2006-09-07

微型化 　　仪器仪表产品微型化主要归结于超大规模集成（vlsi）新器件、微机电系统（mems）、圆片规模集成（wsi）和多芯片模块（mcm）等；采用微控技术、微加工技术、微检测技术、微光源、微分光光学系统

2006-04-27

ic insights并且估计大约80%的传感器/制动器采用微机电系统(mems)技术来执行转换(transducer)的功能。

2005-01-28

集成电路专用设备制造技术的进一步发展将对制造微纳电子器件、微纳光机电系统等极小尺寸和极高精度的产品，发展纳电子学和微制造有极其重要的基础意义，并将进而影响整个工业制造业的发展。 　　

2004-09-21

测量控制仪器仪表的微型化制造技术，将主要依托于微机电系统（mems）的微米/纳米制造技术和微电子ic制造技术，将主要依托于微机电系统（mems）的微米/纳米制造技术和微电子ic制造技术，使仪器仪表产品集机械

2003-11-03

当前急需重点进行设计开发与占领的市场有(1)嵌入式微处理器和数字信号处理器(dsp) (2)信息安全和ic卡芯片(3)移动通信芯片组(4)数字音／视频产品专用集成电路(5)与网络紧密相关的集成电路(6) mems(微机电系统