来源：PV-Tech2012-04-10

其中的难点包括：粗糙表面上的材料生长控制技术、高速纳米晶体硅沉积技术、多步顶衬刻蚀、静态及动态等离子沉积技术。

来源：solarzoom2012-03-29

新的pura湿法处理系统包含mei对太阳能电池生产关键要素唯一的工艺知识产权，包括刻蚀，清洗和干燥多晶硅。...pura融合了mei湿法处理的专业知识，使用了独特了刻蚀和清洗工艺，还有公司新的flashdry冷干燥工艺。结果是产品具有更少的杂质含量，更少的氧化，并且适度的干燥。

来源：九江新闻网2012-03-15

据悉，超日公司于2010年在深交所上市，超日电池片生产工艺以及太阳能电池组件上已取得了多项技术突破，尤其是清洗工艺中的表面织构化技术、扩散工艺中的均匀发射极制备技术、等离子体边缘刻蚀最优化技术处于国内领先水平

来源：中华电源网2012-03-09

(5)周边刻蚀：扩散时在硅片周边表面形成的扩散层，会使电池上下电极短路，用掩蔽湿法腐蚀或等离子干法腐蚀去除周边扩散层。(6)去除背面pn+结。常用湿法腐蚀或磨片法除去背面pn+结。

来源：百度百科2012-02-28

七星集团主要产品包括：半导体工艺制造设备(微扩散系统、干法刻蚀系统、pecvd、质量流量控制器)、太阳能电池设备、tft-lcd设备、电真空设备、单晶炉、二次电池设备;各类高可靠、高稳定、高精密电阻器、

来源：北极星太阳能光伏网2012-02-27

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（pecvd）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能光伏电池片生产线设备和pecvd等薄膜太阳能光伏电池生产设备

来源：中商情报网2012-02-24

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积(pecvd)、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和pecvd等薄膜光伏电池生产设备。

来源：工信部网站2012-02-24

高密度离子刻蚀机、大角度离子注入机等集成电路核心制造设备进入生产线。千万亿次高性能计算机研制成功，迈入国际先进行列。...重点发展等离子体增强化学气相沉积(pecvd)、激光切割、刻蚀、丝网印刷以及封装检测等设备，鼓励开发晶硅和薄膜太阳能电池成套设备生产线。

来源：工信部网站2012-02-24

芯片制造能力持续增强，65纳米先进工艺和高压工艺、模拟工艺等特色技术实现规模生产;方形扁平无引脚封装(qfn)、球栅阵列封装(bga)、圆片级封装(wlp)等各种先进封装技术开发成功并产业化;高密度离子刻蚀机...支持刻蚀机、离子注入机、外延炉设备、平坦化设备、自动封装系统等设备的开发与应用，形成成套工艺，加强12英寸硅片、soi、引线框架、光刻胶等关键材料的研发与产业化，支持国产集成电路关键设备和仪器、原材料在生产线上规模应用

来源：中商情报网2012-02-24

支持刻蚀机、离子注入机、外延炉设备、平坦化设备、自动封装系统等设备的开发与应用，形成成套工艺，加强12英寸硅片、soi、引线框架、光刻胶等关键材料的研发与产业化，支持国产集成电路关键设备和仪器、原材料在生产线上规模应用

来源：中国电子报2012-02-24

目前，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口...，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式pecvd、快速烧结炉)与进口设备并存但份额正逐步增大

来源：北极星太阳能光伏网2012-02-24

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（pecvd）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和pecvd等薄膜太阳能电池生产设备。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-02-20

这是在电池片生产过程中少数的激光刻蚀设备。4、北京七星华创：七星华创生产两种类型的刻蚀机，分别为mcp刻边机及周边刻蚀系统。...在一个刻蚀机定期维护周期之内，刻蚀机状态的改变主要是由于刻蚀产生的残余聚合物在反应腔室内的沉积，以及易损件及可更换部件的磨损所引起的。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-02-13

由于四十八所是全球仅有的两家既具有整线光伏设备研发生产能力又具有完整光伏电池生产线的厂家，因此其研发出的多晶铸锭炉可以不断在光伏电池生产线上进行实验和完善，由生产出的多晶硅锭到开方、切片制作成硅片，再到制绒、扩散、刻蚀等工序制作成光伏电池片

来源：PV-Tech2012-01-17

此外，48所为突破太阳能电池转化效率瓶颈，还引入离子刻蚀与离子注入工艺技术，其中离子反应刻蚀技术、离子注入掺杂技术项目获得2012年度国家863计划先进能源领域重点支持。

来源：北极星太阳能光伏网2012-01-17

同时，为了突破太阳能电池转化效率瓶颈，中电48所果断引入离子刻蚀与离子注入工艺技术，其中《离子反应刻蚀技术、离子注入掺杂技术》项目获得2012年度国家863计划先进能源领域重点支持。

来源：控制工程网2012-01-10

2012年传感器发展重点传感器技术(1)mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀(drie)工艺或igp工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型传感器

来源：中国投资咨询网2011-12-21

是国内第一批申请并获得太阳能电池封装玻璃发明专利的公司之一，也是国内最早建成太阳能超白压延玻璃生产线的公司之一，同时，裕华新材公司成长后劲十足，目前已与丹麦sunarc公司签订了《技术许可协议》，sunarc公司向裕华新材授予使用其溶液刻蚀法镀膜技术的许可并提供相应技术支持

来源：千龙网2011-12-20

其中，减反射膜技术可分为喷涂法、提拉法、溶液刻蚀法等，是在超白压延玻璃上镀制减反射膜后再固化处理或通过化学的方法使超白钢化玻璃表面形成减反射层，使镀膜后的玻璃光谱透过率较原片大幅提高，从而达到提高光线透过率的目的...裕华新材于2011年10月20日与丹麦sunarc公司签订了《技术许可协议》，sunarc公司向公司授予使用其溶液刻蚀法镀膜技术的许可并提供相应技术支持，以使得公司拥有并运行5条镀膜生产线以及可能增加的额外生产线

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-25

车间规模不小，机器簇新，按照生产工艺生产电池片环节有制绒、扩散、刻蚀、丝印等工序，每一个环节需要一整套自动化设备，设备体积庞大结构复杂，工人在里面只是在维护机器的正常运转，一般不需要动手。...在生产中自动传送、机械手自动拾取、机器刻蚀、清洗是一个自动化、现代化程度很高的车间，这些工序基本是自动化完成，在密闭车间的下面，是最后的封装车间，把半成品的电池片和玻璃板用专用的薄膜在高温下压合到一起，