来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-11-07

与管式pecvd设备相比，平板式pecvd具备产能大、装卸片容易，易于自动化集成等优点，但到目前为止，国产设备市场上仍未真正出现相关的成熟产品。...从当前的市场状况可以看到，虽然在管式pecvd设备研制代孕上国产设备成绩喜人，但在该设备的高端领域平板pecvd设备开发方面，本土产品仍处于相对滞后的状态。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-10-31

曙海公司是专业从事设计、生产、销售硅薄膜太阳电池生产线和整套工艺及其核心专有设备等离子强化型化学气相薄膜沉积pecvd系统和磁控溅射系统pvd的高科技企业。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-10-30

在真空测量技术、真空获得技术、光学多层全自动镀膜技术、通用磁控溅射及多靶磁控溅射技术(dc、mc、rf溅射技术)以及pecvd技术等方面处于国内领先，并有多项科研成果获得国家专利。...公司产品非晶硅薄膜电池组件，主要的生产技术包括：使用lpcvd沉积前透明氧化物电极与背接触电极;使用pecvd技术沉积非晶硅薄膜;通过p1、p2与p3激光划刻技术把非晶硅电池分成串接的子电池。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-10-22

公司产品非晶硅薄膜电池组件，主要的生产技术包括：使用lpcvd沉积前透明氧化物电极与背接触电极;使用pecvd技术沉积非晶硅薄膜;通过p1、p2与p3激光划刻技术把非晶硅电池分成串接的子电池。

来源：中国太阳能光伏网2012-10-22

所以oerlikon早在20年前开发薄膜太阳技术及设备时，将其开发重点集中在pecvd设备超高频电源与反应器装置的开发。...据孙海燕博士介绍，非晶工艺和非晶微晶工艺的主要区别在于pecvd工艺，后者在镀膜的过程中需要40mh的超高频，以获得高沉积速率、高均匀性以及低损伤。

来源：新华网2012-09-26

公司毛利远高于行业平均水平，主要有两方面原因:一是凭借超强的研发能力，自行研制了重要生产设备，如单晶炉、多线切割机、pecvd等，大幅降低折旧费用;二是公司产业链完整，在晶体硅电池方面成功实现了拉晶-切片

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-09-07

装备方面有连续式间接hf-pecvd、管式直接lf-pecvd。(作者：和海一样的新能源)

来源：北极星太阳能光伏网2012-08-27

多晶硅由于结构的各项同性而使采用碱腐蚀织构化效果不好，日本京瓷(kyocera)公司采用pecvd/sin+表面织构化采用反应性等离子刻蚀技术(rie)。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-27

多晶硅由于结构的各项同性而使采用碱腐蚀织构化效果不好，日本京瓷(kyocera)公司采用pecvd/sin+表面织构化采用反应性等离子刻蚀技术 (rie)。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-21

的 oeco 电池 h=21.1%oeco结构示意图如图8所示，电池的表面由许多排列整齐的方形沟槽组成，浅发射极n+位于硅片的上表面，在其上有一极薄的氧化隧道层，al电极倾斜蒸镀于沟槽的侧面，然后利用pecvd...扩散)前表面化学制绒使用液态源pocl3进行磷扩散制作n+发射极打开背面接触真空蒸镀al作为背电极前表面低温热氧化形成氧化隧道层前表面无需掩膜直接倾斜蒸镀al作为面电极使用导电胶将各个面电极连接起来采用pecvd

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-14

1997年，日本三洋公司推出了一种商业化的高效电池设计和制造方法，电池制作过程大致如下：利用pecvd在表面织构化后的n型 cz-si片的正面沉积很薄的本征-si:h层和p型-si:h层，然后在硅片的背面沉积薄的本征

来源：北极星太阳能光伏网2012-08-03

现在由centrotherm和roth & rau(现在为meyer burger的分公司)主导的c-si pecvd工具市场在2011年达到了8.8亿美元。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-07-30

目前制备多晶硅薄膜电池多采用化学气相沉积法，包括低压化学气相沉积(lpcvd)和等离子增强化学气相沉积(pecvd)工艺。此外，液相外延法(lppe)和溅射沉积法也可用来制备多晶硅薄膜电池。...非晶硅薄膜太阳能电池的制备方法有很多，其中包括反应溅射法、pecvd法、lpcvd法等，反应原料气体为h2稀释的sih4，衬底主要为玻璃及不锈钢片，制成的非晶硅薄膜经过不同的电池工艺过程可分别制得单结电池和叠层太阳能电池

来源：中国太阳能光伏网2012-07-24

中电48所在2010年、2011年连续两年成为跻身光伏装备制造业全球十强的中国企 业，其在刻蚀机、去胶机、扩散/氧化炉、合金退火炉、网带炉、pecvd设备、离子注入机等半导体专用设备方面有很深入的研究，

来源：PV-Tech2012-07-18

现在由centrotherm和roth&rau(现在为meyerburger的分公司)主导的c-sipecvd工具市场在2011年达到了8.8亿美元。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-07-16

48所太阳电池制造装备具备了整线交钥匙工程的能力，国内市场占有率达到80%以上，扩散炉、刻蚀机、pecvd等装备批量供应国际著名的无锡尚德太阳能电力有限公司等;磁性材料制造装备的国内市场占有率也达70%

来源：工控网2012-07-02

但是，全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式pecvd仍然依赖进口。目前国内光伏电池注流建线方案为国产和进口设备混搭，基本以国产为主。设备投资方面，一条25mw的标准生产线需34006000万元。...但它的自动化程度(自动装卸片)不如进口设备(进口设备如德国centrotherm公司产品，售价是国产设备的三倍左右)，平板型pecvd目前国内已有企业生产，有待进一步验证;第三，国产丝网印刷机(只有手动

来源：北极星太阳能光伏网2012-06-28

从原材料制造到电池制造再到组件制造，中国设备国产化程度较高，但是在几种价值较高的关键设备上虽然实现了国产化但技术水平还与国外有一定差距，无法实现大规模市场应用，如还原炉、pecvd设备、烧结炉和全自动丝印机

来源：PV-Tech2012-06-27

natcore指出，这5家公司以使用等离子增强化学气相沉积(pecvd)来在其产品上沉淀薄膜著称。该公司将使用在纽约rochester研发中心的ar-box来完成测试。

来源：中华工商时报2012-06-26

2011年1月8日，首台代表国际尖端水平的中国造薄膜太阳能电池关键生产设备等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)在正泰成功下线。自此，打破了高端薄膜太阳能电池设备一直被国外厂商垄断的局面。