来源：红网2013-07-31

该公司先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、pecvd、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交钥匙系统方案

来源：新浪博客2013-07-29

相关报道：论中国光伏产业发展史上的首篇纲领性文献（一）论中国光伏产业发展史上的首篇纲领性文献（二）论中国光伏产业发展史上的首篇纲领性文献(三)在先进光伏电池制造技术方面，例如n型高效电池，无膜组件，干法刻蚀等环节的工艺和设备

来源：PV-Tech2013-06-14

在已有的研究基础上，林昌健教授课题组首次报道了通过简单的水热法结合后续的化学刻蚀，在透明导电玻璃基底表面构筑结合力强、膜厚达~20m的高比表面积、多孔状单晶金红石tio2纳米棒阵列膜，并在染料敏化太阳能电池应用中取得了

来源：中国电子报2013-06-13

传感器未来技术方展方向1、mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀(drie)工艺或igp工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;2、集成工艺和多变量复合传感器微结构集成制造工艺

来源：江苏省地方税务局2013-06-09

密切跟踪光伏行业技术转型升级，对晶澳（扬州）太阳能科技有限公司三期800mw太阳能电池组件及配套项目和太阳能刻蚀工艺技改项目，实行专人负责，全程辅导，帮助企业规范财务核算和研究开发费用归集，让企业及时享受企业所得税等税收优惠政策

来源：Solarzoom2013-06-05

纳米结构的制备是通过等离子体刻蚀完成的，这可以极大地削弱光线的反射。此外，ald方式制备出恰当的钝化薄层可以使表面层的载流子复合减少。"

来源：Solarzoom2013-05-28

同时还需要更换清洗和刻蚀设备，这对于电池制造商又是一笔现金支出对于不同公司也各不相同。

来源：中国河北2013-04-27

经过多次试验，晶澳研究人员用化学溶液在平整膜面上刻蚀出绒面，增加光程，减少光的反射。经过湿法刻蚀工艺改造后，晶澳综合成本降低了2%。在使用方面，高光电转化率就可以在有限面积的屋顶上发出更多的电。

来源：世纪新能源网2013-04-22

ibc电池的工艺流程大致如下：清洗-制绒-扩散n+-丝印刻蚀光阻-刻蚀p扩散区-扩散p+-减反射镀膜-热氧化-丝印电极-烧结-激光烧结。

来源：PV-Tech2013-04-11

ae公司致力于研究和生产基于等离子状态下薄膜沉积和刻蚀工艺的开关电源，产品主要包括直流电源、直流脉冲电源、低频和中频电源以及射频电源。

来源：扬州网2013-04-03

这是我们公司新改造的太阳能刻蚀工艺技术应用。...宋锋兵介绍，整个晶硅电池生产线分为制绒、扩散、刻蚀、pecvd、丝网印刷等5个环节，原先的4个环节都处于全球一流水准，只有刻蚀这个环节仍然需要3台机器同时运转。

来源：北极星电力网2013-03-08

主要包括6英寸/8英寸/12英寸集成电路生产线所用的光刻机、刻蚀机、离子注入机、退火设备、单晶生长设备、薄膜生长设备、化学机械抛光设备、封装设备、测试设备等。...2.2.7电子专用设备仪器半导体生产用镀膜、溅射、刻蚀等设备。锂离子电池生产专用设备。高精密自动印刷机、高速多功能自动贴片机、无铅再流焊机等电子元器件表面贴装及整机装联设备。

来源：CSIA-中国半导体行业协会2013-02-25

2009年底，上海华虹nec和电子科技大学合作，采用深槽刻蚀和外延填充技术成功实现了sj功率mosfet，击穿电压达到750v，部分动态参数优于国外同类产品。

来源：北极星太阳能光伏网2012-12-25

其中单晶炉、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备、组件层压机、太阳模拟仪等已达到或接近国际先进水平，性价比优势十分明显。

来源：中国电子报2012-12-04

他们很快推出高温扩散炉和等离子体刻蚀机，并连续多年取得国内市场占有率80%的佳绩。在此基础上他们乘胜追击，开发成功太阳能电池制造7道主要工序的所有工艺设备，市场覆盖全国，并出口20个国家和地区。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-11-30

银浆烧制程序从550度融化玻璃料开始，熔融的玻璃料刻蚀arc薄膜，并继续到达sio2的表面，造成轻微腐蚀。此时，银纳米粒子跟釉料到达被轻微腐蚀的硅表面，银和硅的合金化也是发生在这一刻。

来源：北极星太阳能光伏网2012-11-21

清洗后可达到：无光刻胶和聚合物残留;刻蚀通孔侧壁无铜的残留物;与铜及电介质材料如fsg、sin等相容性;在铜表面形成保护钝化膜层;缺陷率满足65纳米技术带的要求(如颗粒指标、水印等)。...北京七星华创电子股份有限公司(以下简称七星电子)是国内知名电子专用设备供应商，是我国最早的半导体设备研制企业，是我国第一台半导体扩散炉、第一台等离子刻蚀机、第一台气体质量流量控制器研制企业，也是我国最早的半导体清洗设备研制企业

来源：中关村在线网站2012-11-09

如光刻机、激光划片机、离子束镀膜机、离子刻蚀机、芯片自动检测机等。四是器件封装自动化设备。全自动固晶机、全自动焊线机、自动点胶机、自动编带机等。五是led光源、灯具自动化制造设备。

来源：PV-Tech2012-11-01

为制作黑硅材料，nrel首先在硅片表面制备银纳米颗粒，然后在通过湿法刻蚀制作特殊的多孔表面结构。通过控制溶液的配比，科学家可以调整纳米结构的形态。

来源：PV-Tech2012-11-01

为制作黑硅材料，nrel首先在硅片表面制备银纳米颗粒，然后在通过湿法刻蚀制作特殊的多孔表面结构。通过控制溶液的配比，科学家可以调整纳米结构的形态。