来源：《太阳能发电》杂志2012-10-17

半导体还有很多值得光伏借鉴的经验，比如离子注入、等离子刻蚀等，只是在成本方面可能还贵了一点。

来源：北极星电力网2012-10-10

led 生产设备，主要包括 mocvd 设备、刻蚀机、离子注入机等及相关 检测设备。...12 英寸集成电路高端制造线设备，包括 12 英寸集成电路生产线所用的光刻机、刻蚀机、离子注入机等及相关测试设备。

来源：北极星电力网2012-10-10

新型高效荧光粉等开发及制造技术，生产型金属有机源化学气相沉积设备(mocvd)、氢化物气相外延(hvpe)等外延装备制造关键技术，高强度气体放电灯用大功 率电子镇流器新技术、感应耦合等离子体(icp)刻蚀机等芯片

来源：科技部2012-09-19

深入研究等离子体与钨基壁材料相互作用理论规律、物理机制、相关技术以及深入的实验研究，包括边界等离子体输运及偏滤器行为、边界等离子体原子分子过程、壁材料等离子体辐照效应和高热负荷效应、氢同位素滞留与输运、壁表面刻蚀和再沉积原位诊断技术

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-09-06

目前行业出现的另外一种技术化学腐蚀去边与背面腐蚀抛光技术集刻蚀与去psg一体，背面绒面的抛光极大降低了入射光的透射损失、提高电池红光响应。...激光开槽隔离技术根据pn结深度而在硅片边缘开一物理隔离槽，但与国外情况相反，据国内使用情况来看电池效率反而不及等离子体刻蚀技术，因此该方法有待进一步研究。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-09-04

反应离子刻蚀技术(rie)是最有发展前景的技术，它首先在硅片表面形成一层mask(掩膜)再显影出表面织构模型，然后再利用反应离子刻蚀方法制备表面织构。...京瓷产业化17.2%~17.7%的多晶硅电池就是采用等离子刻蚀工艺的一个成功典范。(作者：和海一样的新能源)

来源：北极星太阳能光伏网2012-08-30

④ 扩散炉和刻蚀机采用从48所订制的半导体级产品，扩散后有特殊处理。

来源：北极星太阳能光伏网2012-08-27

多晶硅由于结构的各项同性而使采用碱腐蚀织构化效果不好，日本京瓷(kyocera)公司采用pecvd/sin+表面织构化采用反应性等离子刻蚀技术(rie)。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-27

多晶硅由于结构的各项同性而使采用碱腐蚀织构化效果不好，日本京瓷(kyocera)公司采用pecvd/sin+表面织构化采用反应性等离子刻蚀技术 (rie)。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-07-31

但同时由于：①存在soret效应，②hcl和sicl4在高温下对硅棒具有刻蚀作用，③高温导致反应气体不能到达硅棒表面，即化学气相沉积未在硅棒表面发生，而是在高温区的气相中就已经反应了，使得硅粉微粒被气相带出反应器

来源：中国太阳能光伏网2012-07-24

中电48所在2010年、2011年连续两年成为跻身光伏装备制造业全球十强的中国企 业，其在刻蚀机、去胶机、扩散/氧化炉、合金退火炉、网带炉、pecvd设备、离子注入机等半导体专用设备方面有很深入的研究，

来源：OFweek太阳能光伏网2012-07-16

48所太阳电池制造装备具备了整线交钥匙工程的能力，国内市场占有率达到80%以上，扩散炉、刻蚀机、pecvd等装备批量供应国际著名的无锡尚德太阳能电力有限公司等;磁性材料制造装备的国内市场占有率也达70%

来源：工控网2012-07-02

我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、光伏组件的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机...我国光伏电池制造设备的技术水平首先，在湿法腐蚀、清洗设备、扩散方面，主要是自动制绒设备、自动清洗设备、全封闭扩散炉、刻蚀机、去psg设备等国内已经能够制造，已经达到世界先进水平，且性价比优势十分明显;国产

来源：北极星太阳能光伏网2012-06-28

硅锭经过切片、刻蚀、清洗、丝网印刷、测试等一系列工艺加工成电池片，电池片再经过层压、焊接等工序封装成组件。直到这时，一块能光照发电的太阳能电池组件才算最终制造完成。

来源：solarzoom2012-06-11

此外，当气压过高时，氢等离子体的刻蚀变得更加活跃，使得sih2结构的基团增多，sih2基团的增多意味着有更多的晶界和微孔，它们都是类似于悬挂键的有效复合中心。因此少子寿命降低。...适量的氢刻蚀，可以断裂弱的si-h键和不稳定的si-si键，从而减小薄膜应力，相对于高氢稀释条件来说，此时sih基团是主要的生成物，因此晶界、微孔都相应变少，薄膜的缺陷态少，质量有所提高。

来源：中国电子报2012-05-29

近年来，先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、pecvd、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交钥匙系统方案...2001年，中国电科48所与无锡尚德太阳能科技股份有限公司合作开发太阳能光伏专用装备--刻蚀机与扩散炉，中国电科48所正式进军光伏领域，标志着我国太阳能电池专用装备进入了自主研发阶段;2006年，在国家高性能晶体硅太阳能电池生产成套技术研究项目的支持下

来源：北极星太阳能光伏2012-05-25

在太阳能电池的一般生产工艺中，经过扩散制结，等离子刻蚀去周边和pecvd制减反膜，下一工艺主要是形成良好的电极接触，而这正是通过丝网印刷和烧结两道工艺共同完成的。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-24

概述前面几章已经介绍了太阳电池生产线上的清洗制绒、扩散和刻蚀等设备结构及性能参数。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-23

2.干法刻蚀干法刻蚀是把材料的被刻蚀表面暴露于等离子体中，等离子体通过光刻胶中开出的窗口与材料发生物理或化学的反应，从而去掉暴露的材料。干法刻蚀又可分为物理性刻蚀与化学性刻蚀。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-22

本次调查所指称的晶体硅太阳能光伏电池指使用硅片厚度大于20微米，使用任意工艺形成有p-n结，接受但不仅限于以下工艺处理：清洗、刻蚀、镀膜、金属化及其他导电技术。