来源：网络2012-07-26

值得特别关注是mems/nems(微电机系统/纳机电系统)测试仪器,以扫描隧道显微镜和原子力显微镜为代表的扫描探针显微镜,以及基于stm/afm的基本原理新发展起来一系列spm,如磁力显微镜、静电力显微镜等这些仪器的新发展

来源：中国政府网2012-07-23

●产业化：实施集成电路、新型平板显示创新发展工程；推进led、微机电系统（mems）、智能传感器、新型电力电子器件以及金属有机源化学气相沉积（mocvd）装备等产业化。

来源：中电新闻网2012-06-08

目前，我国无线射频识别rfid产业市场规模超过100亿元，传感器生产和应用市场规模超过900亿元，仅微机电系统mems传感器市场规模就超过150亿元;通信设备制造业建成全球最大、技术先进的公共通信网和互联网

来源：中国能源报2012-04-05

在一个平台、一个数据架构、一个模型理念的指导下，中国水电顾问华东院在水电工程地质三维信息系统、枢纽布置三维可视化设计、水电站厂房和机电系统三维可视化协同设计等三项中国水电工程集团公司课题研究的基础上，成功构建了覆盖水电水利工程设计全过程

来源：中国高新技术产业导报2012-03-22

8.特种工艺与精密制造技术多维精密加工工艺，精密成型工艺，焊接、粘接、烧结等特殊连接工艺，微机电系统(mems)技术，精确可控热处理技术，精密锻造技术等。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-20

所有研发工作同步进行，专案合作方将寻求最佳化太阳能发电系统电力利用率的方法，以半导体矽电池面板的功率管理元件和集中式太阳能电池的微机电系统为研发重点。

来源：新华网2012-03-07

所有研发工作同步进行，项目合作方将寻求优化光伏系统电能利用率的方法，以半导体电池光伏板的功率管理器件和集中式太阳能电池的微机电系统为研发重点。

来源：电子产品世界2012-03-02

所有研发工作同步进行，项目合作方将寻求优化光伏系统电能利用率的方法，以半导体电池光伏板的功率管理器件和集中式太阳能电池的微机电系统为研发重点。

来源：中国证券网2012-02-15

全国有1600多家企事业单位从事传感器的研制、生产和应用，年产量达24亿只，市场规模超过900亿元，其中， 微机电系统(mems)传感器市场规模超过150亿元;通信设备制造业具有较强的国际竞争力。

来源：工业和信息化部2012-02-14

全国有1600多家企事业单位从事传感器的研制、生产和应用，年产量达24亿只，市场规模超过900亿元，其中, 微机电系统(mems)传感器市场规模超过150亿元;通信设备制造业具有较强的国际竞争力。

来源：C114中国通信网2012-02-09

比它更小的，在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统。...1.微机电系统(mems)微机电系统(microelectromechanical systems，缩写为mems)是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内。

来源：南报网2012-02-07

重点以航空轻型动力、航空机电系统为主。...借十二五国家大力发展民用飞机的商机，重点发展与大飞机配套的航空机电设备(环控系统、燃油系统、液压系统为主);以小、微型发动机和无人机为核心的航空轻型动力设备;以雷达和空域管制自动化系统等为主的航电设备;以及以中航工业机电系统公司为核心的研发中心

来源：互联网2011-11-30

广东省经信委、工信部电子工业标准化研究所、中科院微电子所、机械工业仪表所、浙江聚光科技有限公司、河南汉威电子股份有限公司等代表分别就区域物联网产业发展经验、国内外物联网标准化工作进展情况、微机电系统公共技术平台建设

来源：中国传动网2011-10-24

重点发展千万吨炼油百万吨乙烯或芳烃等重大工程自动化仪器仪表、先进传感器、射频识别系统(rfid)、互感器、避雷器、现场控制系统等精密仪器仪表，智能流量计、智能变送器、执行器、调节阀、分析仪器等智能仪表，以及工业综合型分散控制系统(dcs)、微机电系统

来源：北极星电力信息化网2011-10-10

李维平说，目前公司与国内的北大、南大、东大以及知名科研院所都建立了合作关系，拥有南京市mems(微机电系统)传感工程研究中心，是国内少有的掌握全部关键工艺技术的厂家。

来源：全球电池网2011-10-08

这种太阳能电池采用晶体硅制成，在制造中加入了当今电子器件厂广泛使用的微机电系统（mems）。在同等条件下能产生同样多的电能，新型电池所需硅只有普通太阳能电池的1%。

来源：国际能源网2011-09-29

风力发电机是多系统集成的复杂机电系统，对机械、电气安全要求较高，生产周期长。2010年，该公司与巴基斯坦某公司签订了33台1.5兆瓦风力发电机的出口合同，并定于2011年下半年分批交货。...风力发电机是多系统集成的复杂机电系统，对机械、电气安全要求较高，生产周期长。2010年，该公司与巴基斯坦某公司签订了33台1.5兆瓦风力发电机的出口合同，并定于2011年下半年分批交货。

来源：北极星电力软件网2011-09-20

随着微机电系统(micro-electro-mechanismsystem,mems)、片上系统(soc，systemonchip)、无线通信和低功耗嵌入式技术的飞速发展,孕育出无线传感器网络(wirelesssensornetworks

来源：中华工控网2011-07-27

baolab公司制造的芯片是在一个传统的硅芯片上蚀刻出一个纳米级的微机电系统(mems)。在这个纳米级微机电系统设备中有一个由弹性元件悬吊着的铝片。

来源：科士达2011-07-19

作为中国大陆本土ups行业旗舰品牌厂商以及交通行业市场占有率最高的品牌之一，科士达基于包括全系列ups、蓄电池、精密配电柜、一体化柜式机房在内，适合高速公路机电系统各子系统应用的高可靠、高性能电源产品群组