来源：北极星电力网2015-07-24

支持微机电(mems)、汽车电子、soi cmos、高压功率器件等8 英寸特色专用工艺生产线建设，带动关键装备和材料配套发展。支持gaas、gan、sic 等第三代半导体制造工艺研发及产业化。

来源：电子发烧友2015-07-20

传感器网络是物联网的重要组成部分，mcu作为系统控制的核心器件需要采集加速度计、陀螺仪、磁力计、温湿度计等传感器的数据并进行分析处理，传感器使用的mems工艺和mcu制程有差异，两者的soc整合在半导体技术上存在一定的挑战

来源：电子发烧友2015-07-09

图 6 显示了 dsc1001 mems 和石英晶体振荡器之间的输出频率温度稳定度对比。...摄像机时钟定时是由麦瑞 dsc1001($0.7020) mems 25mhz 振荡器提供。

来源：平安证券2015-07-07

mems 封装领域有看点:随着半导体制造技术的収展,mems 传感器芯片已经不再是制约mems 传感器产业収展的因素了,真正制约整个行业収展的恰好是mems 传感器封装工艺,这主要是因为传感器种类的多样性

来源：Digitimes2015-07-07

随着物联网概念兴起，传感器在物联网社会中将扮演重要的角色，日本开始扩大mems传感器的研发，加大传感器的应用。...日本电子零组件厂从家电转移到手机与汽车零组件后，积极投入微机电(mems)传感器研发，推出各种超小型与高精度的传感器，扩大传感器的应用;随物联网概念兴起，传感器在物联网社会中将扮演更重要的角色。

来源：电工技术学报2015-07-07

国内在mems研发方面也已形成较为完整的体系，进入产业化应用阶段。微纳器件具有体积小、重量轻、集成度高、可靠性高等优点，为智能电器领域探索新型感测原理、开发新功能和制造新型传感器件提供了有力支撑。

来源：工控中国2015-06-30

传感器体积越来越小，功能越来越强大归功于当前计算机技术、辅助设计技术和集成电路技术、微机电系统(mems)技术的快速发展。(2)智能化。

来源：EEWORLD2015-06-29

没有mems，没有传感器semicon研究机构首席分析师tony massimini强调，与其他物联网竞争对手相比，atmel没有mems也没有传感器。但massimini强调这并不一定是缺点。

来源：中国铝业网2015-06-29

据gartner研究显示，到2015年，全球联网设备将有49亿件，比2014年增加30%;icinsights则预计mems传感器市场也将进一步成长16%。

来源：高工锂电网2015-06-25

相对而言，微型超级电容器的成本要求并没有普通电容器那么严格，以石墨烯复合材料作为电化学活性材料，并选择合适的离子液体电解液，有可能实现制备兼具传统电容器和锂离子电池双重优势的储能器件，在微机电系统(mems

来源：平板产业联盟2015-06-25

10. letileti是一个致力于小型化技术应用的研究实验室，他们于1980年代开始发展mems。...8. bosch该公司至今已经出售了超过40亿个mems传感器。bosch的传感器应用包括：3轴式加速(3-axisacceleration)、陀螺仪和地磁传感器。

来源：中国测控网2015-06-25

物联网的大力推进和智能终端的广泛应用，使传感器产品的需求大幅增加，并且重心逐渐转向技术含量较高的mems传感器领域。...我国物联网及传感器产业的发展势头强劲，自主mems传感器产品的研发及产业化不断取得突破。整体而言，我国物联网及传感器产业集聚发展效应凸显，众多产业发展平台初步形成。

来源：eeworld2015-06-24

意法半导体还拥有基于mems麦克风和低功耗蓝牙(ble, bluetooth low energy)技术的语音识别功能。...其他相关解决方案包括：能使开关电源更高效的数字电源解决方案，整合了微控制器和电机驱动的高精度电机控制方案，以及采用mems麦克风的噪声抑制解决方案。延伸阅读：半导体业内掀并购热浪 行业巨头发力物联网

来源：21世纪网2015-06-24

在6月15日振芯科技发布互联网+卫星导航利好之后，安信证券分析师张龙发布研报认为，公司确立了1+n的产品战略，1是指北斗核心能力，n则包括了卫星通信与网络、遥感与地理信息、mems与微电子、光电传感器网络等创新业务

来源：EEFOCUS2015-06-19

mems方面，中芯国际更侧重iot传感器的开发，mems振荡器早于2013年投入量产，麦克风和加速器在今年火热试产中，中芯国际还为敏芯(memsensing)三轴加速度传感器msa330提供tsv封装的解决方案

来源：电子信息产业网2015-06-19

物联网的大力推进和智能终端的广泛应用，使传感器产品的需求大幅增加，并且重心逐渐转向技术含量较高的mems传感器领域。...我国物联网及传感器产业的发展势头强劲，自主mems传感器产品的研发及产业化不断取得突破。整体而言，我国物联网及传感器产业集聚发展效应凸显，众多产业发展平台初步形成。

来源：仪器信息网2015-06-18

在该应用中，我们展示了不少滨松近年的新产品，包括量子级联激光器、手掌大的mems-ftir和指尖大小的mems-fpi等。

来源：中国广播网2015-06-11

事实上，汽车电子已经占2014年博世mems传感器销售额的三分之二。目前很多实现自动驾驶功能的车辆上，都有应用博世的传感器产品，例如雷达传感器、视频传感器、超声波传感器等。

来源：中国证劵网2015-06-11

公司2014年将继续推进焦平面探测器的批量化生产，这一项目已经顺利通过湖北科技厅鉴定，公司的焦平面探测器生产线属于国内首条8英寸mems生产线，技术水平突出。

来源：买卖机械网2015-06-09

万欧元(折合1.02亿美金)，在全球mems供应商中排名第21位。...vti公司是一家有着20年悠久历史的老牌mems器件制造商，在mems传感器领域内拥有成熟的产品开发和生产制造经验，根据yoledeveloppment今年4月公布的数据，2010年vti销售额达到了75.8