来源：红网2013-07-31

该公司先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、pecvd、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交钥匙系统方案

来源：世纪新能源网2013-06-28

副总裁陈金元博士解释说：我们在线式单腔型pecvd设备（hj-1200）自在客户产线上交付使用以来，一个月时间内已突破异质结电池最高转换效率21.11%，取得了平均电池转换效率达20.8%的优异成绩。...全国政协常委、浙江省工商联主席、正泰集团股份有限公司董事长南存辉，正泰集团股份有限公司副总裁王永才，理想能源总裁杨立友、副总裁奚明、陈金元，分别向吴邦国介绍了理想能源最新产品mocvd、pecvd等设备的研制生产情况

来源：中国机电工业 高原2013-06-09

因此，我们在已经开发的pecvd设备基础上重新开发了针对hit电池的制造设备。led产业目前大体上也产能过剩，只是程度有所不同。

来源：研华（中国）公司2013-05-28

为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种cvd称为等离子体增强化学气相沉积(pecvd)。...项目背景pecvd即借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。

来源：深圳市大族光伏科技股份有限公司2013-05-22

除展出增加了多项新技术的领先主打产品系列扩散炉和pecvd外，大族光伏首次对外公布了2014年的技术发展路线图，使公司新一代光伏设备领航者的定位更加清晰和被行业认可。

来源：同花顺2013-04-22

2月中旬，一种薄膜太阳能电池关键生产设备等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)在上海张江理想能源设备公司正式下线。

来源：《光伏产业观察》杂志2013-04-19

经过不懈努力，在捷佳伟创的管式pecvd设备上进行背面钝化技术的硅片少子寿命在传统工艺的基础上提高了5倍，与文献记录完全相符，这证明捷佳伟创的背面镀膜钝化已经成熟，这项进步填补了国产设备背面镀膜钝化技术的空白

来源：EnergyTrend2013-04-15

目前我们研发改造的pecvd设备已经被杭州一家电池厂订购，作为hit高线电池扩产使用。

来源：扬州网2013-04-03

宋锋兵介绍，整个晶硅电池生产线分为制绒、扩散、刻蚀、pecvd、丝网印刷等5个环节，原先的4个环节都处于全球一流水准，只有刻蚀这个环节仍然需要3台机器同时运转。

来源：北极星太阳能光伏网2013-02-26

同时光伏生产中涉及到氯碱化工、精馏、还原、单晶生长设备、多晶生长设备、石墨、碳纤维、陶瓷、特种钢、细钢线、环氧树脂胶、碳化硅、聚乙二醇、半导体工艺中扩散、pecvd、丝网印刷、精密测量仪器、激光切割、铝合金

来源：北极星太阳能光伏网2012-12-25

包括：还原炉、cvd、pecvd设备、烧结炉和全自动丝印机、线切割机、自动分选机、自动插片机、自动焊接机等、离子注入机。提高这些高价值的关键设备的国产化程度是进一步降低我国电池制造成本的有效途径。

来源：21世纪2012-12-21

一位业内人士表示，ipx的主要产品是基于pecvd技术的芯片，光迅科技长期向其进口芯片进行封装，制作awg和plcs产品等。

来源：SEMI2012-12-17

薄膜硅先进性得益于各种创新技术，例如用于非晶和微晶硅吸收层最优化的等离子体增强化学气相沉积技术(pecvd)设备和工艺，以及使用更环保更有效的清洁技术的氟气(f2)的kai反应腔，该技术清洁反应腔的速率更高

来源：上海市经信委2012-12-12

自主研发成功非晶微晶双结薄膜太阳能电池商用关键设备lpcvd和pecvd、压力容器、蒸发器、堆内构件、控制棒驱动机构、核电主泵、u型管、核电大锻件、核级泵阀、3.6兆瓦大型海上风机和关键零部件、2000

来源：光纤在线2012-12-07

光迅科技表示，ipx的主要产品是基于pecvd技术的芯片，光迅科技长期向其进口芯片进行封装，制作awg和plcs产品等。...据公告显示，ipx主营业务为设计、制造和销售基于等离子体增强化学气相沉积(pecvd)制造技术的光学元件。2011年度，ipx实现营收3154.24万丹麦克朗，净亏损5153.29万丹麦克朗。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-12-06

前半段工艺流程的设备包括清洗机、蚀刻机、扩散设备基本可以实现国产化，而后半段的pecvd涂膜设备、丝网印刷机则采用进口设备，这样成本较低，而且效果不错。

来源：上海市经信委2012-11-22

自主研发成功非晶微晶双结薄膜太阳能电池商用关键设备lpcvd和pecvd、压力容器、蒸发器、堆内构件、控制棒驱动机构、核电主泵、u型管、核电大锻件、核级泵阀、3.6兆瓦大型海上风机和关键零部件、2000

来源：北极星太阳能光伏网2012-11-21

涉及光伏的主要产品包括：单晶炉、多晶硅铸锭炉、扩散炉、pecvd、制绒清洗机、去psg清洗机、石英管清洗机、石墨舟清洗机等。...同时，七星电子研发的ssp8471a管式pecvd为单管产能全球最高设备，电池片转换效率高，属于世界先进水平。该设备具有独特的射频引入方式，且全自动运行并预留倒片接口。

来源：欧瑞康2012-11-16

这种先进性得益于各种创新技术，例如用于非晶和微晶硅吸收层最优化的等离子体增强化学气相沉积技术(pecvd)设备和工艺，以及使用更环保更有效的清洁技术的氟气(f2)的kai反应腔，该技术清洁反应腔的速率更高

来源：21世纪网2012-11-14

上述销售合同包含了420台pecvd设备及90台pvd设备，大概能支持3gw非晶硅薄膜电池的产能。