来源：《中国电子报》2007-03-07

他们研制的100nm大角度离子注入机一举打破了由国外公司对高端半导体设备的垄断，实现了我国集成电路制造装备的重大技术跨越，使我国高端集成电路核心设备技术水平跨越了5代，使未来2-3年我国集成电路制造业从

2007-01-19

例如在《纲要》中，核心电子器件、高端通用芯片与基础软件、超大规模集成电路制造技术及成套工艺便被列为16个重点专项中的2项。