2004-09-21

测量控制仪器仪表的微型化制造技术，将主要依托于微机电系统（mems）的微米/纳米制造技术和微电子ic制造技术，将主要依托于微机电系统（mems）的微米/纳米制造技术和微电子ic制造技术，使仪器仪表产品集机械

2003-11-03

当前急需重点进行设计开发与占领的市场有(1)嵌入式微处理器和数字信号处理器(dsp) (2)信息安全和ic卡芯片(3)移动通信芯片组(4)数字音／视频产品专用集成电路(5)与网络紧密相关的集成电路(6) mems(微机电系统