来源：《光伏信息报》2011-11-14

其产品从宏观上涵盖了原生多晶硅料生产设备、硅片加工设备、晶体硅电池生产设备等，具体包括全自动硅芯/硅棒清洗设备、全自动硅料清洗设备、全自动硅片清洗设备、全自动单晶制绒酸洗综合设备、多晶链式制绒设备、湿法刻蚀设备、等离子体刻蚀机、pecvd

来源：PV-Tech2011-11-10

莱宝光电表示系统和等离子体增强化学气相沉积(pecvd)共同运作使工具有相同的可扩展过程室布局，此外还提供薄膜电池和三结电池连接处的串联电池以及个体层。

来源：PV-Tech2011-11-07

这个工具的关键是pecvd光电直读光谱仪。光电直读光谱仪能够更好的控制薄膜的组织和高速处理的沉积物密度。该工具的理念是基于静态内联生产结合内基底板传导以及静态过程的优点。...德国制造商singulustechnologies收获了一份singularpecvd工具订单，这是新加坡太阳能研究所(solarenergyresearchinstituteofsingapore，seris

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-03

这次新闻发布会所展示的solarcell整厂整线生产设备，包括wis（外延片检查机）、texture（蚀刻机）、diffusion（磷扩散炉）、inoxside（化学晶边绝缘机）、pecvd（电浆辅助化学相沉积炉...）、printer（网印机）、fastfiringfurnance（fff，快速烧结炉）、ivtester&sorter（iv检测及分类机），以及texture至pecvd各主机衍接loader及unloader

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-01

的电池片检测中心，配套其pecvd的技术研发和测试。...为光伏制造大国，但在电池片生产核心设备如pecvd，烧结炉等关键设备依然未能很好实现国产化，也一直制约着我国电池片的生产成本。

来源：北极星太阳能光伏网2011-10-28

在高温下形成表面磷掺杂ｎ型，从而得到太阳能电池的关键部分ｐｎ结；目前采用ｐｏｃｌ3作为磷源，在卧式炉管中扩散；边缘ｐｎ结刻蚀：去除硅片边缘的ｐｎ结，保证电池正负极间绝缘；ｓｉｎ镀膜：在硅片表面生长一层氮化硅薄膜（ｐｅｃｖｄｓｉｎｘ

来源：PV-Tech2011-10-26

电池生产系统包括硅片检测机、蚀刻机、磷扩散炉、电浆辅助化学气相沉积设备、双次丝网印刷设备、快速烧结炉、iv检测及分类机，以及texture至pecvd各主机衔接的装载、卸载设备。

来源：Solarbe2011-10-25

此次广运展示的光伏电池生产设备，包含硅片检查机、蚀刻机、磷扩散炉、化学晶边纪缘机、电浆辅助化学相沈积炉、网印机、快速烧结炉、iv检测及分类机以及texture至pecvd各主机衍接loader及unloader

来源：北极星太阳能光伏网2011-10-24

日前获悉，中国保绿光伏的生产线率先采用了先进的pecvd技术，该技术在产品收益率为90%的情况下可以将薄膜太阳能电池的转换效率提高到8%。

来源：北极星电力网2011-10-20

当前要重点加强太阳能级硅材料提纯，加强高效太阳电池、光伏系统以及多晶硅浇铸炉、线切割机、等离子体增强化学气相沉积设备(pecvd)等关键设备的研制，提高晶硅原材料的自给率。

来源：Solarbe2011-10-13

该集团的光伏研究院的技术创新及成果包括：业内首创多晶槽式制绒、高方阻扩散、高均匀管式pecvd、高精度se工艺电极对位印刷以及双排烧结炉。还有更多企业的精彩发言，在此就不一一列出。

来源：中国能源报2011-10-12

如从pecvd到pvd这些设备，从设计到制造都已经实现国产化，在北京就可以制造非晶锗硅电池的核心设备pecvd、pvd，而且从图纸到设计制造都是由汉能控股的上市公司持有其产权。

来源：《瞭望》新闻周刊2011-10-09

在汉能控股四川双流一期300兆瓦薄膜太阳能电池研发制造基地，本刊记者9月22日换上工装走进全球单厂产能最大的单体厂房一个月前，国家副主席习近平在这里考察了汉能研发、拥有自主知识产权、居世界先进水平的pecvd

来源：志趣网2011-09-29

先后对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进，取得了重大技术突破，扩散炉、pecvd

2011-09-28

目前，强生光电公司自行研发和制造pecvd等核心设备，生产成本仅为进口的20%；非晶硅薄膜电池产能、转换率、销售量均居中国非晶硅薄膜电池工厂前列，已在欧洲等地建有20多处光伏电站。

来源：新华日报2011-09-27

据介绍，目前，强生光电公司自行研发和制造pecvd等核心设备，生产线成本仅为进口的20%；非晶薄膜电池产能、转换率、销售量均居中国非晶薄膜电池工厂前列，是国内乃至全世界薄膜电池组件成本最低并能取得盈利的工厂之一

来源：沈阳众拓公司2011-09-26

沈阳众拓机器人设备有限公司开发的ztr-elzu-hdk快速移栽机器人主要用于对太阳能硅片及电池片上下料的应用，是目前世界上速度最快的四轴机器人之一，每小时高达4000片的拾取速度和高达2公斤的有效负载，被广泛应用于pecvd

来源：价值中国网2011-09-20

在电池制造环节,国产设备在数量上已占据多数,但核心工艺装备如多晶硅制绒清洗机、平板式pecvd(等离子化学气相沉积)、全自动丝网印刷机及快速烧结炉基本上依赖进口。

来源：solarzoom2011-09-16

（4）日本sharp的c一si／c-si异质pp+结高效电池sharp公司能源转换实验室的高效电池，前面采用绒面织构化，在sio2钝化层上沉积sin为a只乙后面用rf-pecvd掺硼的c一si薄膜作为背场

来源：易恩孚2011-09-16

薄膜太阳能电池量产与优化eva与pvb膜封装太阳能电池技术薄膜组件在建筑中的应用薄膜生产设备的国产化前景3)电池设备与生产自动化专场新一代缺陷检测技术先进制造执行系统解决方案太阳能全产业链解决方案最新pecvd