来源：世纪电源网2011-06-30

这高集成度器件经过了优化，适用于任何要求精确、高可靠性位置控制的机电系统，如用于建筑物自动化的档板(damper)控制系统、酒店房间的遥控、移动基站的远程调节、汽车前照灯位置调节系统和监视系统(左右-上下

来源：慧聪电子网2011-06-30

据ihsisuppli公司的研究，2010年无晶圆制造半导体公司扩大了在全球微机电系统(mems)市场的份额，去年占总体mems营业收入的近四分之一。

来源：仪器仪表交易网2011-06-29

飞思卡尔xtrinsicmpl3115a2压力传感器基于微机电系统(mems)技术，补充了xtrinsic产品组合中的加速计和磁力计，可以满足智能移动设备中对这类组件的日益增长的需求。

来源：中国自动化网2011-06-29

横跨多重电子应用领域、全球领先的半导体供应商及全球第一大消费电子和便携应用mems（微机电系统）传感器供应商意法半导体（stmicroelectronics，简称st；纽约证券交易所代码：stm）推出能够检测五个自由度的多传感器模块

来源：电气自动化技术网2011-05-18

重点抓好微机电系统和机器人技术、核心单元技术和传感器技术，特别是数控机床技术。”

来源：科士达2011-03-16

随着高速公路建设迅猛发展，高速公路的供配电现状与高速公路机电系统对电源质量的高要求的矛盾,使得ups成为保证高速公路机电系统稳定运行的关键性设备，ups被大量地应用到高速公路的机电系统中，保证高速公路的正常运营发挥了重要的作用

来源：上海仪器仪表协会2011-03-14

重点抓好微机电系统和机器人技术、核心单元技术和传感器技术控制工程网版权所有，特别是数控机床技术。”

来源：中国化工仪器网2010-12-28

flashdsc的心脏是基于mems(micro-electro-mechanicalsystems微机电系统)技术的芯片传感器，可以实现超快速的升温和降温实验。

2010-10-26

近日披露重组方案，中航工业旗下航空机电系统36.38亿优质资产悉数入驻。连续两个交易日涨停，目前买入盘仍然强烈。厦门坞业(600549）：公司是国内最大的钨钼产品生产与出口企业。

2010-07-13

此外，像mems（micro-electro-mechanical systems，微机电系统）等新技术的广泛应用，在提高产品性能的同时，也会带动传感器产品价格的下降。

来源：国际新能源网2010-06-12

这种太阳能电池采用晶体硅制成，在制造中加入了当今电子器件厂广泛使用的微机电系统（mems）。　　　　在同等条件下能产生同样多的电能，新型电池所需硅只有普通太阳能电池的1%。

来源：国家电网报2009-12-11

一是现场建筑施工顺利推进，企业馆机电系统施工交叉有序推进，水电、暖通、消防等安装工程全面展开，企业馆外立面景观照明即将进入建筑灯光系统招标阶段，展区配电系统设计评审基本完成。

来源：互联网2009-10-13

密苏里大学研究团队称他们研制小型核电池的目的是，为微型机电系统或者纳米级机电系统找到合适的能量来源。如何为微型或纳米级机电系统找到足够小的能量来源装置，同微型装置一样是一个热门研究领域。 　　

来源：中国电子元件行业协会2009-09-28

一批基于mems(微机电系统)技术的新型传感器正在进入市场。传感器设计技术、材料控制技术、生产技术、可靠性技术和测试技术不断发展成熟，量产能力逐步提高。

来源：互联网2009-09-27

值得特别关注是mems/nems(微电机系统/纳机电系统)测试仪器,以扫描隧道显微镜和原子力显微镜为代表的扫描探针显微镜,以及基于stm/afm的基本原理新发展起来一系列spm,如磁力显微镜、静电力显微镜等这些仪器的新发展

2006-11-20

在重要传感器件方面，自主开发了mems（微机电系统）振动传感器、mems声响传感器、mems红外传感器、光纤传感器、声阵列传感器，形成了以mems传感器为主、复合多信息探测的小型化传感器系列。

2006-11-09

来自日本奈良先端科学技术大学院大学、清华大学、上海交大、西安交大等高校的教授也分别从多传感器融合技术、知识与信息处理技术、mems(微机电系统)、视觉传感技术及光电波传感技术、多传感器网络在汽车安全中的应用等角度介绍了他们的最新研究成果

2006-09-07

微型化 　　仪器仪表产品微型化主要归结于超大规模集成（vlsi）新器件、微机电系统（mems）、圆片规模集成（wsi）和多芯片模块（mcm）等；采用微控技术、微加工技术、微检测技术、微光源、微分光光学系统

2006-04-27

ic insights并且估计大约80%的传感器/制动器采用微机电系统(mems)技术来执行转换(transducer)的功能。

2005-01-28

集成电路专用设备制造技术的进一步发展将对制造微纳电子器件、微纳光机电系统等极小尺寸和极高精度的产品，发展纳电子学和微制造有极其重要的基础意义，并将进而影响整个工业制造业的发展。