来源：北极星太阳能光伏网2015-04-21

而合作多年伙伴扩散炉管及pecvd领导设备商tempress，其n型高效电池及成熟p型高产能量产技术受到高度瞩目及肯定；一向以高精度及低银浆耗量特色著称的网印设备商整合集团资源以全新asm alternative

来源：国家发改委2015-04-02

电池工序取水量包括制绒清洗机用纯水量、石墨舟清洗、湿法刻蚀用纯水量、电池片二次清洗、pecvd尾气清洗等生产系统取水量，冷却塔、工艺制冷系统、空调系统、空压机系统、环保设备等辅助生产系统取水量或分摊量，...电池工序实际耗电包括制绒清洗机、扩散炉、刻蚀机、pecvd及尾气处理设备、印刷机、烘干炉、烧结炉、石墨舟清洗烘箱、电池测试分选仪、包装设备、传输和装卸载等自动化设备等生产系统耗电，车间内照明、冷却塔、制冷机

来源：电力系统装备2015-03-24

但由于pecvd和lpcvd等高端装备一直列于重大装备进口免税目录中，享受零关税的优惠待遇。这使国内高端装备企业在与占垄断地位的国外同行的竞争中处于劣势，阻碍了高端装备的国产化进程。...为了实现太阳能等高端装备国产化，有效降低成本，正泰集团理想能源设备公司经过6年艰难的探索创新，打破了欧美国家的长期垄断，成功推出了具有自主知识产权的生产led外延片的关键设备mocvd、生产太阳能薄膜电池的关键设备pecvd

来源：虎嗅网2015-02-11

2010年6月，铂阳公告称与汉能控股签订总金额为25.5亿美元的销售协议（包含了420台pecvd设备及90台pvd设备）。当年，汉能表面上与铂阳没有任何股权关系，却凭几张大订单锁定了这家上市公司。

来源：PV-Tech2015-02-09

系统订单涵盖扩散、等离子体增强化学气相沉积(pecvd)和离子注入系统，预计将在未来三至九个月出货。...amtech指出，其中一个订单包括多个tempress pecvd系统，对于日本一家领先的太阳能电池和组件制造商。

来源：PV-Tech2015-01-14

此外，如果在ald电池工艺中，在sin封层上直接使用pecvd，则可采用集成退火工艺，其最终制成的电池性能要比pecvd氧化铝工艺好得多。...我们的目标是向太阳能产业表明，在晶硅太阳能电池的钝化工艺中使用空间ald解决方案，相较于pecvd氧化铝具有更高的潜力。

来源：pv-magazine2015-01-07

amtech表示solaytecald工具将与tempresspecvd程序进行组合一并推出。amtech还将继续与rena合作推出其湿化学技术。amtech sytems总部位于亚利桑那州的坦佩。

来源：pv-magazine2015-01-07

amtech表示solaytecald工具将与tempresspecvd程序进行组合一并推出。amtech还将继续与rena合作推出其湿化学技术。amtech sytems总部位于亚利桑那州的坦佩。

来源：《太阳能发电》杂志2014-12-25

过去我们只有层压机、模拟仪、扩散炉，而现在pecvd、切割机等都可以国产化了，中国光伏已经在产业、市场、技术、成本甚至制造装备等各个方面都走到了世界前列，中国光伏正在实现从中国制造到中国创造的转变。

来源：光伏资讯2014-12-12

硅片切割后，进入电池片生产阶段，此时除了前期对于硅片的清洗制绒外需要各类酸碱和纯水辅料外，扩散还需要用到三氯氧磷气体，pecvd要用到硅烷气体，电极加工要用到银浆和铝浆，这些辅材的消耗量甚至不亚于主原料硅的价值

来源：PV-Tech2014-11-24

现阶段，solaytec的ald氧化铝比竞争技术，如pecvdalox少消耗4-5。

来源：世纪新能源网2014-11-24

，他也说中国的装备制造其实也已经走到了世界前列，不知不觉，因为中国体量最大，吨位决定地位，就是60%制造业都在中国，这个装备不可能自己没有进步，也是现在过来了，过去我们只有层压机、模拟仪、扩散炉，现在pecvd

来源：新浪博客2014-11-21

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（pecvd）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和pecvd等薄膜太阳能电池生产设备。

来源：PV-Tech2014-11-18

梅耶博格与ethlausanne合作开发一种低温(200c)pecvd工艺，为了沉积硅片双面所需的非晶硅层，降低能源成本，使薄膜硅片得以加工，并且在正面接触使用相当少的银。

来源：北极星电力网2014-11-07

流量计吹灌旋生产线套吹塑头数20;灌装头60;整机成品合格率99%;理盖旋盖损盖率0.1%每小时产品电耗189kw.h17、电子及医疗专用装备17.1 电子专用装备17.1.1全自动化等离子体增强化学气相沉积装备(pecvd

来源：OFweek 工控网2014-10-31

目前的产品主要有：磁控溅射镀膜设备、离子束溅射镀膜设备、化学气相淀积设备(pecvd)、干法刻蚀设备(rie，icp，ibe)、匀胶机、烘胶机、去胶机、非标真空设备等。

来源：Solarzoom2014-09-30

晶体硅太阳能电池背钝化的方法钝化是制造太阳能电池的一个重要工艺，目前商业化的太阳能电池的前表面钝化都采用pecvd沉积si3n4膜钝化或热氧化生长sio2+pecvd沉积si3n4膜，且效果良好，不需要太多的改进

来源：OFweek 光通讯网2014-09-28

、模块、子系统，包括10gb/s及以下速率接入网用pon系列光器件模块，掌握了光电子器件核心技术，其中波长可调谐激光器项目获得了2013年国家高技术研究发展计划(863计划)立项;公司拥有mocvd、pecvd

来源：和讯网2014-09-22

pecvd，我们在生产现场已经做到23%的效率，将来还会提升。...我们做了很多创新，我们抓住了里面的龙头就是高端装备国产化，我们有mocvd、lpcvd、pecvd，我们有很多创新做法，目前在全球领域被工人的是第一代的晶硅，单晶和多晶，再加上第一代的多膜技术，这个技术的装备就是右上角我今天给大家汇报的

来源：金融投资报2014-08-19

2012年，公司收购wtd(即武汉电信器件有限公司)完成了对有源光器件的产业整合，从此公司产品覆盖了有源、无源以及光电混合的全系列各类光器件和模块;2013年上半年，公司收购了丹麦ipx，获得了基于pecvd