来源：北极星环保网2016-10-21

2.节能技术产业化应用示范工程示范推广微纳机电系统、绿色建筑技术集成应用、太阳能光热技术与传统技术的结合、分布式能源系统集成、分布式冷热电联供技术、综合集成智能电网等先进节能技术或装备。

来源：北极星电力网2016-10-20

积极打造中国ic之都(合肥)，聚焦存储、驱动、射频芯片以及微机电系统(mems)等特色芯片，以设计和制造为核心，积极发展封装测试、专用装备和材料产业。...新型传感器方面，加快建设6英寸以上可控增益固态微光图像传感器(emccd)生产线，规划建设国际先进水平的8英寸微机电系统(mems)生产线。大力发展芯片设计业。

来源：北极星电力网2016-10-17

节能技术产业化应用示范工程示范推广微纳机电系统、绿色建筑技术集成应用、太阳能光热技术与传统技术的结合、分布式能源系统集成、分布式冷热电联供技术、综合集成智能电网等先进节能技术或装备。

来源：北极星电力网2016-10-17

，研发适用于新建和既有建筑的调适技术体系，开发适用于公共机构建筑的调适标准、高效调适检测与诊断等软硬件工具，开展机电系统综合效能调适技术应用示范与效果评价。...考核指标：开发2种及以上多能源协调高效利用系统并应用示范，可再生能源利用比例达30%以上，较十二五公共机构碳排放量平均水平降低15%以上;开发机电系统调适工具2项，暖通空调系统能效比(cop)较公共机构现状提高

来源：北极星环保网2016-10-14

，研发适用于新建和既有建筑的调适技术体系，开发适用于公共机构建筑的调适标准、高效调适检测与诊断等软硬件工具，开展机电系统综合效能调适技术应用示范与效果评价。...考核指标：开发2种及以上多能源协调高效利用系统并应用示范，可再生能源利用比例达30%以上，较十二五公共机构碳排放量平均水平降低15%以上；开发机电系统调适工具2项，暖通空调系统能效比（cop）较公共机构现状提高

来源：北极星电力网2016-10-12

航空发动机、航电系统、飞控系统、机电系统以及显示组件、惯性器件、大功率电力器件、航空专用传感器等零部件。市域快轨车。...重点支持皮拉图斯飞机工业（中国）有限公司等骨干企业技术改造，加快引进航电系统、飞控系统、机电系统以及显示组件、惯性系统等领域企业。高技术船舶。

来源：NE电气2016-09-30

本方面包括生物仪器，生物传感器，计算神经网络，生物医学超声学，微机电系统(mems)，神经系统中信号的传递与编码，高能粒子与生命物质的相互作用，高能粒子束与高能x光在治疗肿瘤中的临床应用。

来源：北极星环保网2016-09-26

整合行业资源,发挥产业基金推动作用;自主发展各系列的cpu产品,形成自主芯片开发、升级和应用的核心能力;加快推进新建12英寸生产线建设,支持16/14纳米工艺量产及10纳米先导工艺技术研发,发展嵌入式闪存、微机电系统

来源：北极星电力网2016-09-26

整合行业资源,发挥产业基金推动作用;自主发展各系列的cpu产品,形成自主芯片开发、升级和应用的核心能力;加快推进新建12英寸生产线建设,支持16/14纳米工艺量产及10纳米先导工艺技术研发,发展嵌入式闪存、微机电系统

来源：北极星电力网2016-09-19

，加快节能技术装备产业化，着力推广应用高效燃烧、高效换热等先进技术和装备，在电机系统领域，重点推广达到国家1 、2 级能效标准的电动机、变压器、高效变频器、无功补偿器、风机、水泵、空压机系统，加快现有机电系统节能改造

来源：北极星电力网2016-09-19

大力发展mems(微机电系统)器件、智能传感器及敏感元器件、宽禁带半导体器件、微波器件、半导体功率器件等，推动新型半导体分立器件规模化发展。

来源：北极星输配电网2016-09-19

大力发展mems(微机电系统)器件、智能传感器及敏感元器件、宽禁带半导体器件、微波器件、半导体功率器件等，推动新型半导体分立器件规模化发展。

来源：中国产业信息网2016-09-13

在此背景下，机电安装工程公司开始关注所安装机电系统的能效，并积极采用节能新技术、新工艺、新材料和新设备进行差异化竞争，形成了一个新兴的市场节能机电工程市场。

来源：福建电建微讯2016-09-01

西延线35千伏交流环网顺利电通，为后续直流系统送电、接触网热滑、机电系统调试、综合系统大联调提供了可靠的电源保障，也为成都地铁4号线二期西延线的顺利通车奠定了坚实基础。

来源：中国产业信息网2016-08-24

在此背景下，机电安装工程公司开始关注所安装机电系统的能效，并积极采用节能新技术、新工艺、新材料和新设备进行差异化竞争，形成了一个新兴的市场节能机电工程市场。

来源：北极星电力网2016-08-22

突破显示组件、惯性器件、大功率电力器件、航空传感器、智能蒙皮微机电系统、紧固件和轴承、soc/sip 器件、微机电系统等核心基础零部件(元器件)。

来源：北极星环保网2016-08-19

，研发适用于新建和既有建筑的调适技术体系，开发适用于公共机构建筑的调适标准、高效调适检测与诊断等软硬件工具，开展机电系统综合效能调适技术应用示范与效果评价。...考核指标：开发2种及以上多能源协调高效利用系统并应用示范，可再生能源利用比例达30%以上，较十二五公共机构碳排放量平均水平降低15%以上;开发机电系统调试工具2项，暖通空调系统能效比(cop)较公共机构现状提高

来源：北极星电力网2016-08-17

11.先进传感器及物联网开展8英寸微机电系统(mems)及传感器先导技术研发和中试，提升整体研发、设计和加工技术水平和产业技术创新能力。

来源：北极星风力发电网2016-08-16

以半导体芯片设计制造、集成电路和电子元器件封装测试、mems(微机电系统)传感器的研发和制造、高端引线框架为重点，建设兰州新区北大众志中国芯、华天集成电路封装测试升级改造、天光碳化硅器件研发及产业化项目等重大技术研发及产业化项目

来源：北极星环保网2016-08-16

以半导体芯片设计制造、集成电路和电子元器件封装测试、mems(微机电系统)传感器的研发和制造、高端引线框架为重点，建设兰州新区北大众志中国芯、华天集成电路封装测试升级改造、天光碳化硅器件研发及产业化项目等重大技术研发及产业化项目