来源：北极星电力网2016-10-28

围绕光通信、光显示、红外传感、北斗导航等特色优势领域，以整机应用和信息消费需求为牵引，推动整机与芯片联动，开发生产量大面广的特色芯片，重点发展红外气体敏感传感器、压力传感器、磁敏感传感器、电子标签和mems

来源：北极星环保网2016-10-27

围绕光通信、光显示、红外传感、北斗导航等特色优势领域，以整机应用和信息消费需求为牵引，推动整机与芯片联动，开发生产量大面广的特色芯片，重点发展红外气体敏感传感器、压力传感器、磁敏感传感器、电子标签和mems

来源：光纤测试2016-10-24

可管理等性能的要求，研制相关关键光电子器件与模块，支撑智能光网络技术的快速发展和应用，主要包括智能化光放大器技术、可重构的光分插复用器关键技术、单片集成宽带可调谐半导体激光器技术、宽带可调光滤波器技术和基于mems

来源：北极星电力网2016-10-20

积极打造中国ic之都(合肥)，聚焦存储、驱动、射频芯片以及微机电系统(mems)等特色芯片，以设计和制造为核心，积极发展封装测试、专用装备和材料产业。...新型传感器方面，加快建设6英寸以上可控增益固态微光图像传感器(emccd)生产线，规划建设国际先进水平的8英寸微机电系统(mems)生产线。大力发展芯片设计业。

来源：产业前沿2016-10-19

另外，纳米材料、石墨烯等新材料以及mems+nems+薄膜技术的创新工艺也被业界广泛关注。二是集成化、小型化与多功能。...就拿心率检测来说，村田创新的模块化方案结合了加速度mems传感器、信号处理和无线模块，可以无接触地测量病人躺在床上的心脏冲击扫描信号。

来源：环球表计2016-10-18

rfid、mems新型传感器技术、微型传感技术、保证传感器量值的准确可靠。要加强远程传输、远传校准、扁平校准等新计量测试技术的研究。实现物联网信息化智能制造。...观点三：信息化、智能化和模块化首先说一下未来智能电表的新需求点：工业化、信息化智能制造大数据，通讯时效性要求双向互动，自愈自诊断mems新型传感器技术ir46要求、iec62052-31下一代智能电表一定是智能化制造

来源：NE电气2016-09-30

mems的最基础方面是微制备技术的加工知识，制造微小结构的方法。...). mems是一个极端多学科交叉的领域，对许多工程与科学领域有重大影响，尤其是电气工程，机械工程，生物工程等等`。

来源：北极星环保网2016-09-26

发挥产业基金推动作用;自主发展各系列的cpu产品,形成自主芯片开发、升级和应用的核心能力;加快推进新建12英寸生产线建设,支持16/14纳米工艺量产及10纳米先导工艺技术研发,发展嵌入式闪存、微机电系统(mems...突破传感器的敏感机理、敏感材料、工艺设备和计量检测等关键技术;开展8英寸微机电系统(mems)研发,推进运动、图像、环境、生物等传感器研制;加强工业系统互联,推进生产制造设备联网和智能管控,支持企业对生产设备系统全面联网

来源：北极星电力网2016-09-26

发挥产业基金推动作用;自主发展各系列的cpu产品,形成自主芯片开发、升级和应用的核心能力;加快推进新建12英寸生产线建设,支持16/14纳米工艺量产及10纳米先导工艺技术研发,发展嵌入式闪存、微机电系统(mems...突破传感器的敏感机理、敏感材料、工艺设备和计量检测等关键技术;开展8英寸微机电系统(mems)研发,推进运动、图像、环境、生物等传感器研制;加强工业系统互联,推进生产制造设备联网和智能管控,支持企业对生产设备系统全面联网

来源：中国智能制造网2016-09-22

主要有以下几种：mems传感器：在维持飞行控制中起到关键的作用。多轴磁传感器：维持方向和飞行路径的关键。多轴磁传感器可通过感知方向将数据传输至中央处理器，从而指示方向和速度。...有的传感器mems芯片中已经集成了dsp，与之搭配的话，更加简单的8位单片机也可以做到。无人机的五官：传感器随着无人机的功能不断增加，传感器技术在新型无人机技术及解决方案中应用越来越多。

