来源：光伏测试网2019-03-27

2019年3月6日，韩华发表声明称晶科能源、隆基股份及rec等三家公司侵犯了其钝化技术专利，隆基方面则在声明中表示，隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ald技术，而隆基采用的是pecvd

来源：兰州化学物理研究所2019-03-22

近期，研究人员利用碳酸钠为模板，通过化学气相沉积（cvd）技术合成了碳纳米片负极材料，此碳纳米片具有导电性好、缺陷丰富、层间距大、富氧等特点，有利于离子的存储与传输。

来源：北极星储能网整理2019-03-21

超大规模集成电路制造用刻蚀机、pvd、cvd、氧化炉、清洗机、扩散炉、mfc 等278. 芯片封装设备制造279. 计算机数字信号处理系统及板卡制造280. 图形图像识别和处理系统制造281.

来源：北极星太阳能光伏网2019-03-15

目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。...一位发言人还补充说，我们的maia和fabia电池涂层平台，使用我们专有的等离子体增强化学气相沉积（pecvd）钝化技术，不在专利侵权索赔的范围。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2019-03-14

此外，大全计划开展产能去瓶颈项目，逐步升级几座老旧的cvd炉，采用改进的技术，使产能再增加5000吨。大全计划在3月中旬启动该项目，6月底前完成。

来源：pv-magazine2019-03-13

隆基表示，有争议的专利与ald技术有关，隆基采用的是pecvd技术。相关链接：韩华起诉晶科、隆基和rec侵犯其专利权，最新回应来了!

来源：e公司2019-03-12

隆基股份表示，从技术上看，目前公司产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，事涉专利采用的是ald技术，而公司采用的是pecvd技术；另据媒体信息初步分析，韩华诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2019-03-08

目前，晶科能源和隆基股份都采用pecvd来做氧化铝钝化薄膜。某一线光伏企业高管表示，按照韩华新能源的起诉逻辑，pecvd属于ald的一种。“但实际在市场上，ald和pecvd是完全分开的概念。”

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2019-03-07

从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术。

来源：隆基股份2019-03-06

从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致（专利采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术）。仅根据现有媒体信息分析显示，目前相关诉讼对隆基的生产、经营不会造成实质性影响。

来源：电子世界2019-02-26

（2）先采用pecvd或lpcvd法沉积本征多晶硅薄膜，然后再采用离子注入、扩散等工艺进行掺杂，各种掺杂方法在工艺效果上相差不大。...用于perc电池工业化生产，采用pecvd方式占比较高。

来源：晋锐能源2019-02-20

国内企业中最受瞩目的便是钧石能源，公司拥有自主研发的hdt高效异质结太阳能电池技术，产品的转换效率居行业前列，更重要的是，钧石能源pvd、pecvd等核心设备均为自主研发并拥有自主知识产权，使项目投资成本大大缩减

来源：亚化咨询2019-02-19

其中，根据设备形式的不同，pecvd沉积工艺设备包括板式pecvd和管式pecvd，ald沉积工艺设备也主要分为管式ald和板式ald，值得注意的是，在管式ald工艺下，还分为单插片与双插片的区别，即双面镀膜和单面镀膜的差异

来源：国盛证券2019-02-12

2017年，公司核心产品 pecvd设备占公司营收45%，其他工艺设备合计占公司营收40%，自动化设备占公司营收逐年提升至15%左右。2017年毛利率较2015年增长 10个百分点。

来源：前瞻产业研究院2019-02-12

现有四种石墨烯的主流制备方法，分别是微机械剥离法、外延生长法、氧化还原石墨法和化学气相沉积cvd法。其中化学气相沉积法（cvd法）最有可能突破产业化瓶颈，实现规模化生产，但是难度也很大。...cvd气相沉积法制备石墨烯 有望实现规模生产但难度大石墨烯是一种由碳原子以sp2杂化轨道组成六角型呈蜂巢晶格的单层纳米新材料，具有优异的光学、电学、力学、热学特性，在材料学、环保、能源、生物医学、航空航天等多个领域具有广阔的应用前景

来源：中信建投2019-02-11

与perc工艺的区别在于：1）非晶硅薄膜沉积环节，使用pecvd或rpd沉积本征氢化非晶硅层和p型/n型氢化非晶硅层；2）镀膜环节使用 pvd沉积tco导电膜； 3）印刷电极方面需使用低温银浆；4）烧结过程需控制低温烧结

来源：北极星环保网2019-02-03

275.大中型电子计算机、万万亿次高性能计算机、便携式微型计算机、大型模拟仿真系统、工业控制机及控制器制造276.量子、类脑等新机理计算机系统的研究与制造277.超大规模集成电路制造用刻蚀机、pvd、cvd

来源：国家发改委2019-02-02

275.大中型电子计算机、万万亿次高性能计算机、便携式微型计算机、大型模拟仿真系统、工业控制机及控制器制造276.量子、类脑等新机理计算机系统的研究与制造277.超大规模集成电路制造用刻蚀机、pvd、cvd

来源：北极星储能网2019-02-01

275.大中型电子计算机、万万亿次高性能计算机、便携式微型计算机、大型模拟仿真系统、工业控制机及控制器制造276.量子、类脑等新机理计算机系统的研究与制造277.超大规模集成电路制造用刻蚀机、pvd、cvd

来源：北极星电力网2019-02-01

275.大中型电子计算机、万万亿次高性能计算机、便携式微型计算机、大型模拟仿真系统、工业控制机及控制器制造276.量子、类脑等新机理计算机系统的研究与制造277.超大规模集成电路制造用刻蚀机、pvd、cvd