来源：中国触摸屏网2011-08-15

刻蚀方法目前有化学刻蚀和激光刻蚀两种，但由于刻蚀的线条要求很细，一般为几十微米的宽度，而激光刻蚀具有沟槽均匀，剔除干净，生产效率快的特点。

来源：21IC电子网2011-08-10

在实验前经过硅片清洗和制绒，磷扩散，等离子刻蚀，去除磷硅玻璃等工艺。实验用到的气体有sih4，nh3，n2。腐蚀溶液为hf酸。

来源：OFweek2011-08-08

产品主要有太阳能逆变器、射频电源、射频自动匹配器、射频功率分配器，广泛用于太阳能光伏系统、pecvd、真空镀镆、刻蚀等真空设备当中。公司于2000年进入半导体领域，已有11年丰富的行业经验。

来源：《中国化工报》2011-07-20

据了解，河南新能光伏有限公司自2008年7月落户河南安阳后，针对非晶硅薄膜太阳电池生产的关键工艺技术进行研究攻关，现已开发出具有自主知识产权的电池板镀膜、激光刻蚀、超声波焊接等一系列生产工艺和装备且实现了产业化

来源：大河网2011-07-15

2008年7月，河南新能光伏有限公司落户安阳后，针对非晶硅薄膜太阳电池生产的关键工艺技术进行研究攻关，几年来，开发出具有自主知识产权的电池板镀膜、激光刻蚀、超声波焊接等一系列生产工艺和装备并实现了产业化

来源：中国电子报2011-07-14

经过数年的艰苦努力，我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗

来源：e-works2011-06-29

用jmp的“pareto图”很容易发现“扩散”工序中的主要缺陷是“扩散返修”和“扩散机器内碎片”，“刻蚀”工序中的主要缺陷是“刻蚀装片时碎片”和“刻蚀机器内碎片”。

来源：e-works2011-06-28

用jmp的“pareto图”很容易发现“扩散”工序中的主要缺陷是“扩散返修”和“扩散机器内碎片”，“刻蚀”工序中的主要缺陷是“刻蚀装片时碎片”和“刻蚀机器内碎片”。

来源：搜狐IT2011-06-16

中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机

来源：中国电子科技集团公司第四十八研究所副所长 伍三忠2011-06-15

坚持走光伏装备国产化之路从总体上讲，目前我国光伏装备制造业处于“国产化替代进口阶段”，平板式pecvd、激光刻边机、湿法化学刻蚀机、链式扩散炉等少数设备还依赖进口。...回顾48所发展光伏装备的历程，是从本世纪初借国内晶体硅太阳能电池产业起步之机，凭借扩散炉和刻蚀机的技术优势成功打入市场，连续多年在国内市场占有率达80%，将晶体硅太阳能电池大型生产线上的同类进口装备挤出国门

来源：工业和信息化部电子信息司副司长 刁石京2011-06-15

在生产设备方面，已能提供晶硅电池生产整线设备，单晶炉和多晶硅铸锭炉国产设备市场占有率不断提高，清洗机、扩散炉和刻蚀机等已批量出口，开方机和切方机已规模化生产，多线切割机已有样机生产。

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机

来源：国际新能源网2011-05-10

除前道的材料提纯、硅片加工和后道的组件生产外，电池制造工序涉及清洗、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等环节。 美国gtsolar公司在多晶硅设备行业耕耘多年。

来源：电源门户网2011-04-04

制造太阳能晶硅电池需要经过很多工艺，其中包括硅片清洗、表面制绒、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀、镀减反射膜和丝网印刷等。由于欧洲市场特别是德国市场的需求拉动，导致最近几年国内企业在该领域大规模投资。

来源：中国电子报2011-02-17

其中，mocvd、等离子刻蚀机等是技术含量很高的设备。在所有的led设备中，没有哪一种设备像mocvd一样，在整个led生产设备投资中占如此大的比重。...在led生产过程中需要很多设备，从蓝宝石衬底加工用的单晶炉、多线切割、研磨抛光等设备，到mocvd(金属有机化合物化学气相淀积)、退火炉等设备，再到与ic芯片工艺相类似的设备，如光刻机、刻蚀机、清洗机、

来源：中华工控网2011-01-26

太阳能电池模块中的各项工艺制程主要包括单多晶硅的生成、切片机、清洗机、扩散炉、刻蚀机、镀膜机、印刷丝网、包装等，而这些设备的组成架构大多数为人机界面通过网络交换机与下端的plc进行沟通。

来源：中国能源信息网2010-11-10

且国内主要太阳能电池厂商均已采用国产的等离子刻蚀机。国产激光机和层压机的性能和可靠性均满足光伏行业的需求，已被普遍采用。

来源：电子产品世界2010-10-28

传感器技术 (1)mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀(drie)工艺或igp工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型传感器：如用微硅电容传感器

来源：赛迪网-中国电子报2010-10-26

郭永兴：经过数年的艰苦努力，我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的9种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位

来源：索比太阳能2010-10-25

guideforselectionanduseofetchingsolutionstodelineatestructuraldefectsinsilicon mf1810-0304——硅中优先刻蚀或缀饰的表面缺陷的计量测试方法