中也提到发展微型和智能传感器、无线传感器网络等。

来源：日经BP2014-01-21

此次，在电力统一采购服务和mems的基础上，大京又开始在lions品牌公寓中提供太阳能发电全量售电服务。...并且，该公司又从2013年6月起，在提供电力统一采购服务的新建lions品牌公寓中，标准采用管理公寓内能源利用的公寓能源管理系统（mems），并标配智能电表。

来源：工控中国2014-01-15

跟很多其他微型电子机械系统设备(mems)不同的是，这种基于镍合金的微型风车采用空气动力学设计，极其耐用。这种风车可以承受长时间的强风而不会损坏任何材料。

来源：中国电子元器件网2014-01-14

其中包括基于mems技术的传感器、环境监测设备用气体传感器、流量传感器、湿度传感器等。此外，发布的《物联网十二五规划》中，在重点工程内容中也提到发展微型和智能传感器、无线传感器网络等。