来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-07-31

但同时由于：①存在soret效应，②hcl和sicl4在高温下对硅棒具有刻蚀作用，③高温导致反应气体不能到达硅棒表面，即化学气相沉积未在硅棒表面发生，而是在高温区的气相中就已经反应了，使得硅粉微粒被气相带出反应器

来源：中国太阳能光伏网2012-07-24

中电48所在2010年、2011年连续两年成为跻身光伏装备制造业全球十强的中国企 业，其在刻蚀机、去胶机、扩散/氧化炉、合金退火炉、网带炉、pecvd设备、离子注入机等半导体专用设备方面有很深入的研究，

来源：OFweek太阳能光伏网2012-07-16

48所太阳电池制造装备具备了整线交钥匙工程的能力，国内市场占有率达到80%以上，扩散炉、刻蚀机、pecvd等装备批量供应国际著名的无锡尚德太阳能电力有限公司等;磁性材料制造装备的国内市场占有率也达70%

来源：工控网2012-07-02

我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、光伏组件的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机...我国光伏电池制造设备的技术水平首先，在湿法腐蚀、清洗设备、扩散方面，主要是自动制绒设备、自动清洗设备、全封闭扩散炉、刻蚀机、去psg设备等国内已经能够制造，已经达到世界先进水平，且性价比优势十分明显;国产

来源：北极星太阳能光伏网2012-06-28

硅锭经过切片、刻蚀、清洗、丝网印刷、测试等一系列工艺加工成电池片，电池片再经过层压、焊接等工序封装成组件。直到这时，一块能光照发电的太阳能电池组件才算最终制造完成。

来源：solarzoom2012-06-11

此外，当气压过高时，氢等离子体的刻蚀变得更加活跃，使得sih2结构的基团增多，sih2基团的增多意味着有更多的晶界和微孔，它们都是类似于悬挂键的有效复合中心。因此少子寿命降低。...适量的氢刻蚀，可以断裂弱的si-h键和不稳定的si-si键，从而减小薄膜应力，相对于高氢稀释条件来说，此时sih基团是主要的生成物，因此晶界、微孔都相应变少，薄膜的缺陷态少，质量有所提高。

来源：中国电子报2012-05-29

近年来，先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、pecvd、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交钥匙系统方案...2001年，中国电科48所与无锡尚德太阳能科技股份有限公司合作开发太阳能光伏专用装备--刻蚀机与扩散炉，中国电科48所正式进军光伏领域，标志着我国太阳能电池专用装备进入了自主研发阶段;2006年，在国家高性能晶体硅太阳能电池生产成套技术研究项目的支持下

来源：北极星太阳能光伏2012-05-25

在太阳能电池的一般生产工艺中，经过扩散制结，等离子刻蚀去周边和pecvd制减反膜，下一工艺主要是形成良好的电极接触，而这正是通过丝网印刷和烧结两道工艺共同完成的。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-24

概述前面几章已经介绍了太阳电池生产线上的清洗制绒、扩散和刻蚀等设备结构及性能参数。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-23

2.干法刻蚀干法刻蚀是把材料的被刻蚀表面暴露于等离子体中，等离子体通过光刻胶中开出的窗口与材料发生物理或化学的反应，从而去掉暴露的材料。干法刻蚀又可分为物理性刻蚀与化学性刻蚀。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-22

本次调查所指称的晶体硅太阳能光伏电池指使用硅片厚度大于20微米，使用任意工艺形成有p-n结，接受但不仅限于以下工艺处理：清洗、刻蚀、镀膜、金属化及其他导电技术。

来源：ne21.com2012-05-15

四路精密分光系统将激光能量均分成四路输出，可同时刻蚀四路电极（见图7、图8）。图7：华工激光的激光刻膜机可同时刻蚀四路电极...华工激光新推出的激光刻膜机ldy1040/ldg540采用先进的激光刻蚀技术，对太阳能非晶硅薄膜电池板的电极层和发电层进行刻蚀。整机采用龙门式结构，由工作台带动电池板与激光头作相对运动。

来源：北极星太阳能光伏（独家）2012-05-14

目前，多晶硅绒面技术主要有机械刻槽、激光刻槽、等离子刻蚀（ｒｉｅ）和各向同性酸腐蚀。...等离子刻蚀制备出硅片表面陷光效果是非常好的，但它需要相对复杂的处理工序和昂贵的加工系统。在硅片表面织构的制作过程中，可能会引入机械应力和损伤，在后处理中形成缺陷。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-05-08

由于温度较高的情况下，溶液在制绒槽时会不稳定，所以一般不宜长时间超过10℃，当前补液能保证刻蚀速率不下降，那么无需调高刻蚀溶液的温度。

来源：Solarbe2012-05-04

激光刻蚀之薄也创下了纪录。这不仅增加了组件的活动范围，也显著提高了组件的工作效率。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-04-25

所以适当调节湿法刻蚀工艺，在保证刻蚀深度的情况下，尽量减小边缘刻蚀宽度，从而在一定程度上可以减少高漏电电池比例。...２.２．３湿法刻蚀工艺湿法刻蚀造成电池暗电流偏高的个重要原因是刻蚀边缘较大，ｐｎ结遭到破坏，导致镀膜印刷烧结后漏电。

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-24

而边缘发亮的黑片我们称之为非短路黑片，这种电池片大多产生于单面扩散工艺或是湿法刻蚀工艺，单面扩散放反导致在背面镀膜印刷，造成是pn结反，也就是我们通常所说的n型片，这种电池片会造成iv测试曲线呈现台阶，

来源：中国新能源网2012-04-13

所谓的刻线是将30-80m大小的单个光脉冲串联起来，而在p1中采用几十纳秒脉宽(10到80ns)的脉冲来刻蚀。当加工到膜层的边缘时，材料的一部分被升华，蒸汽压力可以吹走被刻蚀的材料。...等离子刻蚀未能满足自动化要求，破损率很高。经验证的工艺：晶硅电池的选择性掺杂激光器越来越多地用于掺杂工艺，因为它能在太阳能电池上提高局部掺杂浓度得分布从而改善载流子的移动性，特别是接触栅极。

来源：中国吉林网2012-04-11

庆达新能源公司成立伊始，就以抢占光伏行业的制高点为宗旨，先后从国内外选购具有世界先进水平的生产设备，其中德国的清洗制绒和刻蚀设备、中国电子科技集团的扩散和镀减反射膜设备、日本和意大利的丝网印刷设备、美国的烧结设备

来源：PV-Tech2012-04-10

其中的难点包括：粗糙表面上的材料生长控制技术、高速纳米晶体硅沉积技术、多步顶衬刻蚀、静态及动态等离子沉积技术。