来源：e公司2019-03-12

隆基股份表示，从技术上看，目前公司产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，事涉专利采用的是ald技术，而公司采用的是pecvd技术；另据媒体信息初步分析，韩华诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2019-03-08

目前，晶科能源和隆基股份都采用pecvd来做氧化铝钝化薄膜。某一线光伏企业高管表示，按照韩华新能源的起诉逻辑，pecvd属于ald的一种。“但实际在市场上，ald和pecvd是完全分开的概念。”

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2019-03-07

从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术。

来源：隆基股份2019-03-06

从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致（专利采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术）。仅根据现有媒体信息分析显示，目前相关诉讼对隆基的生产、经营不会造成实质性影响。

来源：电子世界2019-02-26

（2）先采用pecvd或lpcvd法沉积本征多晶硅薄膜，然后再采用离子注入、扩散等工艺进行掺杂，各种掺杂方法在工艺效果上相差不大。...用于perc电池工业化生产，采用pecvd方式占比较高。

来源：晋锐能源2019-02-20

国内企业中最受瞩目的便是钧石能源，公司拥有自主研发的hdt高效异质结太阳能电池技术，产品的转换效率居行业前列，更重要的是，钧石能源pvd、pecvd等核心设备均为自主研发并拥有自主知识产权，使项目投资成本大大缩减

来源：亚化咨询2019-02-19

其中，根据设备形式的不同，pecvd沉积工艺设备包括板式pecvd和管式pecvd，ald沉积工艺设备也主要分为管式ald和板式ald，值得注意的是，在管式ald工艺下，还分为单插片与双插片的区别，即双面镀膜和单面镀膜的差异

来源：国盛证券2019-02-12

2017年，公司核心产品 pecvd设备占公司营收45%，其他工艺设备合计占公司营收40%，自动化设备占公司营收逐年提升至15%左右。2017年毛利率较2015年增长 10个百分点。

来源：前瞻产业研究院2019-02-12

现有四种石墨烯的主流制备方法，分别是微机械剥离法、外延生长法、氧化还原石墨法和化学气相沉积cvd法。其中化学气相沉积法（cvd法）最有可能突破产业化瓶颈，实现规模化生产，但是难度也很大。...cvd气相沉积法制备石墨烯 有望实现规模生产但难度大石墨烯是一种由碳原子以sp2杂化轨道组成六角型呈蜂巢晶格的单层纳米新材料，具有优异的光学、电学、力学、热学特性，在材料学、环保、能源、生物医学、航空航天等多个领域具有广阔的应用前景

来源：中信建投2019-02-11

与perc工艺的区别在于：1）非晶硅薄膜沉积环节，使用pecvd或rpd沉积本征氢化非晶硅层和p型/n型氢化非晶硅层；2）镀膜环节使用 pvd沉积tco导电膜； 3）印刷电极方面需使用低温银浆；4）烧结过程需控制低温烧结

来源：北极星环保网2019-02-03

275.大中型电子计算机、万万亿次高性能计算机、便携式微型计算机、大型模拟仿真系统、工业控制机及控制器制造276.量子、类脑等新机理计算机系统的研究与制造277.超大规模集成电路制造用刻蚀机、pvd、cvd

来源：国家发改委2019-02-02

275.大中型电子计算机、万万亿次高性能计算机、便携式微型计算机、大型模拟仿真系统、工业控制机及控制器制造276.量子、类脑等新机理计算机系统的研究与制造277.超大规模集成电路制造用刻蚀机、pvd、cvd

来源：北极星储能网2019-02-01

275.大中型电子计算机、万万亿次高性能计算机、便携式微型计算机、大型模拟仿真系统、工业控制机及控制器制造276.量子、类脑等新机理计算机系统的研究与制造277.超大规模集成电路制造用刻蚀机、pvd、cvd

来源：北极星电力网2019-02-01

275.大中型电子计算机、万万亿次高性能计算机、便携式微型计算机、大型模拟仿真系统、工业控制机及控制器制造276.量子、类脑等新机理计算机系统的研究与制造277.超大规模集成电路制造用刻蚀机、pvd、cvd

来源：证券日报网2019-01-15

2018年12月，爱旭科技的“perc单面/双面电池（管式pecvd）量产技术”于通过了中国可再生能源协会专家评审组的现场评审，来自中国可再生能源协会、北京太阳能研究所、中国科学院电工研究所、国电投中央研究院太阳能技术研究所等单位的

来源：新材料在线2019-01-15

主营业务：pecvd;扩散炉;制绒;清洗;刻蚀;自动化等六大类光伏设备及mocvd。募资总额：105486.55万元。

来源：石墨邦2018-12-21

碳纳米管通过 cvd 生长呈球簇状， 且由于磷酸铁锂颗粒大小不均匀，导致了碳纳米管在磷酸铁锂中分散效果较差，有明显的空穴。

来源：东吴证券2018-12-14

perc 产线单 gw 设备投资额约 3.5-4 亿，丝网印刷、制膜(设备包括 pecvd 和 ald)、扩散环节设备投资占比分别达到 27%、24%、18%。...捷佳伟创：产品线广、协同性强的电池设备龙头除丝网印刷外，公司基本涵盖了电池片生产的主要设备，包括 pecvd设备(市占率 50%-60%)、扩散炉(市占率 50%)、制绒设备(市占率70%-80%)、刻蚀设备

来源：北极星太阳能光伏网2018-12-07

首先大家来看看这个图，其实异质结有点像一个三明治，就是他是一个双面电池，中间是a型硅片，这个是导电的，像红色和白色是用cvd完成。异质结的工艺过程比起其他电池来说相对简单。

来源：北极星太阳能光伏网2018-11-28

从2019年起，国内太阳能电池生产设备企业生产pecvd等设备所需的零部件、原材料将免征关税和进口环节增值税。