来源：国金证券2020-01-31

设备、丝 网印刷设备。...生产线核心设备有望近期实现国产化：hjt 的 4 大工艺步骤 “制绒清 洗、非晶硅薄膜沉积、tco 制备、电极制备”， 对应的设备分别为清洗制绒设备、cvd 设备(pecvd 为主、hwcvd 较少)、 pvd/rpd

来源：电新产业研究2020-01-07

tco沉积：使用pvd或者rpd设备沉积金属氧化物导电层tco，该工艺在平板显示领域应用较多，已经十分成熟，pvd和rpd目前还存在路线之争。

来源：中信建投2019-12-17

设备选型稳健，后续国产化空间大设备选型方面，爱康第一条线较为稳健，仍以海外设备为主，清洗制绒、pecvd 镀膜、丝网印刷、自动化均选用海外主流供应商，仅第三道镀透明导电膜选用捷佳国产的rpd 设备。

来源：电新产业研究2019-12-16

3)沉积金属氧化物导电层：硅片沉积完非晶硅薄膜之后就进入pvd或rpd设备，沉积透明金属氧化物导电膜tco。tco纵向收集载流子并向电极传输。

来源：光伏前沿2019-09-04

其中hjt电池工艺技术中超洁净hjt单晶制绒清洗设备研发、透光导电薄膜设备（rpd设备）研发、金属电极丝网印刷线研发已基本完成，进入工艺验证阶段，hjt整线生产设备国产化正在积极推进中；背钝化技术氧化铝镀膜设备研发已形成批量生产销售

来源：光伏前沿2019-07-22

总的来说短期之内hit电池扩产技术主要以pvd为主，在rpd设备国产化与产能放大化，再匹配国产蒸镀靶材后rpd将会显现出一定的优势，未来将有可能成为hit电池量产的主流方向。