来源：北极星电力网2016-09-19

大力发展mems(微机电系统)器件、智能传感器及敏感元器件、宽禁带半导体器件、微波器件、半导体功率器件等，推动新型半导体分立器件规模化发展。...重点项目：依托西安高新区、西安经开区、航空基地、航天基地等重点园区，加快推进集成电路代工、8英寸igbt芯片、4英寸inp(磷化铟)工艺线、mems器件、高端sic半导体功率器件、单晶硅抛光片等重大制造项目

来源：北极星输配电网2016-09-19

大力发展mems(微机电系统)器件、智能传感器及敏感元器件、宽禁带半导体器件、微波器件、半导体功率器件等，推动新型半导体分立器件规模化发展。...重点项目：依托西安高新区、西安经开区、航空基地、航天基地等重点园区，加快推进集成电路代工、8英寸igbt芯片、4英寸inp(磷化铟)工艺线、mems器件、高端sic半导体功率器件、单晶硅抛光片等重大制造项目

来源：ittbank2016-09-18

官网：/国内：1、杭州士兰微电子股份有限公司总部：杭州主营：mcu,电源管理，功率驱动模块，数字音视频，音响，led,mems传感器，半导体分立器件芯片等等。

来源：搜狐中翼网2016-09-12

产品包括集成了混合信号处理电路的mems加速度传感器、磁传感器、电子指南针、mems流量传感器及系统和电流传感器等。...关于美新总部位于美国马萨诸塞州安多弗的美新公司，是一家专注于mems传感器和传感系统解决方案的公司。美新是全球仅有的同时具备mems传感器和传感系统集成技术的公司。

来源：中国智能制造网2016-09-08

其中，传感器间的联动、环境感知、场景联动将成为未来智能家居向用户提供智能化服务的重要技术基础，mems传感器技术作为智能家居领域产品的关键技术，将提供高性能、低成本的技术解决方案，将加速智能家居领域产品的快速发展

来源：北极星电力网2016-08-22

围绕四基领域军民通用重点产品的现实需求和长远发展，聚焦 3-4 英寸碳化硅单晶、光刻胶、浆料、锂电材料等电子材料，高性能真空电子器件、大功率激光器、红外焦平面、mems 器件等元器件，突破相关基础理论、...高性能光纤传感器、微机电系统(mems)传感器、多传感器元件芯片集成的 mco 芯片、视觉传感器及智能测量仪表、电子标签、条码等采集系统装备;分散式控制系统(dcs)、可编程逻辑控制器(plc)、数据采集系统

来源：北极星电力网2016-08-17

11.先进传感器及物联网开展8英寸微机电系统(mems)及传感器先导技术研发和中试，提升整体研发、设计和加工技术水平和产业技术创新能力。

来源：北极星风力发电网2016-08-16

以半导体芯片设计制造、集成电路和电子元器件封装测试、mems(微机电系统)传感器的研发和制造、高端引线框架为重点，建设兰州新区北大众志中国芯、华天集成电路封装测试升级改造、天光碳化硅器件研发及产业化项目等重大技术研发及产业化项目

来源：北极星环保网2016-08-16

以半导体芯片设计制造、集成电路和电子元器件封装测试、mems(微机电系统)传感器的研发和制造、高端引线框架为重点，建设兰州新区北大众志中国芯、华天集成电路封装测试升级改造、天光碳化硅器件研发及产业化项目等重大技术研发及产业化项目

来源：北极星电力网2016-08-16

以半导体芯片设计制造、集成电路和电子元器件封装测试、mems(微机电系统)传感器的研发和制造、高端引线框架为重点，建设兰州新区北大众志中国芯、华天集成电路封装测试升级改造、天光碳化硅器件研发及产业化项目等重大技术研发及产业化项目