来源：招商证券研究所2019-06-25

空间 20亿，背面 pecvd 空间 30亿，丝网印刷 15亿。...亿元\/gw，改造产能设备投入约 0.8亿元\/gw，则 2019\/2020年设备空间可达 102亿、 77亿，2019年对应制绒设备、扩散炉、刻蚀机、激光设备、自动化设备空间各自约10亿，正面 pecvd

来源：摩尔光伏2019-06-18

4．3本征非晶硅厚度的优化和制备制备非晶硅的方法包括pecvd、hwcvd以及磁控溅射方法等。...而美国nrel(nationalrenewableenergylaboratory)和中国的中科院等采用了hwcvd的制备方法，hwcvd与pecvd相比，产生的等离子能量较低，能有效避免离子的轰击，减少对硅片产生的损伤

来源：东方证券2019-06-12

目前hit的核心设备（湿法设备、pecvd和pvd）的总价格为700-1300万美元/100mw，而剩下设备（入料管控、自动化、印刷、烧结、测试和筛选等）则在300-500万美元/100mw左右，hit

来源：北极星太阳能光伏网2019-06-04

提问：我有一个问题关于技术，我们隧道氧化层，知道ipecvd已经有在使用了，pecvd也是很快跟进，对于这个技术您怎么样的建议？...dirk-holger neuhaus：现在已经是有不错的发展了，我觉得pecvd更好，我在这块已经有20年的经验了，所以不错的。（发言根据速记整理，未经本人审核）

来源：长城证券2019-05-22

管式pecvd设备与进口设备实力相近，份额逐步扩大，正在加速进口替代过程。但全自动丝网印刷机、自动分拣机、连续式pecvd设备仍然依赖于进口，未来国内设备厂商主要向高效化和智能化发展。

来源：北极星太阳能光伏网2019-05-16

单晶硅太阳能电池具有很多优点：1.光电转换效率高，可靠性高； 2.先进的扩散技术，保证片内各处转换效率的均匀性； 3.运用先进的pecvd成膜技术，在电池表面镀上深蓝色的氮化硅减反射膜，颜色均匀美观；

来源：北极星氢能网2019-05-13

公司开发的主要设备有：工模具硬质涂层镀膜设备、磁控溅射镀膜设备、多弧离子镀膜设备、磁控溅射多弧离子复合镀膜设备、连续式磁控溅射镀膜生产线、光学镀膜设备、cvd和pecvd化学气相沉积设备、icp刻蚀设备和

来源：材料导报、摩尔光伏2019-05-13

fraunhofer研究所采用n型fz硅片，正面采用普通金字塔制绒，硼扩散，等离子体辅助的原子层沉积(ald)氧化铝与等离子体化学气相沉积(pecvd)氮化硅的叠层结构起到钝化和减反效果。...背面采用上述topcon技术(基于硝酸热氧化化学工艺)，pecvd沉积n+掺杂的多晶硅，接着通过进行高温(70～900℃)退火和氢钝化改善硅薄膜的形貌与带隙，最后正、反金属化采用电子束蒸发的ti/pd/

来源：东吴证券2019-04-25

年成立以来专注于电池环节，技术、品质、成本、服务、规模五大优势，全行业领先：1)拥有国际化的研发团队，18年硕博士研发人员达到32人、研发投入占比4.89%，累计授权专利443项，远超对手；2)拥有管式pecvd

来源：NE时代2019-04-23

通过cvd涂覆石墨烯使得即使在该环境中廉价的催化剂材料如nimo也不溶解，当石墨烯层的数量为3~5（b~d）时，获得了性能劣化较少的结果。目前尚未获得在5~7层1000个循环之后的数据。

来源：中国知识产权报2019-04-17

，背钝化膜的制备，是perc电池最为核心的工艺步骤，产业化沉积薄膜的技术手段主要有以solaytec、韩华新能源等厂商为代表的原子层沉积（ald）方式，及以瑞士meyerburger为代表的板式（pecvd...对于上述起诉，隆基股份方面表示，从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致（专利技术采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术），同时表示：“根据媒体信息初步分析显示，韩华新能源诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得

来源：科华恒盛2019-04-01

凭借卓越的性能，科华恒盛将为其最新一代半导体光电产品蓝绿外延芯片生产线mocvd设备，提供高可靠的电力保障。...led芯片产业具有微米——纳米级产品制造、产线自动化、智能化程度高等特点，特别是作为其生产过程中最为关键的mocvd设备，对应用产品的各项技术指标都有特殊要求，对电网质量的要求则更是近乎严苛，任何电网的瞬态波动都可能造成其工艺设备的故障

来源：光伏测试网2019-03-28

fraunhofer研究所采用n型fz硅片，正面采用普通金字塔制绒，硼扩散，等离子体辅助的原子层沉积(ald)氧化铝与等离子体化学气相沉积(pecvd)氮化硅的叠层结构起到钝化和减反效果。...背面采用上述topcon技术(基于硝酸热氧化化学工艺)，pecvd沉积n+掺杂的多晶硅，接着通过进行高温(70～900℃)退火和氢钝化改善硅薄膜的形貌与带隙，最后正、反金属化采用电子束蒸发的ti/pd/

来源：中国商务新闻网2019-03-27

隆基绿能也于同日发布声明称，目前公司所采用的是pecvd技术，与涉案专利采用的ald技术并不相同。

来源：光伏测试网2019-03-27

2019年3月6日，韩华发表声明称晶科能源、隆基股份及rec等三家公司侵犯了其钝化技术专利，隆基方面则在声明中表示，隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ald技术，而隆基采用的是pecvd

来源：兰州化学物理研究所2019-03-22

近期，研究人员利用碳酸钠为模板，通过化学气相沉积（cvd）技术合成了碳纳米片负极材料，此碳纳米片具有导电性好、缺陷丰富、层间距大、富氧等特点，有利于离子的存储与传输。

来源：北极星储能网整理2019-03-21

超大规模集成电路制造用刻蚀机、pvd、cvd、氧化炉、清洗机、扩散炉、mfc 等278. 芯片封装设备制造279. 计算机数字信号处理系统及板卡制造280. 图形图像识别和处理系统制造281.

来源：北极星太阳能光伏网2019-03-15

目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。...一位发言人还补充说，我们的maia和fabia电池涂层平台，使用我们专有的等离子体增强化学气相沉积（pecvd）钝化技术，不在专利侵权索赔的范围。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2019-03-14

此外，大全计划开展产能去瓶颈项目，逐步升级几座老旧的cvd炉，采用改进的技术，使产能再增加5000吨。大全计划在3月中旬启动该项目，6月底前完成。

来源：pv-magazine2019-03-13

隆基表示，有争议的专利与ald技术有关，隆基采用的是pecvd技术。相关链接：韩华起诉晶科、隆基和rec侵犯其专利权，最新回应来了!