来源：北极星太阳能光伏网2016-08-10

开展新型光通信器件、半导体照明、高效光伏电池、mems（微机电系统）传感器、柔性显示、新型功率器件、下一代半导体材料制备等新兴产业关键制造装备研发,提升新兴领域核心装备自主研发能力。

来源：北极星输配电网整理2016-08-09

开展新型光通信器件、半导体照明、高效光伏电池、mems（微机电系统）传感器、柔性显示、新型功率器件、下一代半导体材料制备等新兴产业关键制造装备研发,提升新兴领域核心装备自主研发能力。5.智能机器人。

来源：车云网2016-08-02

比如能够为自动驾驶提供3d定位的惯性传感器与气压传感器，惯性传感器负责检测水平方向变化，而气压传感器则可以用来检测车辆高度的变化；再比如用在主动安全系统中的各式各样mems传感器。

来源：北极星电力网2016-08-02

高速切削及复合加工等高端基础工艺的技术攻关和推广应用;推进高端模具钢、高性能轴承钢、海洋工程及能源装备高性能板材、高速列车高性能结构材料等关键基础材料的开发与应用;推进高速、精密、重载轴承、高可靠性机械密封件、超(超)临界机组安全阀用弹簧、单芯片mems

来源：北极星电力网2016-07-08

支持昆山、工业园区等地区加快形成mems产业集聚。新能源与节能环保产业。加快开发太阳能光伏、风能、核能等新能源技术和装备，以及太阳能光伏电池的生产制造新工艺。...突破精密重载数控机床制造、机器人系统设计与制造、工程机械智能化精确控制、增材制造、mems器件微纳复合加工及高性能低成本封装等关键技术，加强集成创新和自主研发。

来源：北极星环保网2016-06-27

集成电路用高性能硅基材料和特种电子气体等专用材料研发和产业化;光刻机、多线切割机、清洗机及cmp抛光机等关键设备研发和产业化;模拟及数模混合电路、微机电系统(mems)、高电压电路、射频电路等特色专用工艺生产线研发

来源：北极星储能网2016-06-13

8.发展应用到制药、印刷、色选、汽车、工程机械等多行业领域的系列化智能处理器;发展应用到包装机械、医疗设备、现代农业及公共安全智能装备领域的力矩传感器、柔性力敏传感器、mems传感器、半导体传感器、电化学传感器等高精尖探测元器件

来源：北极星环保网2016-05-23

集成电路设计，重点研发、设计平板电脑、智能手机、智能电视、高速光通信、微波通信、智能家电、移动支付终端及微电子机械系统(mems)等芯片产品及其解决方案。...集成电路封装测试，以现有晶圆制造厂为主，引进为辅，重点发展3d封装、mems封装、sip系统级封装等当前国际先进封装技术，建立与省内集成电路制造产能配套的封装测试能力。

来源：北极星储能网整理2016-05-19

推动光纤预制棒、超低损耗光纤、高压直流继电器、宽带网络核心光电子芯片与器件等产品产业化;发展超小型片式元件、柔性印制电路板等产品，提高核心元器件保障能力;突破cmos和mems传感器、智能光电传感器等瓶颈制约

来源：北极星环保网2016-05-18

推动光纤预制棒、超低损耗光纤、高压直流继电器、宽带网络核心光电子芯片与器件等产品产业化;发展超小型片式元件、柔性印制电路板等产品，提高核心元器件保障能力;突破cmos和mems传感器、智能光电传感器等瓶颈制约

来源：北极星电力网2016-05-18

推动光纤预制棒、超低损耗光纤、高压直流继电器、宽带网络核心光电子芯片与器件等产品产业化；发展超小型片式元件、柔性印制电路板等产品，提高核心元器件保障能力；突破cmos和mems传感器、智能光电传感器等瓶颈制约

来源：北极星电力网2016-05-16

加快发展面板驱动芯片、家电核心芯片、存储芯片国产化，推进一批8-12寸晶圆制造生产线和高端封装测试项目，以及砷(氮)化镓、碳化硅、mems等特色集成电路项目，打造中国ic之都。

来源：北极星输配电网2016-05-12

与此同时，在超级电容最早实现产业化运作的大本营智能仪器及高端电子消费品市场，mems微型电容器的创新概念迅速窜红。

来源：华夏幸福基业股份有限公司2016-05-10

通过与微机电系统(mems)纳米机电系统(nems)技术的结合，纳米发动机产生的机械能将有望为纳米器件和纳米机器人提供动力。

来源：北极星电力网2016-04-13

设计领域，提升市集成电路公共技术服务平台能力，推进集成电路设计产业园建设，重点设计移动通信、光通信、电力电子、mems、智能控制、电源管理等芯片。...鼓励科研院所、企业联合开展智能识别、数据处理等关键核心技术攻关，推进rfid石墨烯天线、mems传感器等一批关键技术研发和产业化，建设物联网垂直行业公共服务平台，参与制订行业和国家标准。

来源：北极星输配电网2016-04-08

(5)基于现有的研发能力和技术平台，发展适合宏发市场和技术定位的延伸产品与扩展产品，推进应用电子模块、氧传感器和工业连接器等产品产业化，预研新原理和新应用领域的元器件产品，如 mems、传感器、智能控制系统等相关领域产品

来源：北极星电力网2016-04-01

加强与中电科集团合作，建设国内领先的微机电系统(mems)化学传感器产业化基地。推广军民两用卫星激光通信技术，加快建设空间激光通信研发基地。

来源：华泰证券研究所2016-03-23

盾安环境坚持高端智能制造转型升级，在布局mems传感器、人机协作机器人的基础上，进一步向新能源汽车热管理系统拓展。我国新能源汽车产业2015年进入成长期。

来源：北极星输配电网2016-03-23

据ihs2015年11月份数据，消费和移动电子市场仍然是驱动mems增长的龙头，不但在总的mems市场中所占份额最大，其年复合增长率（2014-2019）达到了13.4%，相比之下同期总的mems市场年复合增长率则为

来源：中国证券网2016-03-23

作为国内最早的mems公司，苏州敏芯一直专注mems麦克风，并在去年推出了基于压力传感的压力触控传感器。...据ihs2015年11月份数据，消费和移动电子市场仍然是驱动mems增长的龙头，不但在总的mems市场中所占份额最大，其年复合增长率（2014-2019）达到了13.4%，相比之下同期总的mems市场年复合增长率则为