来源：中国智能制造网2016-09-08

其中，传感器间的联动、环境感知、场景联动将成为未来智能家居向用户提供智能化服务的重要技术基础，mems传感器技术作为智能家居领域产品的关键技术，将提供高性能、低成本的技术解决方案，将加速智能家居领域产品的快速发展

来源：北极星电力网2016-08-22

围绕四基领域军民通用重点产品的现实需求和长远发展，聚焦 3-4 英寸碳化硅单晶、光刻胶、浆料、锂电材料等电子材料，高性能真空电子器件、大功率激光器、红外焦平面、mems 器件等元器件，突破相关基础理论、...高性能光纤传感器、微机电系统(mems)传感器、多传感器元件芯片集成的 mco 芯片、视觉传感器及智能测量仪表、电子标签、条码等采集系统装备;分散式控制系统(dcs)、可编程逻辑控制器(plc)、数据采集系统

来源：北极星电力网2016-08-17

11.先进传感器及物联网开展8英寸微机电系统(mems)及传感器先导技术研发和中试，提升整体研发、设计和加工技术水平和产业技术创新能力。

来源：北极星风力发电网2016-08-16

以半导体芯片设计制造、集成电路和电子元器件封装测试、mems(微机电系统)传感器的研发和制造、高端引线框架为重点，建设兰州新区北大众志中国芯、华天集成电路封装测试升级改造、天光碳化硅器件研发及产业化项目等重大技术研发及产业化项目

来源：北极星环保网2016-08-16

以半导体芯片设计制造、集成电路和电子元器件封装测试、mems(微机电系统)传感器的研发和制造、高端引线框架为重点，建设兰州新区北大众志中国芯、华天集成电路封装测试升级改造、天光碳化硅器件研发及产业化项目等重大技术研发及产业化项目

来源：北极星电力网2016-08-16

以半导体芯片设计制造、集成电路和电子元器件封装测试、mems(微机电系统)传感器的研发和制造、高端引线框架为重点，建设兰州新区北大众志中国芯、华天集成电路封装测试升级改造、天光碳化硅器件研发及产业化项目等重大技术研发及产业化项目

来源：北极星太阳能光伏网2016-08-10

开展新型光通信器件、半导体照明、高效光伏电池、mems（微机电系统）传感器、柔性显示、新型功率器件、下一代半导体材料制备等新兴产业关键制造装备研发,提升新兴领域核心装备自主研发能力。

来源：北极星输配电网整理2016-08-09

开展新型光通信器件、半导体照明、高效光伏电池、mems（微机电系统）传感器、柔性显示、新型功率器件、下一代半导体材料制备等新兴产业关键制造装备研发,提升新兴领域核心装备自主研发能力。5.智能机器人。

来源：车云网2016-08-02

比如能够为自动驾驶提供3d定位的惯性传感器与气压传感器，惯性传感器负责检测水平方向变化，而气压传感器则可以用来检测车辆高度的变化；再比如用在主动安全系统中的各式各样mems传感器。

来源：北极星电力网2016-08-02

高速切削及复合加工等高端基础工艺的技术攻关和推广应用;推进高端模具钢、高性能轴承钢、海洋工程及能源装备高性能板材、高速列车高性能结构材料等关键基础材料的开发与应用;推进高速、精密、重载轴承、高可靠性机械密封件、超(超)临界机组安全阀用弹簧、单芯片mems

来源：北极星电力网2016-07-08

支持昆山、工业园区等地区加快形成mems产业集聚。新能源与节能环保产业。加快开发太阳能光伏、风能、核能等新能源技术和装备，以及太阳能光伏电池的生产制造新工艺。...突破精密重载数控机床制造、机器人系统设计与制造、工程机械智能化精确控制、增材制造、mems器件微纳复合加工及高性能低成本封装等关键技术，加强集成创新和自主研发。

来源：北极星环保网2016-06-27

集成电路用高性能硅基材料和特种电子气体等专用材料研发和产业化;光刻机、多线切割机、清洗机及cmp抛光机等关键设备研发和产业化;模拟及数模混合电路、微机电系统(mems)、高电压电路、射频电路等特色专用工艺生产线研发

来源：北极星储能网2016-06-13

8.发展应用到制药、印刷、色选、汽车、工程机械等多行业领域的系列化智能处理器;发展应用到包装机械、医疗设备、现代农业及公共安全智能装备领域的力矩传感器、柔性力敏传感器、mems传感器、半导体传感器、电化学传感器等高精尖探测元器件

来源：北极星环保网2016-05-23

集成电路设计，重点研发、设计平板电脑、智能手机、智能电视、高速光通信、微波通信、智能家电、移动支付终端及微电子机械系统(mems)等芯片产品及其解决方案。...集成电路封装测试，以现有晶圆制造厂为主，引进为辅，重点发展3d封装、mems封装、sip系统级封装等当前国际先进封装技术，建立与省内集成电路制造产能配套的封装测试能力。

来源：北极星储能网整理2016-05-19

推动光纤预制棒、超低损耗光纤、高压直流继电器、宽带网络核心光电子芯片与器件等产品产业化;发展超小型片式元件、柔性印制电路板等产品，提高核心元器件保障能力;突破cmos和mems传感器、智能光电传感器等瓶颈制约

来源：北极星环保网2016-05-18

推动光纤预制棒、超低损耗光纤、高压直流继电器、宽带网络核心光电子芯片与器件等产品产业化;发展超小型片式元件、柔性印制电路板等产品，提高核心元器件保障能力;突破cmos和mems传感器、智能光电传感器等瓶颈制约

来源：北极星电力网2016-05-18

推动光纤预制棒、超低损耗光纤、高压直流继电器、宽带网络核心光电子芯片与器件等产品产业化；发展超小型片式元件、柔性印制电路板等产品，提高核心元器件保障能力；突破cmos和mems传感器、智能光电传感器等瓶颈制约

来源：北极星电力网2016-05-16

加快发展面板驱动芯片、家电核心芯片、存储芯片国产化，推进一批8-12寸晶圆制造生产线和高端封装测试项目，以及砷(氮)化镓、碳化硅、mems等特色集成电路项目，打造中国ic之都。

来源：北极星输配电网2016-05-12

与此同时，在超级电容最早实现产业化运作的大本营智能仪器及高端电子消费品市场，mems微型电容器的创新概念迅速窜红。

来源：华夏幸福基业股份有限公司2016-05-10

通过与微机电系统(mems)纳米机电系统(nems)技术的结合，纳米发动机产生的机械能将有望为纳米器件和纳米机器人提供动力。