来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-02-27

同时，ald关键技术的成功攻关，将促进多个工业领域包括半导体、cmos图像传感器、led、mems、显示器、光伏和锂离子电池的产业化发展。

来源：北极星环保网2017-02-24

光通信器件领域，重点发展光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和mems光开关等器件。...在制造环节，加快45nm/32nm/28nm先进工艺芯片的研发及产业化，引进和吸收先进生产制造工艺，推动22/20nm、16/14nm等先进生产线建设，发展先进高压电路、数模混合集成工艺、微机电系统(mems

来源：北极星环保网2017-02-10

mems和物联网。以泰宝防伪、齐芯微科、山东城联一卡通等骨干企业为龙头，重点发展陀螺仪、加速度仪等各类mems的产业化，推动以mems、rfid等新型传感器为主的物联网应用。

来源：北极星输配电网整理2017-01-03

以最小化供电商的运行费用和负荷侧的竞价补贴费用为目标，所有参与该项目的用户都必须按决策信息约定执行mems下发的控制计划命令。...本发明公开了一种电力市场下的微电网能量管理方法，该方法mems结合市场实时电价以及分布式供电商报价、机组容量等信息，在可再生能源出力预测和负荷预测技术的基础上，通过优化程度制定分布式供电商的生产计划，同时确定负荷侧的控制方案

来源：北极星输配电网整理2016-12-14

针对电力市场下，负荷侧参与补贴竞价的微网能量管理，具体策略及实施步骤如下：step1：能量管理系统mems收集最新的分布式能源预测数据，以及负荷预测数据，大电网实时电价，同时mems需将实时电价信息发送给各个分布式供电商以及用户

来源：北极星电力网2016-12-08

重点突破高性能光纤传感器、微机电系统(mems)传感器、视觉传感器、分散式控制系统(dcs)、可编程逻辑控制器(plc)、数据采集系统(scada)、高性能高可靠嵌入式控制系统等核心产品，在机床、机器人

来源：北极星电力网2016-12-07

集成电路设计，线宽 28 纳米及以下大规模数字集成电路制造，0.11 微米及以下模拟、数模集成电路制造，mems 和化合物半导体集成电路制造及 bga、pga、fpga、csp、mcm 等先进封装与测试

来源：北极星电力网2016-11-29

智能传感器、新型光电传感器、磁传感器、mems传感器、声传感器、硅基传感器、机器人专用传感器、堆芯出口温度测量核级铠装热电偶及组件、主回路直接测温核级铠装铂电阻及组件、反应堆压力容器水位监测组件、高精度视觉传感器

来源：无人机频道2016-11-11

固定翼无人机飞控系统无人机飞控系统是集成gps接收机、三轴mems陀螺仪、三轴加速度计、三轴磁传感器、高精度气压计，以提供高精度姿态模式。

来源：北极星电力网2016-11-01

高性能计算、服务器/桌面计算机中央处理器（cpu），半导体存储器，智能终端系统级芯片（soc），云计算、物联网、大数据核心芯片，电力电子芯片，16/14nm先进制造工艺以及高压、射频、数模混合、微机电系统（mems

来源：北极星环保网2016-11-01

高性能计算、服务器/桌面计算机中央处理器（cpu），半导体存储器，智能终端系统级芯片（soc），云计算、物联网、大数据核心芯片，电力电子芯片，16/14nm先进制造工艺以及高压、射频、数模混合、微机电系统（mems

来源：北极星环保网2016-10-28

积极打造中国ic之都(合肥)，聚焦存储、驱动、射频芯片以及微机电系统(mems)等特色芯片，以设计和制造为核心，积极发展封装测试、专用装备和材料产业。...新型传感器方面，加快建设6英寸以上可控增益固态微光图像传感器(emccd)生产线，规划建设国际先进水平的8英寸微机电系统(mems)生产线。大力发展芯片设计业。

来源：北极星电力网2016-10-28

围绕光通信、光显示、红外传感、北斗导航等特色优势领域，以整机应用和信息消费需求为牵引，推动整机与芯片联动，开发生产量大面广的特色芯片，重点发展红外气体敏感传感器、压力传感器、磁敏感传感器、电子标签和mems

来源：北极星环保网2016-10-27

围绕光通信、光显示、红外传感、北斗导航等特色优势领域，以整机应用和信息消费需求为牵引，推动整机与芯片联动，开发生产量大面广的特色芯片，重点发展红外气体敏感传感器、压力传感器、磁敏感传感器、电子标签和mems

来源：光纤测试2016-10-24

可管理等性能的要求，研制相关关键光电子器件与模块，支撑智能光网络技术的快速发展和应用，主要包括智能化光放大器技术、可重构的光分插复用器关键技术、单片集成宽带可调谐半导体激光器技术、宽带可调光滤波器技术和基于mems

来源：北极星电力网2016-10-20

积极打造中国ic之都(合肥)，聚焦存储、驱动、射频芯片以及微机电系统(mems)等特色芯片，以设计和制造为核心，积极发展封装测试、专用装备和材料产业。...新型传感器方面，加快建设6英寸以上可控增益固态微光图像传感器(emccd)生产线，规划建设国际先进水平的8英寸微机电系统(mems)生产线。大力发展芯片设计业。

来源：产业前沿2016-10-19

另外，纳米材料、石墨烯等新材料以及mems+nems+薄膜技术的创新工艺也被业界广泛关注。二是集成化、小型化与多功能。...就拿心率检测来说，村田创新的模块化方案结合了加速度mems传感器、信号处理和无线模块，可以无接触地测量病人躺在床上的心脏冲击扫描信号。

来源：环球表计2016-10-18

rfid、mems新型传感器技术、微型传感技术、保证传感器量值的准确可靠。要加强远程传输、远传校准、扁平校准等新计量测试技术的研究。实现物联网信息化智能制造。...观点三：信息化、智能化和模块化首先说一下未来智能电表的新需求点：工业化、信息化智能制造大数据，通讯时效性要求双向互动，自愈自诊断mems新型传感器技术ir46要求、iec62052-31下一代智能电表一定是智能化制造

来源：NE电气2016-09-30

mems的最基础方面是微制备技术的加工知识，制造微小结构的方法。...). mems是一个极端多学科交叉的领域，对许多工程与科学领域有重大影响，尤其是电气工程，机械工程，生物工程等等`。

来源：北极星环保网2016-09-26

发挥产业基金推动作用;自主发展各系列的cpu产品,形成自主芯片开发、升级和应用的核心能力;加快推进新建12英寸生产线建设,支持16/14纳米工艺量产及10纳米先导工艺技术研发,发展嵌入式闪存、微机电系统(mems...突破传感器的敏感机理、敏感材料、工艺设备和计量检测等关键技术;开展8英寸微机电系统(mems)研发,推进运动、图像、环境、生物等传感器研制;加强工业系统互联,推进生产制造设备联网和智能管控,支持企业对生产设备系统全面联网