来源：北极星电力网2016-04-13

设计领域，提升市集成电路公共技术服务平台能力，推进集成电路设计产业园建设，重点设计移动通信、光通信、电力电子、mems、智能控制、电源管理等芯片。...鼓励科研院所、企业联合开展智能识别、数据处理等关键核心技术攻关，推进rfid石墨烯天线、mems传感器等一批关键技术研发和产业化，建设物联网垂直行业公共服务平台，参与制订行业和国家标准。

来源：北极星输配电网2016-04-08

(5)基于现有的研发能力和技术平台，发展适合宏发市场和技术定位的延伸产品与扩展产品，推进应用电子模块、氧传感器和工业连接器等产品产业化，预研新原理和新应用领域的元器件产品，如 mems、传感器、智能控制系统等相关领域产品

来源：北极星电力网2016-04-01

加强与中电科集团合作，建设国内领先的微机电系统(mems)化学传感器产业化基地。推广军民两用卫星激光通信技术，加快建设空间激光通信研发基地。

来源：华泰证券研究所2016-03-23

盾安环境坚持高端智能制造转型升级，在布局mems传感器、人机协作机器人的基础上，进一步向新能源汽车热管理系统拓展。我国新能源汽车产业2015年进入成长期。

来源：北极星输配电网2016-03-23

据ihs2015年11月份数据，消费和移动电子市场仍然是驱动mems增长的龙头，不但在总的mems市场中所占份额最大，其年复合增长率（2014-2019）达到了13.4%，相比之下同期总的mems市场年复合增长率则为

来源：中国证券网2016-03-23

作为国内最早的mems公司，苏州敏芯一直专注mems麦克风，并在去年推出了基于压力传感的压力触控传感器。...据ihs2015年11月份数据，消费和移动电子市场仍然是驱动mems增长的龙头，不但在总的mems市场中所占份额最大，其年复合增长率（2014-2019）达到了13.4%，相比之下同期总的mems市场年复合增长率则为

来源：《电子工程专辑》2016年3月刊2016-03-21

使用mems检测技术的设备则提供了另外一种途径，它们具有宽压力检测范围和低供电电流等优势。

来源：北极星电力网2016-03-10

安溪)经济合作区(湖里园)(湖里区政府)37.厦门强力巨彩led显示屏产业园项目(火炬管委会)38.汽车工业城零部件配套中心(四期)(集美区政府)39.佳格集团葵花油项目(海沧区政府)40.手机微机电(mems

来源：仪器信息网2016-03-02

东北地区：以沈阳、长春、哈尔滨为主，主要生产mems力敏传感器、气敏传感器、湿敏传感器。京津区域：主要以高校为主，从事新型传感器的研发，在某些领域填补国内空白。北京已建立微米/纳米国家重点实验室。

来源：cnBeta2016-03-01

近期，英国萨里大学（universityofsurrey）联合军工厂商baesystems在光微机电系统(opto-mems）设备上的红外成像部分开展合作，通过纳米纹理化（nanotexturing）技术

来源：cnBeta2016-03-01

近期，英国萨里大学（universityofsurrey）联合军工厂商baesystems在光微机电系统(opto-mems）设备上的红外成像部分开展合作，通过纳米纹理化（nanotexturing）技术

来源：仪器信息网2016-02-25

除了该类微型光谱仪以外，滨松的mems-ftir(mems傅里叶变换红外光谱)、mems-fpi(mems布里珀罗腔型近红外光谱探测器)等微型化产品也都受到了高度的关注。

来源：仪器信息网2016-02-18

5.微机电系统技术以微米、纳米加工技术为基础制造的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路等于一体的微机电系统(mems)技术等。

来源：北极星电力网2016-01-14

山东高阳安全科技有限公司齐鲁安全科技产业孵化器项目 (总建筑面积36.8万平方米)75 淄博鲁创城镇化建设发展有限公司高新区医药创新中心建设项目 (总建筑面积37万平方米)76 淄博高新区国有资产经营管理公司淄博高新区mems

来源：北极星售电网2016-01-06

2018年，完成投资11850万元，建成人工智能数据分析、管理与决策支撑平台、电力故障分析平台、车友助理智能服务平台等平台，建成油气生产油井智能监控、mems新型多功能运动传感等互联网+人工智能系统10

来源：雷锋网2015-12-24

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积(pvd/cvd)制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems(微机电系统)领域中。

来源：世纪新能源网2015-12-18

在论坛上，余勇特别分享了措勤微电网的建设经验，并推荐了阳光电源专门针对微电网系统而研发的系列产品，包括sc系列储能逆变器、mems1000微电网能量管理系统、储能一体化解决方案及监控远程运维系统。

来源：中国储能网2015-12-18

在论坛上，余勇特别分享了措勤微电网的建设经验，并推荐了阳光电源专门针对微电网系统而研发的系列产品，包括sc系列储能逆变器、mems1000微电网能量管理系统、储能一体化解决方案及监控远程运维系统。

来源：北极星环保网2015-12-11

盾安环境在mems传感器产业的研发实力和产研结合发展,打造公司mems传感器从芯片研发设计到封装测试以及系统集成的综合竞争能力,加速传感器发展,盾安环境决定投资设立盾安传感科技(苏州)研究院,作为公司mems

来源：巨灵信息2015-12-10

)研究院,作为公司mems传感技术国内研发平台。...2015年12月10日公告,公司在mems传感器产业的研发实力和产研结合发展,打造公司mems传感器从芯片研发设计到封装测试以及系统集成的综合竞争能力,加速传感器发展,公司决定投资设立盾安传感科技(苏州