来源：光伏制造2012-04-09

目前，在中国微波法pecvd系统占据市场的主流，而管式pecvd系统也占据不少份额，而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法pecvd系统还没有进入中国市场。

来源：仪表网2012-03-27

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-19

si500d等离子沉积系统是icp-pecvd设备，用于在基片上沉积 siox, sioxny或 siny薄膜。沉积薄膜的厚度、折射率、应力可以简单的、连续的调节。...sentech icp-pecvd设备的安装，由德国原厂技术支持工程师和东方集成工程师共同完成，由sentech和东方集成共同承担售后保修，具有标志性的历史意义。

来源：九江新闻网2012-03-15

超日公司于2010年在深交所上市，超日电池片生产工艺以及太阳能电池组件上已取得了多项技术突破，尤其是清洗工艺中的表面织构化技术、扩散工艺中的均匀发射极制备技术、等离子体边缘刻蚀最优化技术处于国内领先水平;pecvd

来源：solarzoom2012-03-14

中科院半导体所许颖等也用rf-pecvd在p型衬底上制备出了n型nc-si发射极。除pecvd法以外，中科院研究生院的张群芳等还用hwcvd法制备c-si发射极。...(2)非晶硅层的制备方法hit电池的非晶硅层通常用等离子增强化学气相沉积(pecvd)技术进行制备。

来源：中华电源网2012-03-09

工艺方法可用真空镀膜法、离子镀膜法，溅射法、印刷法、pecvd法或喷涂法等。(9)烧结：将电池芯片烧结于镍或铜的底板上。(10)测试分档：按规定参数规范，测试分类。

来源：百度百科2012-02-28

七星集团主要产品包括：半导体工艺制造设备(微扩散系统、干法刻蚀系统、pecvd、质量流量控制器)、太阳能电池设备、tft-lcd设备、电真空设备、单晶炉、二次电池设备;各类高可靠、高稳定、高精密电阻器、

来源：北极星太阳能光伏网2012-02-27

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（pecvd）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能光伏电池片生产线设备和pecvd等薄膜太阳能光伏电池生产设备

来源：中商情报网2012-02-24

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积(pecvd)、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和pecvd等薄膜光伏电池生产设备。

来源：工信部网站2012-02-24

重点发展等离子体增强化学气相沉积(pecvd)、激光切割、刻蚀、丝网印刷以及封装检测等设备，鼓励开发晶硅和薄膜太阳能电池成套设备生产线。...全面提升装备技术水平，突破平板式pecvd、全自动丝网印刷机、高效切割机等设备瓶颈。支持控制器、逆变器等配套部件和石墨、坩锅、电子浆料、tco玻璃等配套材料的研发及产业化。

来源：中国电子报2012-02-24

此外,全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式pecvd则完全依赖进口。组件生产用的层压机、太阳能模拟器等在行业获得广泛应用。...等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式pecvd

来源：北极星太阳能光伏网2012-02-24

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（pecvd）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和pecvd等薄膜太阳能电池生产设备。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-02-22

芦忠新：其实影响产品性能的，不只是pecvd，当然跟pvcpd设备肯定是有直接的关系。我个人认为目前薄膜电池最主要的是在理论上的突破。目前薄膜电池的发电率也在不断地攀升。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-02-20

目前市场上主流的pecvd设备技术按照反应器结构和等离子体发生源的不同，分为直接式pecvd和间接式pecvd。...管式pecvd基本国产，平板式pecvd国内已研发出来，已面市pecvd设备，通过沉积氮化硅膜来实现太阳能电池减反射以及钝化的效果。利用高频电源辉光放电产生等离子体进行化学气相沉积的过程。

来源：互联网2012-02-13

多晶电池制造工艺相对单晶来说较难控制，尤其是pecvd过程的成膜及优越的钝化效果，是hit技术的核心工艺段。

来源：PV-Tech2012-01-17

48所作为唯一跻身光伏装备制造业全球十强的中国企业，在光伏装备领域具有雄厚的综合实力，在光伏装备研发方面突破了高温烧结、pecvd压力控制系统、丝网印刷机压力自适应系统等8项关键技术，取得重大科技成果6

来源：中电新闻网2012-01-12

中国造的ｐｅｃｖｄ性能领先于国外同类产品，价格大幅低于后者，国内薄膜太阳能电池产业化进程有望提速。...一片１．１米１．４米的普通平板玻璃完成导电层覆膜后，进入ｐｅｃｖｄ反应腔，完成化学气象材料叠层结构的覆膜，即成为转化率１０％的薄膜太阳能电池。

来源：北极星太阳能光伏网2012-01-11

薄膜光伏电池中最具发展潜力的是非晶硅薄膜光伏电池，非晶硅材料是由气相淀积形成的，目前已被普遍采用的方法是等离子增强型化学气相淀积(pecvd)法。

来源：北极星太阳能光伏网2011-12-15

据董秘徐加力表示："七星电子光伏设备源于公司核心的半导体集成电路设备工艺技术，产品的技术水平和工艺稳定性方面具有很强的竞争力，并且产品并不局限于单晶炉等长晶设备，而是以扩散炉、pecvd、清洗机等工艺设备为主

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-21

pecvd等薄膜电池生产设备的研制、生产，将光伏生产设备成本降低30%。...在未来3-5年内，进一步支持大尺寸、全自动单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、多线切割机，硅片自动分选机等太阳能硅片关键生产设备的国产化，支持多槽制绒清洗设备，全自动平板式pecvd，激光刻蚀机，全自动印刷机等晶硅电池生产线设备和